Geri Dön

Effect of duty cycle on the properties of vanadium oxide thin films deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Görev döngüsü üretim parametresinin atmalı dc reaktif magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin özelliklerine etkisi

  1. Tez No: 495423
  2. Yazar: SİNAN ÖZGÜN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2018
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Anadolu Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 63

Özet

Vanadyum oksit dört temel oksit formuna sahip amfoterik bir malzemedir. Vanadyum oksit ince filmlerin özellikleri bu dört temel fazın ve ara fazların yapı içerisindeki miktar ve dağılımlarına bağlı olarak değişmektedir ve bu sayede farklı uygulama alanlarında kullanılabilmektedir. Fiziksel buhar biriktirme yöntemlerinden biri olan atmalı DC reaktif magnetron sıçratma tekniği ile farklı fazlar ve bu fazların birbirlerine oranlarının ayarlanmasında etkili parametrelerden biri de güç kaynağı görev döngüsüdür. Bu tez çalışması güç kaynağı görev döngüsünün vanadyum oksit ince filmlerin özelliklerine etkisinin incelenmesi amacıyla yapılmıştır. Çalışmada %10 ile %32,5 görev döngüsü değerleri arasında üretilen ince filmler üzerinde elektriksel özellikler, yüzey özellikleri ve kristalografik özellikler ile görev döngüsü parametresi arasındaki ilişki incelenmiştir. Elektriksel karakterizasyon sonuçları görev döngüsü ile elektriksel direnç ve özdirenç arasında ters ilişki olduğunu göstermiştir. Elde edilen sonuçlar seçilen alana uygun vanadyum oksit ince filmin büyütülmesi için gereken özelliklere uygun olan görev çevrimi parametresinin belirlenmesine katkı sağlamaktadır.

Özet (Çeviri)

Vanadium oxide is an amphoteric material with four principal oxide forms. Properties of vanadium oxide thin films depend on the amount and distribution of these four principal oxides and intermediate phases thus providing different application areas. One of the effective parameters that can adjust the composition and distribution of the phases in pulsed DC reactive magnetron sputtering is the duty cycle of the power source. The aim of this thesis study is to investigate the effect of duty cycle on the properties of vanadium oxide thin films deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering. Electrical properties, surface properties and crystallographic properties of films deposited using duty cycles between 10% and 32,5% are measured to determine the relationship between the properties and the duty cycle. Electrical characterization results indicate that resistance and resistivity of the vanadium oxide thin films are inversely proportional with duty cycle. The results contribute to the appropriate duty cycle determination for deposition of vanadium oxide thin films for chosen application.

Benzer Tezler

  1. Isıl işlem koşullarının düşük alaşımlı Ni-Cr-Mo çeliğinin mekanik özelliklerine ve aşınma direncine etkisi

    The Effect of heat treatment on mechanical properties and wear resistance of low alloy Ni-Cr-Mo steel

    CEM ERHAZAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1992

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    DOÇ. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU

  2. Katodik ark plazma işlemi ile CrSi2 yarıiletken filmlerin üretimi

    CrSi2 semiconductor film production via cathodic arc plasma deposition

    BERİL KOZÇAZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN

  3. Peo yöntemi ile AA2014 alaşımı üzerine h-BN/Al2o3 nanokompozit kaplamaların büyütülmesi; yapısal ve tribolojik özelliklerinin karakterizasyonu

    Deposition of nanocomposite h-BN/Al2o3 coatings on AA2014 alloys by peo process; characterisation of structural and tribological properties

    TAHA ÇAĞRI ŞENOCAK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Metalurji MühendisliğiAtatürk Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ERSİN ARSLAN

  4. Orta kapasiteli dizel motorlarında atık ısıdan rankine çevrimi ile enerji geri kazanımı

    Energy recovery from waste heat of medium duty diesel engine with organic rankine cycle

    AHMET SİNAN KARTAL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Enerji Bilim ve Teknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YAKUP ERHAN BÖKE

  5. Investigating the effects of micro arc oxidation (MAO) process on thermal and elevated temperature mechanical properties of AZ91 MG alloy

    AZ91 MG alaşımlarının termal ve yüksek sıcaklık mekanik özelliklerine mikro ark oksidasyon (MAO) prosesinin etkilerinin incelenmesi

    EKİN SELVİ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MURAT BAYDOĞAN