Effect of duty cycle on the properties of vanadium oxide thin films deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
Görev döngüsü üretim parametresinin atmalı dc reaktif magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin özelliklerine etkisi
- Tez No: 495423
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2018
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 63
Özet
Vanadyum oksit dört temel oksit formuna sahip amfoterik bir malzemedir. Vanadyum oksit ince filmlerin özellikleri bu dört temel fazın ve ara fazların yapı içerisindeki miktar ve dağılımlarına bağlı olarak değişmektedir ve bu sayede farklı uygulama alanlarında kullanılabilmektedir. Fiziksel buhar biriktirme yöntemlerinden biri olan atmalı DC reaktif magnetron sıçratma tekniği ile farklı fazlar ve bu fazların birbirlerine oranlarının ayarlanmasında etkili parametrelerden biri de güç kaynağı görev döngüsüdür. Bu tez çalışması güç kaynağı görev döngüsünün vanadyum oksit ince filmlerin özelliklerine etkisinin incelenmesi amacıyla yapılmıştır. Çalışmada %10 ile %32,5 görev döngüsü değerleri arasında üretilen ince filmler üzerinde elektriksel özellikler, yüzey özellikleri ve kristalografik özellikler ile görev döngüsü parametresi arasındaki ilişki incelenmiştir. Elektriksel karakterizasyon sonuçları görev döngüsü ile elektriksel direnç ve özdirenç arasında ters ilişki olduğunu göstermiştir. Elde edilen sonuçlar seçilen alana uygun vanadyum oksit ince filmin büyütülmesi için gereken özelliklere uygun olan görev çevrimi parametresinin belirlenmesine katkı sağlamaktadır.
Özet (Çeviri)
Vanadium oxide is an amphoteric material with four principal oxide forms. Properties of vanadium oxide thin films depend on the amount and distribution of these four principal oxides and intermediate phases thus providing different application areas. One of the effective parameters that can adjust the composition and distribution of the phases in pulsed DC reactive magnetron sputtering is the duty cycle of the power source. The aim of this thesis study is to investigate the effect of duty cycle on the properties of vanadium oxide thin films deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering. Electrical properties, surface properties and crystallographic properties of films deposited using duty cycles between 10% and 32,5% are measured to determine the relationship between the properties and the duty cycle. Electrical characterization results indicate that resistance and resistivity of the vanadium oxide thin films are inversely proportional with duty cycle. The results contribute to the appropriate duty cycle determination for deposition of vanadium oxide thin films for chosen application.
Benzer Tezler
- Isıl işlem koşullarının düşük alaşımlı Ni-Cr-Mo çeliğinin mekanik özelliklerine ve aşınma direncine etkisi
The Effect of heat treatment on mechanical properties and wear resistance of low alloy Ni-Cr-Mo steel
CEM ERHAZAR
- Katodik ark plazma işlemi ile CrSi2 yarıiletken filmlerin üretimi
CrSi2 semiconductor film production via cathodic arc plasma deposition
BERİL KOZÇAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN
- Peo yöntemi ile AA2014 alaşımı üzerine h-BN/Al2o3 nanokompozit kaplamaların büyütülmesi; yapısal ve tribolojik özelliklerinin karakterizasyonu
Deposition of nanocomposite h-BN/Al2o3 coatings on AA2014 alloys by peo process; characterisation of structural and tribological properties
TAHA ÇAĞRI ŞENOCAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Metalurji MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERSİN ARSLAN
- Orta kapasiteli dizel motorlarında atık ısıdan rankine çevrimi ile enerji geri kazanımı
Energy recovery from waste heat of medium duty diesel engine with organic rankine cycle
AHMET SİNAN KARTAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiEnerji Bilim ve Teknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YAKUP ERHAN BÖKE
- Investigating the effects of micro arc oxidation (MAO) process on thermal and elevated temperature mechanical properties of AZ91 MG alloy
AZ91 MG alaşımlarının termal ve yüksek sıcaklık mekanik özelliklerine mikro ark oksidasyon (MAO) prosesinin etkilerinin incelenmesi
EKİN SELVİ
Doktora
İngilizce
2023
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MURAT BAYDOĞAN