Growth and characterization of molybdenum-based oxide thin film by RF magnetron sputtering
RF magnetron sıçratma tekniğiyle molibden bazlı filmlerin büyütülmesi ve karakterizasyonu
- Tez No: 784767
- Danışmanlar: PROF. DR. İBRAHİM BURÇ MISIRLIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Sabancı Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 74
Özet
Molibden oksit ince filmler, çeşitli kararlı fazlar sergiler. Enerji depolama, sensörler, güneş pilleri, kızılötesi dedektörler ve akıllı pencerelerde bir dizi uygulama için çekici olan ilginç yapısal, optik, kimyasal ve elektriksel özelliklere sahiptirler. Ayrıca molibden oksit ince filmler, nitrojen dioksit (NO2), karbon dioksit (CO2), hidrojen (H2) ve amonyağın (NH3) hassas tespiti için kimyasal dirençli gaz sensörlerinde çoğunlukla tercih edilir. Bu çalışmada, gaz sensörü uygulamaları için optimize edilmiş MoO3 koşulları incelenmiştir. Molibden oksit ince filmler, oksijen (O2) ve argonun varlığında metalik bir molibden hedefi kullanılarak silikon gofretler üzerine Radyo Frekansı (RF) magnetron püskürtme ile biriktirilmiştir. Molibden oksit ince filmlerin kristal yapısını oluşturmak için yerinde ısıl işlem uygulandı, ardından yapısal ve stokiyometrik özellikleri için X-Işınları Difraksiyonu (XRD), morfolojik karakterizasyonu için Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM), Fotolüminesans ve Elektron Paramanyetik Rezonans (EPR) kullanıldı. Numunelerin yarı iletken karakteri hakkında fikir edinmek için optik özellikler elipsometri ile analiz edildi ve tabaka direnci 4 Noktalı Prob yöntemiyle ölçüldü. Deneylerden elde edilen bilgiler ışığında, optik ve elektriksel özelliklerini etkileyen yapısal niteliklerini iyileştirmek için püskürtme sistemindeki büyüme koşullarını tartışıyoruz ve kalınlık etkisini tartışıyoruz.
Özet (Çeviri)
Molybdenum oxide thin films exhibit a variety of stable phases. They possess interesting structural, optical, chemical, and electrical characteristics that are appealing for a number of applications in energy storage, sensors, solar cells, infrared detectors, and smart windows. Additionally, molybdenum oxide thin films are mostly preferred in chemiresistive gas sensors, for sensitive detection of nitrogen dioxide (NO2), carbon dioxide (CO2), hydrogen (H2), and ammonia (NH3). In this study, optimized conditions of MoO3 have been investigated for gas sensor applications. Molybdenum oxide thin films have been deposited by Radio Frequency (RF) magnetron sputtering on silicon wafers using a metallic molybdenum target in the presence of oxygen (O2) and argon. In situ heat treatment was applied to form a better crystalline structure of molybdenum oxide thin films followed by an X-Ray Diffractometer (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), Photoluminescence, and Electron Paramagnetic Resonance (EPR) were used for the structural, stoichiometric, morphological, and defect concentration analyses respectively. The optical characteristics were analyzed by ellipsometry to gain insight into the semiconducting character of the samples and the sheet resistance was measured by the 4-Point Probe method. Considering the information gathered from the experiments, we discuss the growth conditions in the sputtering system and thickness effect to improve their structural qualities affecting their optical and electrical characteristics.
Benzer Tezler
- Mo-N kaplamaların ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterisation of Mo-N coatings by arc physical vapour deposition technique
M. KÜRŞAT KAZMANLI
- Toz metalurjisi yöntemleri ile üretilen çeşitli W-Ni-Fe ve W-Ni-Cu ağır alaşımların mikroyapısal ve fiziksel karekterizasyonu
Microstructural and physical characterization of various W-Ni-Fe and W-Ni-Cu heavy alloys manufactured via powder metallurgy methods
GÜNKUT ERNAS
- Spark plazma sinterleme sisteminde transparan Y2O3 üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of transparent Y2O3 via spark plasma sintering
ESİN KORKMAZ
Doktora
Türkçe
2024
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FİLİZ ÇINAR ŞAHİN
- Metal oksit katkılı nanofiber üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of metal oxide doped nanofiber
ALMİLA ÖZTEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Metalurji MühendisliğiManisa Celal Bayar ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AHMET TÜRK
- TZM alaşımının spark plazma sinterleme (SPS) yöntemi ile üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of TZM alloys prepared by spark plasma sintering (SPS)
CAN BURAK DANIŞMAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜLTEKİN GÖLLER