RF magnetron kopartma tekniği kullanılarak hazırlanan Nb2O5ince filmlerin optik özelliklerinin incelenmesi
The investigation of optical properties of Nb2O5 thin films prepared by RF magnetron sputtering
- Tez No: 305910
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2012
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 154
Özet
Bu yüksek lisans tez çalışmasında, Nb2O5 ince filmlerin magnetron kopartma tekniği kullanılarak hazırlanması ve optik karakterizasyonu amaçlanmıştır. İnce film özellikleri, alttaş sıcaklığı, reaktif gaz/kopartma gazı oranı, toplam basınç gibi büyütme parametrelerine bağlıdır. Büyütme parametrelerini kontrol ederek filmlerin optik özelliklerini değiştirmek mümkündür. Bu çalışmada Nb2O5 filmler oda sıcaklığında ve 300 ?C alttaş sıcaklığında büyütüldü. Alttaş sıcaklığının kaplama hızına olan etkisi gözlendi. Ayrıca oda sıcaklığında farklı O2 koşullarında silika alttaşlar üzerine büyütülen ince filmler 300 ?C' den 800 ?C ye kadar, tavlama süreleri arttırılarak tavlama işlemine maruz bırakıldı. Film yapısında ve optik özelliklerinde değişikliğe yol açan tavlama sıcaklıkları ve süreleri belirlendi. Film yoğunluğundaki artışa ve azalışa bağlı olarak kırma indisinin ve kalınlığın değişim gösterdiği gözlendi. 0.8 mTorr O2 kısmi basıncı ve 5.3 mTorr toplam basınç koşullarında hazırlanan film ile 1.1 mTorr O2 kısmi basıncı ve 5.6 mTorr toplam basınç koşullarında hazırlanan filmin dalga boyuna bağlı geçirgenlik değerlerinde belirgin bir farklılığın varlığı gözlendi. 0.8 mTorr O2 kısmi basıncı ve 5.3 mTorr toplam basınç koşullarında hazırlanan filmin geçirgenliği filmi 500 ?C' de 1 saat tavlayarak arttırılmıştır. Atmosfer ortamında tavlama sonucunda geçirgenliği arttırılan filmlerin optik özellikleri, O2 kısmi basıncı azaltılmayan ortamda hazırlanarak tavlanan filmlerin optik özellikleriyle karşılaştırıldı.
Özet (Çeviri)
In this thesis study, Nb2O5 thin films preparation by using magnetron sputtering technique and optical characterization were aimed. The properties of thin films depend on the deposition parameters such as substrate temperature, reactive gas/ sputter gas ratio and total pressure. By controlling depositon parameters, it is possible to change thin films optical properties. In this study, Nb2O5 thin films deposited at room temperature and 300 ?C substrate temperature. Substrate temperature effect to the deposition rate of the film was observed. The films also deposited at room temperature on silica substrate, exposed to different annealing temperatures from 300 ?C to 800 ?C for different annealing time. Annealing temperatures and times caused the optical and structural changes. Refractive index and thickness differences which related to increasing or decreasing film density were observed. Thin film which deposited at 0.8 mTorr O2 partial pressure and 5,3 mTorr total pressure and thin film which deposited at 1.1 mTorr O2 partial pressure and 5,6 mTorr total pressure conditions have significiant difference on transmittance. The optical transmittance of the films which deposited at reduced O2 partial pressure were increased by annealing at 500 ?C during 1 hour in athmosphere. The optical properties of the films which prepared for different O2 partial pressures compared after annealing of the films.
Benzer Tezler
- Fotovoltaik Ge-ZnO nanokompozit ince filmlerin hazırlanması ve fiziksel özelliklerinin araştırılması
Preparation and investigation of physical properties of the photovoltaic Ge-ZnO nanocomposite thin films
JANAN M.ALİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ABDULLAH CEYLAN
- NiO ince film bazlı elektrokromik kaplama/cihaz tasarımı, hazırlanması ve karakterizasyonu
Design, preparation and characterization of electrochromic coating/device based on NiO thin film
GAMZE ATAK
Doktora
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN
- TiN ve TiO2 ince filmlerinin hazırlanması ve optik özelliklerinin incelenmesi
Preparation of tin and TiO2 thin films and investigation of their optical properties
AYŞE BEGÜM ARIĞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSEYİN ZAFER DURUSOY
- p-SnS/n-CdS yarıiletken heteroeklemin karakterizasyonu
Characterization of p-SnS/n-CdS semiconductor heterojunction
SONER ALPDOĞAN
Doktora
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiMersin ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜLYA METİN GÜBÜR
PROF. DR. ABDULLAH CEYLAN
- Co katkılı ZnO seyreltik manyetik ince filmlerin sentezi ve fiziksel özellikleri
Synthesis and physical properties of Co doped ZnO diluted magnetic thin films
MUSA MUTLU CAN
Doktora
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TEZER FIRAT