Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle ZrN kaplamaların farklı bias voltajlarında üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterisation of ZrN coatings by arc physical vapour deposition technique under different biasing voltages
- Tez No: 155130
- Danışmanlar: PROF.DR. SERDAR SALMAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Teknik Eğitim, Metallurgical Engineering, Technical Education
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2004
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Marmara Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metal Eğitimi Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 123
Özet
Malzemelerin kullanımında yüzey özellikleri, çok önemli bir yer tutmaktadır. Yüzey özelikleri malzemelerin aşınma, sürtünme, korozyon ve optik özelliklerini etkiler. Yüzey işlemleri ile malzeme performanslarında çok iyi gelişmeler sağlanabilmektedir. Yüzey kaplama yöntemlerinden biri olan FBB (Fiziksel Buhar Biriktirme) yöntemi ile üretilen kaplamalar endüstrinin her alanında gittikçe yaygınlaşan bir kullanım alanı bulmaktadır. Bu kaplamaların üstün tribolojik özellikleri sayesinde takım ömrü verimliliği önemli bir ölçüde artmaktadır. FBB yönteminin düşük sıcaklıklarda uygulanabilirliği, bu tekniğin en önemli avantajıdır. Bu çalışmada, HSS malzemesinden üretilmiş numuneler üzerine farklı bias parametrelerinde PVD katodik ark buharlaştırma tekniği ile ZrN kaplanmış ve kaplama bias parametrelerinin ZrN kaplamalarına etkisi incelenmiştir. Daha sonra kaplama kalınlıkları, yüzey pürüzlülükleri ve mikrosertlikleri saptanmış ve X-Ray, Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ve Optik mikroskop analizleri yapılarak sonuçlar değerlendirilmiştir. Sonuç olarak ZrN kaplamalarda en uygun azot basıncı ve voltaj değişimi tespit edilmiştir. Azot basıncı 8 mtorr ve 200 Pulse olarak kaplanması uygun görülmüştür.
Özet (Çeviri)
The surface characteristics of materials are very important in materials using. The surface characteristics affect wear, friction, corrosion and optical properties of materials. In the materials performance, improvement could be obtained by surface modifications. Physical Vapor Deposition (PVD) technique, which is a surface coating technique, has a vast usage in the industry. It operates effectively on a broad range of substrate materials and produces coatings with superior adhesion and performance. An important advantage of this technique is that it permits adherent coatings to be applied to low temperature substrates. In this study, production and characterization of ZrN coatings by arc physical vapour deposition technique under different biasing voltages are investigated. ZrN thin film coatings were applied on the High Speed Steel (HSS) samples, which were heat treated before coating. The coating thicknesses, hardness, surface roughness and microhardnesses were also determined, and the findings are evaluated after X-Ray, Scanning Electron Microscope (SEM) analysis and optical microscope analysis. As a result, 8 mtorr nitrogen pressure and 200 pulse voltage are found as a good combination for ZrN coating.
Benzer Tezler
- Mo-N kaplamaların ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterisation of Mo-N coatings by arc physical vapour deposition technique
M. KÜRŞAT KAZMANLI
- AZ91 magnezyum alaşımının aşınma davranışının farklı malzemelerle deneysel karşılaştırılması ve üzerine yapılan ark PVD kaplamaların korozyon dayanımına etkisi
Comparing the wear behaviour of magnesium alloy to different materials and investigation effect of arc PVD coating onto AZ91 magnesium alloy on corrosion strenght
EMRE AYKAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Makine MühendisliğiSüleyman Demirel Üniversitesiİmalat Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BEKİR YALÇIN
- Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle nanokompozit Mo-N-Cu kaplamaların üretimi ve karakterizasyonu
Production of Mo-N-Cu nanocomposite coatings by arc physical vapour deposition technique and their characterization
OSMAN LEVENT ERYILMAZ
- Molibden nitrür kaplamaların aşınma davranışı
Başlık çevirisi yok
İ.BÜLENT NİLÜFER
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SABRİ KAYALI
- Katodik ark PVD yöntemiyle ZrN ve Zr/ZrN kaplamalarının biriktirilmesi
Deposition of ZrN and Zr/ZrN coatings by the cathodic arc PVD method
MURAT ÇALIŞKAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2005
Metalurji MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NURHAN CANSEVER