Geri Dön

Tantalyum katkılı hafniyum oksit ince filmlerin sol jel metoduyla üretilmesi ve karakterizasyonu

Production and characterization of tantalum doped hafnium oxide thin films with sol gel method

  1. Tez No: 574059
  2. Yazar: VALA CAN AŞKAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. AHMET YAVUZ ORAL
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gebze Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 88

Özet

Bu çalışmanın amacı, optik entegre devrelerde kullanılmak üzere yüksek kırınım indisi ve geniş bant aralığına sahip olan düzlemsel dalga kılavuzu özelliği gösteren Tantalyum katkılı Hafniyum Oksit ince filmlerin geliştirilmesidir. İlk olarak, cam altlıklar sırasıyla saf su, aseton, saf su, etanol, saf su, metanol, saf su ve 2-proponal'de ultrasonik olarak temizlenmiştir. Çözeltinin hazırlanmasında, Hafniyum kaynağı olarak Hafniyum Tetraklorür (HfCl4), Tantalyum kaynağı olarak ise de Tantalyum Etoksik (Ta(CH3CH2O)5) kullanılmıştır. Kaplama işleminden önce hazırlanan çözelti 0,45 μm'lik mikro filtreden geçirilmiştir. Temizlenen cam altlıklar 100mm/dk çekme hızıyla daldırarak kaplama metoduyla kaplanmış ve 400-500-6000C'de tavlanmıştır. Üretilen ince filmlerin mikroyapısı Tarama Elektron Mikroskobu (SEM), faz analizi X-Işını Kırınımı (XRD) ve ince filmlerin kimyasal içeriği EDS metodu ile analiz edilmiştir. İnce filmlerin optik özellikleri UV-görünür bölge spektrofotometre ve Prizma Çiftleyici ile belirlenmiştir. Uv- görünür bölge spektrofotometre ile ince filmlerin optik bant aralığı ölçülürken, prizma çiftleyici ile ince filmlerin kırılma indisi bulunmuştur.

Özet (Çeviri)

In this study, Tantalum doped Hafnium Oxide (HfO2) thin films microstructure and optical properties have been investigated. Solution is synthesized using hafnium tetra chloride and tantalum ethoxide dissolved in ethanol. Glass substrates cleaned as ultrasnonic with DI water, ethanol, methanol, acetone and 2-proponal. Then thin films deposited by dip coating method at 4000C-5000C-6000C temperatures with a 100mm/min pulling out speed. After deposition process, thin film crystal structure characterized by Scanning Electron Microscope, X-Ray Diffraction. Chemical composition thin films analysis with a EDS method. Also optical properties parameters calculated both UV-Sis and Prism Coupler. Band gap calculated with the UV-Sis analysis and refractive index calculated with Prism Coupler

Benzer Tezler

  1. Burdur ili mermer sektörünün kurumsal ve ekonomik yapısı

    İnstitutional and economic structure of marble sector in burdur

    AHMET SARITAŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2006

    EkonomiAkdeniz Üniversitesi

    İşletme Ana Bilim Dalı

    PROF.DR. AYŞE KURUÜZÜM

  2. Lityum ve tantalyum katkılı sodyum potasyum niobat piezoseramiklerinin spark plazma sinterleme ile üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterization of lithium and tantalum added potassium sodium niobate piezoceramics via spark plasma sintering

    MEHMET KAHRAMAN ÖZMEN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. GÜLTEKİN GÖLLER

  3. Püskürtme tekniği ile tantalyum katkılı titanyum dioksit nanoparçacıkların sentezi ve elektron taşıyıcı tabakası olarak perovskit güneş hücreleri uygulamaları

    Synthesis of tantalium-doped titanium dioxide nanoparticles by spray pyrolysis technique and perovskite solar cells applications as electron transport layer

    AYŞE CULU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Metalurji MühendisliğiKaramanoğlu Mehmetbey Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SAVAŞ SÖNMEZOĞLU

  4. Katı oksit yakıt hücreleri için tantalyum penta oksit (TA2O5) ve vanadyum penta oksit (V2O5) katkılı sızdırmazlık camı kompozisyonlarının geliştirilmesi ve karakterizasyonu

    Development and characterization of sealing glass compositions with tantalum penta oxide (TA2O5) and vanadium penta oxide (V2O5) additives for solid oxide fuel cells

    KÜBRANUR ÇATALBAŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Metalurji MühendisliğiGebze Teknik Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. NESLİHAN TAMSÜ SELLİ

  5. Vanadyum oksit ve katkılı vanadyum oksit ince filmlerinin hazırlanması ve karakterizasyonu

    Preparation and characterization of vanadium oxide and mixed vanadium oxide thin films

    İBRAHİM TÜRHAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. GALİP G. TEPEHAN