Design and fabrication of 3-d mems micro scanner for confocal microscopy
Eşodaklı mikroskopi için 3 boyutlu mems mikro tarayıcı dizaynı ve üretimi
- Tez No: 523086
- Danışmanlar: PROF. DR. ARDA DENİZ YALÇINKAYA
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2018
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Boğaziçi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Elektronik Mühendisliği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 92
Özet
Mikroelektomekanik sistemler (MEMS) teknolojisi mikroskopik cihazların tasarımının ve dizaynlarının gerçekleştirildiği bir teknolojidir. MEMS teknikleri kullanılarak ciharların boyutları ve üretim maliyetleri düşürülebilr. Eşodaklı lazer tarama mikroskopisi, canlı bilimi ve materyal biliminin de içinde bulunduğu bir çok endüstriyel uygulamaya sahip, görüntünün kontrastını ve optik çözünürlüğünü arttıran bir optik mikroskopi tekniğidir. Görüntüyü yeniden oluştururken odaklanmamış ışığı bertaraf eder. Eşodaklı mikroskopide, lazer ışını numunenin üzerinde taratılır. Bu amaç uğruna, bu tezde üç boyulu bir MEMS mikro tarayıcı tasarlanmış ve üretilmiştir. Eşodaklı mikroskopinin çalışma prensibi ve kullanılan mikro tarayıcı türleri açıklanmıştır. Mikro tarayıcının dizayn ve üretim aşamaları detaylıca açıklanmıştır. Ek olarak, 3 boyutlu görüntüleme için bir paslanmaz çelik mikro tarayıcı tasarlanmış ve üretilmiştir. Bu cihazın çalışma prensibi, dizaynı ve simülasyonları gösterilmiştir. Üretilen cihazların karekterizasyonları ve ölçümleri, cihazların tasarımlarla uyumlu olup olmadığını gösterdiği için önemlidir. Çeşitli karekterizasyon kurulumları aday gösterilmiş ve hesaplamaları detaylı olarak açıklanmıştır.
Özet (Çeviri)
Microelectromechanical systems (MEMS) technology is the technology of design and fabrication of microscopic devices. Using MEMS techniques the size of the devices can be minimized as well as the fabrication cost. Laser confocal scanning microscopy is an optical microscopy technique used in many industrial applications including life sciences and materials science, to increase the contrast and optical resolution of the image. It eliminates the out of focus light while reconstructing the image. In confocal microscopy, the laser beam is scanned over the sample. For this purpose, a 3 dimensional MEMS micro scanner is designed and fabricated in this thesis. The working principles of confocal microscopy and the types of micro scanners used are explained. The design and fabrication steps of the micro scanner are clarified explicitly. Additionally, a stainless steel micro scanner is designed and fabricated for 3 dimensional imaging. The working principle of this device, its design and simulations are shown. Characterization and measurement of the fabricated devices and are also important to observe if the designs are compatible with simulations. Several characterization setups are proposed and their calculations are explained in detail.
Benzer Tezler
- Nanoteknolojide yerel olmayan çubuk teorisinin statik ve dinamik problemleri
Static and dynamic problems of nonlocal beam theory in nanotechnology
OLCAY OLDAÇ
Doktora
Türkçe
2016
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EKREM TÜFEKCİ
- A MEMS thermoelectric energy harvester for energy generation in mobile systems
Mobil sistemlerde enerji harmanlama için MEMS termoelektrik enerji üreteci
EMRE TAN TOPAL
Yüksek Lisans
İngilizce
2011
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HALUK KÜLAH
PROF. DR. TUNA BALKAN
- Çift yönlü hareket edebilen elektrotermal mikroaktüatörün tasarımı, analizi ve üretimi
Design, analysis and fabrication of bidirectional electrothermal microactuator
İSHAK ERTUĞRUL
Doktora
İngilizce
2019
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİHAT AKKUŞ
- Simulation of continous polystyrene particle manipulation with dielectrophoresis using comsol
Alternatif akım kutupsal devinim ile sürekli akışta polistren parçacıkların yönlendirilmesinin comsol simulasyonu
YAVUZ GENÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Bilim ve Teknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LEVENT TRABZON
- Investigation of electro-mechanical factors effecting micro-pump characteristics for biomedical applications
Biyomedikal uygulamalarda kullanılan mikropompaların karakteristiğini etkileyen elektro-mekanik faktörlerin incelenmesi
HAMİD ASADİ DERESHGİ
Doktora
İngilizce
2019
Mekatronik MühendisliğiSakarya ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MUSTAFA ZAHİD YILDIZ