Fabrication and characterization of zinc oxide based surface acoustic wave devices
Çinko oksit temelli yüzey akustik dalga aygıtlarının geliştirilmesi ve nitelendirilmesi
- Tez No: 335617
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. NECMİ BIYIKLI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2013
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 106
Özet
Bugün bildiğimiz anlamda kullanılan yüzey akustik dalga (SAW) aygıtları, ilk olarak 1965?te tanıtıldı. Televizyon ve cep telefonu gibi tüketici ürünlerinde kullanılan band geçiren filtreler bu cihazların en yaygın kullanım alanıdır. SAW aygıtlar ayrıca kimyasal ve biyolojik algılayıcı olarak da kullanılabilir. SAW algılayıcı geliştirmenin arkasında yatan temel neden bu cihazların küçük boyutlu, yüksek hassasiyette ve dayanıklı olmalarıdır. Bu tez ZnO/Si yapısına dayalı SAW aygıtının geliştirilmesini ve nitelendirilmesini sunmaktadır. C-eksen yönelimli ZnO ince filmler, sıçratma yöntemi ile kaplanmıştır. Kaplama sonrasında uygulanan tavlamanın ZnO yapısına ve SAW aygıt başarımına etkisi detaylı bir şekilde incelenmiştir. 600C üzerindeki sıcaklıklarda tavlamanın SAW aygıtı olumsuz etkilediği tespit edilmiştir. ZnOin yüzey pürüzlülüğü tavlama sıcaklığı arttıkça artmaktadır. Kaynaklar, pürüzlülük artışını aygıtın tavlama sıcaklığı artışına dayalı bozunumunun nedenlerinden biri olarak vermektedir. Bu çalışma ise bozunumun yüzey pürüzlülüğünden kaynaklanmadığını göstermektedir. Tavlamanın aygıt başarımı üzerindeki etkisine ek olarak, ZnO/Si yapısının arasına SiO2 eklenmesinin ve ZnO kalınlığının da aygıt başarımına etkileri incelenmiştir.
Özet (Çeviri)
Surface acoustic wave (SAW) devices, as applied to today?s technology, were first described in 1965. Since then, these devices were applied to a wide variety of fields. Bandpass filter is their most common application, which is an important component in consumer products such as televisions and mobile phones. SAW devices can also be utilized as chemical and biological sensors. Driving force behind the development of SAW sensors is their small size, high sensitivity, reliability, and durability. This thesis presents the development and characterization of ZnO/Si based SAW devices. ZnO thin films with c-axis orientation were deposited using rf- magnetron sputtering. Effect of post deposition annealing on the structure of ZnO and on the SAW device performance was studied. It was found that annealing ZnO above 600C is detrimental for SAW device performance. Surface roughness of ZnO increases as the annealing temperature increases. In literature, roughness increase is presented as one of the reasons behind device breakdown. This work shows that roughness is not the primary cause for the breakdown. In addition, effect of SiO2 interlayer insertion between ZnO/Si structure on the device performance was examined together with the effect of ZnO thickness.
Benzer Tezler
- Çinko nanotanecik içeren polimer nanokompozit malzeme üretimi ve karakterizasyonu
Fabrication and characterization of polymer nanocomposite materials incorporated zno nanoparticles
ALEV AKBAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Kimya Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SADRİYE KÜÇÜKBAYRAK OSKAY
- Fabrication and electrical characterization of sonochemically grown nanostructured ZnO dye sensitized solar cells
Sonokimyasal metodla büyütülmüş ZnO nano yapılı boya duyarlı güneş pillerinin fabrikasyonu ve elektriksel karakterizasyonu
TELAT GÜLER
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Bilim ve TeknolojiGediz ÜniversitesiNanoteknoloji Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. YAVUZ BAYAM
- H2 ayrımı için ZIF tabanlı MOF membranların hazırlanması ve karakterizasyonu
Preparation and characterization of ZIF based MOF membranes for H2 separation
EMİNE ŞİMAL MİRZA
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Kimya MühendisliğiAnkara ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BERNA TOPUZ
- Fabrication of CdS quantum dots and nanostructure ZnO based photodetectors
CdS kuantum noktaları ve nanoyapılı ZnO esaslı foto dedektörlerin üretilmesi
BESTOON ANWER HAMAD AMEEN HAMAD AMEEN
Doktora
İngilizce
2018
BiyomühendislikKahramanmaraş Sütçü İmam ÜniversitesiBiyomühendislik ve Bilimleri Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ABDULKADİR YILDIZ
PROF. DR. FAHRETTİN YAKUPHANOĞLU
- P3ht:PCBM tabanlı heteroeklem organik güneş pillerinin fabrikasyonu ve ZnO ince film tabakasının inverted yapıya uygulanması
Fabrication of p3ht:pcbm based heterojunction organicsolar cells and application of ZnO thin film layer toinverted structure
YASİN NUHOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErzurum Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BÜLENT ÇAKMAK