Esnek elektronik uygulamalar için nano-ölçekli akıllı ince film ve kaplama malzeme sistemlerinin geliştirilmesi
Development of nano-scale smart thin film and coating material systems for flexible electronic applications
- Tez No: 972967
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2025
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Birçok farklı alanda uygulamalar için mikrobolometrelerin geliştirilmesi ve büyük ölçekli endüstriyel üretim kapsamında kızılötesi (IR) görüntü teknolojisine yönelik mikrobolometrelerin üretilmesi ile birlikte günlük yaşam ürünlerine ve bilimsel devrime büyük bir etki yapması beklenmektedir. Bu tez, alternatif malzeme arayışında rol alabilecek yeni nesil ince filmlerin geliştirilmesi ve özelliklerinin incelenerek soğutmasız IR mikrobolometreler için uygulama potansiyelinin analizi için yapılan çalışmaları kapsamaktadır. Bu bağlamda, ilk olarak üretim parametrelerinin optimizasyonu ile elde edilen TiAlV ince filmlerin yapısal özellikleri (β fazı) ve elektriksel direnç (64 Ω/sqr) ve özdirenç (148 Ω.cm) değerleri ile birlikte en yüksek film büyüme oranına sahip oldukları göz önüne alındığında potansiyel elektriksel aygıt uygulamaları için uygun bir aday olduğu sonucuna varılmıştır. İkinci kısımda, Soğutmasız IR mikrobolometre için VOx akıllı metal oksit ince filmlerin rijit ve esnek yüzeyler üzerine elde edilmesinde TiAlV ve TiAlVOx ara tampon katmanlarının kullanımı araştırılmıştır. Burada cam ve poliimid (PI) alttaş malzemeleri üzerinde büyütülen TiAlVOx(10 nm)/VOx(50 nm) ince film sisteminde sırasıyla 3,17 ve 2,67 (-%/K) TCR değerleri ile TiAlVOx(10 nm) ince filmin VOx akıllı metal oksitlerin eldesinde ara tampon katmanı olarak kullanılabilecek potansiyele sahip olduğu ortaya koyulmuştur. Son kısımda, farklı oksijen akışı oranlarında Si/SiNx üzerinde geliştirilen TiAlVOx ince filmlerde elde edilen 2 (-%/K) TCR değeri ile birlikte literatürdeki bilinen aktif malzemelere göre çok daha düşük olan elektriksel özdirenç değeri (0,08 Ω.cm), IR mikrobolometre uygulamalarında kullanım potansiyeli olan yeni bir alternatif malzeme elde edildiği sonucuna varılmıştır.
Özet (Çeviri)
The development of microbolometers for many applications, including industrial production of microbolometers for infrared imaging technology, has the potential to significantly impact daily life products and the scientific revolution. This thesis covers studies to develop new generation thin films that can contribute to the search for alternative materials and analyze their potential application for uncooled IR microbolometers by examining their properties. In this context, firstly, after analyzing the structural properties (β phase), electrical resistance (64 Ω/sqr), and resistivity (148 Ω.cm) of TiAlV thin films optimized through parameter adjustments during production, we concluded that these films, which exhibit the highest growth rate, are suitable candidates for electronic applications. In the second part, the use of TiAlV and TiAlVOx buffer layers in the production of VOx smart metal oxide thin films on both rigid and flexible substrates for uncooled IR microbolometer was investigated. TCR values of 3.17 and 2.67(-%/K) were obtained for the TiAlVOx(10 nm)/VOx(50 nm) thin film system grown on glass and polyimide substrates, respectively, demonstrating the potential of the TiAlVOx(10 nm) thin film as an intermediate buffer layer in the production of VOx smart metal oxides. In the final part, the TCR values of 2(-%/K) obtained for TiAlVOx thin films grown on Si/SiNx substrates at different oxygen flow rates, along with the electrical resistivity value (0.08 Ω.cm), which is much lower than that of known active materials in the literature, led to the conclusion that a new alternative material with potential for use in IR microbolometer applications was obtained.
Benzer Tezler
- Nanokompozit yapılı lif tasarımı ve geliştirilmesi
Design and development of nanocomposite fibers
NURAY KIZILDAĞ
Doktora
Türkçe
2017
Tekstil ve Tekstil Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NURAY UÇAR
- Azobenzen esaslı sıvı kristallerin ve kiral nanokompozitlerinin sentezi, karakterizasyonu, mesomorfik özelliklerinin incelenmesi
Synthesis, characterization, investigation of mesomorphic properties of azobenzene based liquid crystals and their chiral nanocomposites
BARIŞ SEZGİN
Doktora
Türkçe
2023
KimyaSüleyman Demirel ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TAHİR TİLKİ
PROF. DR. HALE OCAK
- Self-powered, flexible, silicon carbide nanowire-based ultraviolet sensing devices
Kendi kendine çalışabilen, esnek silikon karbür nanotel tabanlı ultraviyole ışın algılama cihazları
MUSTAFA AKİF YILDIRIM
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KAŞİF TEKER
- Fotoelektrokimyasal sistemler için ileri malzemeler geliştirilmesi: Üretim, karakterizasyon ve sistem entegrasyonu
Development of advanced materials for photoelectrochemical systems: Production, characterization and integration
ALİHAN KUMTEPE
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Mühendislik BilimleriTobb Ekonomi ve Teknoloji ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
PROF. DR. MEHMET SANKIR
- Development of electrodes & electrolytes for high performance and long life supercapacitors
Yüksek performanslı ve uzun ömürlü süperkapasitörler için elektrot ve elektrolit geliştirilmesi
MERT UMUT ÖZKAYNAK
Doktora
İngilizce
2025
Enerjiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FATMA SENİHA GÜNER
PROF. DR. NİLGÜN YAVUZ