Geri Dön

High-q micromechanical resonators and filters for ultra high frequency applications

Çok yüksek frekanslı uygulamalar için yüksek kalite faktörlü mikromekanik rezonatörler ve filtreler

PDF İndir

  1. Tez No: 246574
  2. Yazar: VAHDETTİN TAŞ
  3. Danışmanlar: PROF. DR. ABDULLAH ATALAR
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2009
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü
  12. Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 86

Özet

Radyo Frekansı Mikro Elektro Mekanik Sensörler alanında yakın zamandagerçekleşen gelişmeler, komünikasyon teknolojisinde geniş çapta kullanılan yüksekkalite faktorlü entegre edilemeyen makroskobik parçaların mikroskobikparçalarla yer değiştirmesi için umut verici sonuçlar göstermiştir. Radyofrekanslarında, 10,000'den fazla kalite faktörüne sahip titreşimli mikromekaniksilikon rezonatörler üretilmiş durumdadır. Yüksek kalite faktörlü mikrorezonatörleri temel blok olarak kullanan mikromekanik filtreler ve osilatörlerüretilmiş durumdadır. Bu elemanların üretim teknikleri CMOS teknolojisiyleuyumlu haldedir. Bu sebeple, mikromekanik elemanları entegre devrelerle beraberüreterek tek parça alıcı-vericiler üretmek mümkün olabilir. Bu çalışmadamikromekanik rezonatörlerin genel çalışma karakteristigi incelenmiş ve orijinalbir mikro rezonatör ve mikro filtre örneği tasarlanmıştır. Yüksek frekanslımikromekanik rezonatörler, kalite faktörlerini belirleyen bağlantı kayıplarındandolayı performans sorunu yaşamaktadır. Çalışmamızda, uzama biçimindetitreşim gösteren rezonatörler için orijinal bir bağlantı kaybını azaltma tekniğiönerilmektedir. Önerilen yapıların üretim aşamaları mevcut eşleniklerininkinegöre daha kolaydır. Bağlantı kaybını azaltma tekniği, mevcut yapılarda kullanımıiçin ekstra zorluklar doğurmamaktadır.

Özet (Çeviri)

Recent progresses in Radio Frequency Micro Electro Mechanical Sensors (RFMEMS) area have shown promising results to replace the off-chip High-Q macroscopicmechanical components that are widely used in the communication technology.Vibrating micromechanical silicon resonators have already shown qualityfactors (Q) over 10,000 at radio frequencies. Micromechanical filters and oscillatorshave been fabricated based on the high-Q micro-resonator blocks. Their fabricationprocesses are compatible with CMOS technology. Therefore, producingfully monolithic transceivers can be possible by fabricating the micromechanicalcomponents on the integrated circuits. In this work, we examine the generalcharacteristics of micromechanical resonators and propose a novel low loss resonatortype and a promising filter prototype. High frequency micromechanicalcomponents suffer from the anchor loss which limit the quality factor of thesedevices. We have developed a novel technique to reduce the anchor loss in extensionalmode resonators. Fabrication processes of the suggested structures arerelatively easy with respect to the current high-Q equivalents. The anchor loss reduction technique does not introduce extra complexities to be implemented in the existing structures.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    139594

    Design and simulation of micro resonator oscillator for communication circuits

    Haberleşme devreleri için mikrorezonatör osilatörlerin tasarımı ve simülasyonu

    MUSTAFA PARLAK

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2003

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSabancı Üniversitesi

    DOÇ. DR. YAŞAR GÜRBÜZ

  2. Tez No

    270077

    Frequency response of microcantilevers in gas, liquid and supercritical CO2

    Mikro-çubukların gaz, sıvı ve süperkritik CO2 içindeki sıklık yanıtları

    ERDAL UZUNLAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2010

    Kimya MühendisliğiKoç Üniversitesi

    PROF. DR. CAN ERKEY

  3. Tez No

    402922

    Capacitive accelerometer interfaces utilising high-Q micromechanical sensor element

    Başlık çevirisi yok

    MİKAİL YÜCETAŞ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAalto University (Aalto Yliopisto)

    PROF. KARI HALONEN

  4. Tez No

    39479

    Mikroişlenmiş ivme ölçer üretimi ve optimizasyonu

    Fabrication and optimization of micro machined accelerometers

    MEHMET MURAT OKYAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1994

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Y.DOÇ.DR. HAKAN ÖZDEMİR

  5. Tez No

    246731

    Design, fabrication and characterization of surface plasmon resonance based MEMS displacement sensors

    Yüzey plazmon rezonansına dayalı MEMS yerdeğiştirme algılayıcılarının tasarım, üretim ve karakterizasyonu

    HASAN GÜNER

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2009

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SALİM ÇIRACI

    YRD. DOÇ. DR. AYKUTLU DANA

Geri Dön