Geri Dön

Gaz algılayıcı olarak kullanılmak üzere zno nanoyapıların CVD yöntemiyle üretilmesi ve karakterizasyonu

Nanostructures by CVD method & characterisationas gas sensors

PDF İndir

  1. Tez No: 439381
  2. Yazar: FATIMA RABİA TULUN
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. YAHYA KEMAL TÜR, PROF. DR. ZAFER ZİYA ÖZTÜRK
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Bilim ve Teknoloji, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Kimya Mühendisliği, Science and Technology, Electrical and Electronics Engineering, Chemical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2016
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gebze Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 84

Özet

Bu tezde, yüksek saflıktaki ZnO malzeme kullanılarak, kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle (CVD) 1100°C'de üretilen nano parçacıklardan sensör üretilmiş ve bu sensörlerin gaz algılama özelliklerine bakılmıştır. Öncelikle nano yapıların kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle oluşturulması sağlanarak bu elde edilen yapıların karakterizasyonları yapılmıştır. Taramalı elektron mikroskobu (SEM), x ışınları kırınımı (XRD) ve enerji dağılımlı x ışını (EDX) ile analizleri tamamlanmıştır. ZnO nanoyapıların SEM ile yapılan yapısal karakterizasyonu sonucu tetrapod cinsinden olduğu anlaşılmış ve XRD analizi ile vürtzit yapıda oldukları tespit edilmiştir. Daha sonra üretilen nano yapılardan sensör yapılmak üzere, silisyum üzerine termal buharlaştırıcıda altın kaplama yapılarak kontaktlar alınmış ve daha sonra bu yapının üzerine CVD çemberinden elde edilen yapıların çözdürülerek aktarılması sağlanmıştır. Elde edilen aygıt gaz ölçüm sistemine bağlanmış kontak alınarak ZnO nanoyapıların elektriksel karakterizasyonu I-V ölçümleriyle elde edilmiştir. ZnO tetrapodların gaz algılama özelliklerini incelemek amacıyla, etanol, aseton, kloform, diklorometan izopropanol ve azot dioksiti algılama özellikleri, bilgisayar destekli gaz akış ünitesi kullanılarak 1V sabit akım altında, 200 °C sıcaklıkta belirli gaz konsantrasyonları için test edilmiştir. ZnO tetrapod nanoyapıların bu gazlara duyarlık gösterdiği tespit edilmiştir.

Özet (Çeviri)

The subject of this thesis is to produce sensors by using nano-particles made of high purity ZnO which are synthesized at 1100 °C with CVD method and examine gas sensitivity properties of these sensors. First of all, after production, the characterization of nano-structures was reformed, by using SEM, XRD and EDX. According to the structural characterization by using SEM, it is shown that ZnO nano-structures are type of tetrapod, and exists in wurtzite structure according to the XRD analysis. After the first stage, contact points was obtained by plating gold over silisium in thermal vaporizer to produce sensors from the nano-structures. Then, the structures obtained from CVD circle was solved on this contact points. The produced device was connected to the gas measurement system, and electrical characteristics of ZnO nano-structures was acquired with I-V measurements. Finally, to examine gas sensitivity properties of ZnO tetrapods, ethanol, acetone, chloroform, dichloromethane, isopropanol and nitrogen dioxide sensitivity properties were measured by using a computer supported gas flow unit in 200 °C and under 1V constant current for a spesific concentration value66. According to this measurements, it is discovered that ZnO tetrapod nano-structures are sensitive to these gases.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    854291

    Development of a gas sensing nanofibrous membrane for asthma detection

    Astım hastalığının tayini için gaz algılayıcı nanolifli membran geliştirilmesi

    ARİ HAKGÖR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    Kimyaİstanbul Teknik Üniversitesi

    Tekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SELİN HANİFE ERYÜRÜK

  2. Tez No

    803716

    Development of SAW sensors coated with metal organic framework and borophene for detection of Covid-19

    Covid-19 biyobelirteçlerinin tespiti için metal organi̇k çerçeve ve borofen kaplı SAW sensörlerinin geliştirilmesi

    MAİDE MİRAY ALBAY

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Biyomühendislikİstanbul Teknik Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ZAYİM

  3. Tez No

    507590

    Model based diagnosis of the oxygen sensors

    Oksijen algılayıcıların model tabanlı arıza teşhisi

    KÜBRA EKİNCİ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ŞENİZ ERTUĞRUL

  4. Tez No

    510823

    Synthesis, characterization of PVC-graft-calixarene molecules and investigation of interactions of saw transducers with volatile organic compounds

    PVC- graft- kaliksaren moleküllerinin sentezi,karakterizasyonu ve uçucu organik bileşiklerle olan etkileşim parametrelerinin saw dönüştürücüler ile incelenmesi

    ZEYNEP GENÇ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Polimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı

    PROF. NİLGÜN KIZILCAN

    DR. CİHAT TAŞALTIN

  5. Tez No

    796033

    Nefesteki COVID 19 biyobelirteçleri için algılayıcı malzemeler ve sensör özellikleri

    Sensor materials and sensor features for COVID 19 biomarketers in breath

    FULDEN ZEYNEP KALKAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    BiyoteknolojiGebze Teknik Üniversitesi

    Moleküler Biyoloji ve Genetik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. AYŞE GÜL GÜREK

    DOÇ. DR. İLKE GÜROL

Geri Dön