Three dimensional processing of silicon with pulsed lasers for optical applications
Optik uygulamalar için silikonun üç boyutlu işlenmesi
- Tez No: 392503
- Danışmanlar: DOÇ. DR. FATİH ÖMER İLDAY
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2015
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 60
Özet
Lazerlerle silikon işleme uzun yıllar üzerinde çok sayıda çalışma yapılan bir konu oldu. Şimdiye kadar silikonun yüzeyine zarar vermeden, yüzey altı yapılar oluşturma çalışmaları başarıyla sonuçlanmadı. Böyle bir kabiliyetin olması, elektronik ve fotonik elemanların aynı optoelektronik çipin üzerinde birleşmesine elvererek yeni nesil mikroişlemcilerin yolunu açabilir. Bu çalışmada, silikonun yüzey altında yapısal değişiklik oluşturmak için kullanılabilecek maskesiz, ışıkla tetiklenen bir yöntem sunuyoruz. Atımlı kızıl-ötesi lazerlerin kullanıldığı bu yöntemle sadece kesiksiz, kontrol edilebilirliği yüksek yüzey-altı yapılar yapmakla kalmayıp, bu yapılarla iki optik uygulama gerçekleştirdik. Silikonun içine bilgi kodlayarak, onu bir optik depolama ortamı olarak kullanmak ve kızıl-ötesi bölgede çalışan optik bileşen inşa etmek, ortaya çıkardığımız uygulamalardan. Bu özgün silikon işleme teknolojisinin silikon yongaları, güneş pillerini de içeren çok sayıda alanda faydalı olacağinı düşünüyoruz.
Özet (Çeviri)
Micromachining of silicon with lasers is being investigated for the last three decades. Until now, interior silicon modification without inscribing the surface has not resulted in success. Such an ability could enable disruptive technologies in nanophotonics by paving the way for producing monolithic optoelectronic chips. Here, we report a maskless, one step photo-induced method to generate subsurface modifications in silicon with pulsed infrared lasers for indefinitely large areas. We demonstrate continuous, highly controllable structures buried in the bulk of silicon wafers and investigate the underlying mechanism. Further, we utilize the method for spatial information encoding and fabrication of optical components in the infrared regime in silicon. This silicon processing technology can be useful in various applications, including multilayer silicon chips, solar cells and optofluidics.
Benzer Tezler
- Implementation of strong light-matter interaction for fabrication and light management of thin crystal silicon solar cells
İnce kristal silisyum güneş hücrelerinde üretim ve ışık yönetimi için yoğun ışık-madde etkileşimi uygulaması
MONA ZOLFAGHARI BORRA
Doktora
İngilizce
2021
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ALPAN BEK
- Değişken kapasiteli yandan tahrikli elektrostatik mikromotor tasarımı
Başlık çevirisi yok
ERTUĞRUL DOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektrik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. R. NEJAT TUNÇAY
- 3D-microstructuring of silicon induced by nanosecond pulsed infrared fiber laser for potential solar cell applications
Potansiyel güneş hücresi uygulamaları için nanosaniye atımlı kızılötesi fiber lazer yardımıyla silikonun üç boyutlu mikroyapılandırılması
BESNA BÜLBÜL TATBUL
Yüksek Lisans
İngilizce
2022
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ IHOR PAVLOV
- Sistem parametrelerinin ultrasonik medikal görüntüler üzerindeki etkilerinin incelenmesi
Analysis of the system parameters effects on medical ultrasound images
GERÇEK SUNMAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Biyoteknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İNCİ ÇİLESİZ
- Farklı oranlarda bor ilavesinin üç boyutlu yazıcı ile üretilen daimi kron rezinlerinin yüzey pürüzlülüğü ve antibakteriyel özelliklerine etkisinin değerlendirilmesi
Evaluation of the effect of different amounts of boron addition on the surface roughness and antibacterial properties of three dimensional printed permanent crown resins
DALNDUSHE ABDULAI
Doktora
Türkçe
2023
Diş HekimliğiZonguldak Bülent Ecevit ÜniversitesiProtetik Diş Tedavisi Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ŞÜKRİYE ECE GEDUK
PROF. DR. SEDA CENGİZ