İnvestigation of correlation between 1/f electronic noise and structural properties in nano sized vanadium oxide films
Nano ölçekli vanadyum oksit filmlerde 1/f elektronik gürültü ile yapısal özellikler arasındaki ilişkinin incelenmesi
- Tez No: 486649
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 109
Özet
Vanadyum oksit ince filmler mikrobolometre piksellerinde algılayıcı katman olarak kullanılmaktadır. Bu filmlerin, özdirenç, direncin sıcaklık katsayısı ve 1/f elektronik gürültü gibi elektriksel özellikleri yapısal özellikleriyle yakından ilişkilidir. Bu çalışmada, vanadyum oksit ince filmler Si3N4/SiO2/Si alttaşlar üzerine darbeli DC reaktif magnetron sıçratma tekniği ile büyütülmüştür. Üretim sonrası bazı filmlere 200°C ve 300°C sıcaklıklarda, saf N2 atmosferi altında üç saat süreyle ısıl işlem uygulanmıştır. Üretim sonrası ısıl işlemlerin, filmlerin yapısal özellikleri üzerindeki etkisi geçirimli elektron mikroskobu, seçili alan elektron kırınımı, elektron spektroskopik görüntüleme, sıyırma açısı X-Işını kırınımı, Raman spektrokopisi ve X-Işını fotoelektron spektroskopisi teknikleriyle incelenmiştir. Elektriksel karakterizasyonlar için dört-nokta iğne tekniği kullanılmıştır. Filmlerin elektriksel ve yapısal özellikleri arasındaki ilişki elde edilen sonuçlar çerçevesinde tartışılmıştır. 1/f gürültü-yapı ilişkisi, araştırma grubumuzca daha önceki bir çalışmada elde edilen 1/f gürültü sonuçları temelinde tartışılmıştır. Yapılan bu tartışmalar sonucunda, tavlanmamış, 200°C ve 300°C' de tavlanmış numunelerin farklı 1/f gürültü değerlerinin, bu filmlerin farklı VO2 tane boyutundan kaynaklandığı sonucuna varılmıştır. Buna ek olarak, 200°C' de tavlanan filmin elektriksel iletkenlik mekanizması yük atlaması ile açıklanmıştır.
Özet (Çeviri)
Vanadium oxide thin films are used in microbolometer pixels as the sensing layer. Their electrical properties such as resistivity, the temperature coefficient of resistance and 1/f electronic noise are closely related to their structural properties. In this study, VOx thin films were deposited on Si3N4/SiO2/Si substrates by pulsed DC reactive magnetron sputtering technique. Some of the films were post-deposition annealed at 200°C and 300°C under pure N2 atmosphere for three hours. The post-annealing effects on the films' structures were investigated by transmission electron microscopy, selected area electron diffraction, electron spectroscopic imaging, Grazing-Incidence X-Ray diffraction, Raman spectroscopy, and X-Ray photoelectron spectroscopy techniques. For electrical characterization, four-point probe technique was used. The correlation between electrical and structural properties of the films was discussed within the framework of the obtained results. The 1/f noise-structure correlation was discussed on the basis of the 1/f noise results obtained by our research group in a previous study. As a result of these discussions, it was concluded that the different 1/f noise values of as-deposited, 200°C and 300°C annealed films are mainly caused by the different VO2 grain size of these films. In addition, the electrical conduction mechanism of 200°C annealed film was explained by charge hopping.
Benzer Tezler
- Çevre radyoaktivitesi ile bölgesel hava kirliliği arasındaki ilişkinin incelenmesi
Başlık çevirisi yok
SAADET DENİZ UYSAL
- Kredi kartları ve Türkiye'deki uygulaması: karşılaşılan sorunlar ve çözüm önerileri
Başlık çevirisi yok
BEDİ TÜRETKEN
- Çok makinalı güç sistemlerinde parametre adaptif kontrol yönteminin incelenmesi
Investigation of parameter adaptive control method for MMPS
AYŞEN DEMİRÖREN
Doktora
Türkçe
1993
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. M. EMİN TACER
- Doğu karadeniz metalojenik provensinde Balcılı (Artvin) ve Güzelyayla (Trabzon) bakır-molibden oluşumlarının jenetik etüdü
A Genetical investigation of Balcılı (Artvin) and Güzelyayla (Trabzon) copper-molybdenum occurrences in the metallogenic province of eastern pontid
FUAT YAVUZ
- Zeminlerin indeks özellikleri ve SPT-CPT deneylerinin karşılaştırılması
A Correlation study between standard penetration test and static cone penetration test results
ŞAFAK HATUNOĞLU