Geri Dön

Soğuk altlık yöntemiyle Ag/n-Si metal-yarıiletken ikili yapıların üretilmesi ve karakteristik özelliklerinin incelenmesi

Preparation of Ag/n-Si metal-semiconductor bi-structures via low-temperature deposition method and investigation of characteristic properties

  1. Tez No: 579831
  2. Yazar: GİZEM ÖZTÜRK
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. VAGİF NEVRUZOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Enerji, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Energy, Physics and Physics Engineering, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Recep Tayyip Erdoğan Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Enerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 86

Özet

Bu tez çalışmasında en önemli husus, daha önceden denenmeyen yeni bir teknolojik sürecin Ag/n-Si ikili yapılarının oluşumunda kullanılmasıdır. Soğuk altlık tekniği olarak adlandırılan bu yeni uygulamada, altlık yüzeyi eşit boyutlu kümelerle kaplanmaktadır. Bu büyüme mekanizmasına soliton büyüme mekanizması adı verilir. Bilindiği üzere nano boyutlu gümüş taneleri UV ışınları ile ışınlandırıldığında yüzeysel plazmon rezonans olayı gerçekleşmektedir. Gümüş tanelerinin bu özellikleri kullanılarak ilk defa ısısal tahribata uğratmadan n-Si tabanlı polikristal yapı yüzeyine 200 K ve 300 K sıcaklıklarında kısmen kapalı ortamda soğuk altlık yöntemi ile gümüş buharlaştırılarak Ag/n-Si ikili yapılar (Schottky diyot) oluşturuldu. Metal-yarıiletken geçidinin oluşumu için bu ikili yapılar foto-uyarmalı difüzyon sürecine tabi tutuldu. Elde edilen örneklerin XRD, SEM, EDS ve FESEM ölçümleri alınarak yapısal özellikleri incelendi. I-V ölçümlerinden idealite faktörü (n) ve sıfır besleme engel yüksekliği (ΦB) gibi elektriksel parametreler hesaplandı. Ayrıca Cheung yöntemi kullanılarak seri direnç (Rs) ve idealite faktörü (n) hesaplandı. 200 K altlık sıcaklığında üretilen Schottky diyotlarda elde edilen karakteristik özelliklerin 300 K'e kıyasla daha verimli olduğu gözlemlendi. Bunun nedeni 200 K altlık sıcaklığında silisyum yüzeyindeki gümüş tabakasının eşit boyutlu kümelerden oluşmasından ve bu tabakaların UV ışını ile ışınlanarak foto-uyarmalı difüzyon sürecine tabi tutulmasından kaynaklanmaktadır.

Özet (Çeviri)

The most important point of this thesis is use of a new technologic process that have never been applied before, in formation of Ag/n-Si bi-structure. In this new application which is low temperature deposition method, substrate surface is coated with equal size grains. This growth mechanism is named soliton mechanism. As known, when equal sized silver grains are irradiated with UV lights, surface plasma resonance phenomenon occurs. By using this characteristic of silver grains and evaporation of silver over n-Si based policrystalline structure surface via low temperature deposition method at 200 K and 300 K temperatures and in almost close environment, Ag/n-Si bi-structures (Schottky diode) have been formed for the first time without any thermal damage. These bi-structures have been exposed to photo-excited diffusion process for metal semiconductor gate formation. Structural characteristics of acquired samples have been examined via XRD, SEM, EDS and FESEM measurements. Electrical parameters such as ideality factor (n) and zero bias barrier height (Φb) have been calculated from I-V measurements. Also serial resistor (Rs) and ideality factor (n) have been calculated by using Cheung method. It is observed that characteristics of produced Schottky diodes at 200 K substrate temperature are more efficient than 300 K temperature because silver layer on silicon surface is formed as equal sized grains at 200 K substrate temperature and when these layers are irradiated with UV lights, plasma resonance phenomenon occurs on surface of diode.

Benzer Tezler

  1. Synthesis of copper zinc tin sulfide CZT(S,Se) with solution based method and formation and characterization of CZT(S,Se) thin films for photovoltaic application

    Solüsyon yöntemiyle CZTS sentezi ve fotovoltaik devreler için CZTS ince film oluşturma ve film özelliklerini inceleme

    RIDVAN ERĞUN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Enerjiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ELİF ÜLKÜ ARICI

  2. Sol-gel ile büyütülen ZnO ince filmlerine soğuk altlık yöntemiyle ag buharlaştırılarak diyot üretimi ve karakterizasyonu

    Diode production by evaporating ag wi̇th cold substrate method on ZnO thin films grown vi̇a Sol-gel method andcharacterization

    MAHER HAIDAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Bilim ve TeknolojiRecep Tayyip Erdoğan Üniversitesi

    Enerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. EYÜP FAHRİ KESKENLER

  3. Wear behaviour of multilayer coated WE43 magnesium alloy

    Çok katmanlı kaplanmış WE43 magnezyum alaşımının aşınma davranışı

    MERTCAN KABA

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2020

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU

    PROF. DR. UĞUR MALAYOĞLU

  4. Toz metalurjisi ile üretilen takım çeliklerinin sıcak daldırma yöntemiyle alüminyum kaplama sonrası yüzey karakterizasyonu

    Surface characterization of powder metallurgy tool steels after hot dip aluminizing

    ANIL ÇALIŞKAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MURAT BAYDOĞAN

  5. Kriyojenik sıcaklıkta grafen oksit yapısının gümüş atomları ile katkılandırılması ve plazmonik özelliklerinin incelenmesi

    Doping of graphene oxide structure with silver atoms at cryogenic temperature and investigation of its plasmonic properties

    ZELİHA KÜBRA ŞEŞEN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    EnerjiRecep Tayyip Erdoğan Üniversitesi

    Enerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. VAGİF NEVRUZOĞLU