Geri Dön

Metal/ yarıiletken MIS yapıların karakteristik parametrelerinin belirlenmesi

Determining the characteristic parameters of metal/ semiconductor MIS structure

  1. Tez No: 105263
  2. Yazar: NESİM BUĞUR
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. MUSTAFA SAĞLAM
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Schottky diyodları, Temas, Yarı iletkenler, Schottky diodes, Contact, Semiconductors
  7. Yıl: 2001
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Atatürk Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

ÖZET ı Ag//?-GaAs Schottky diyodları, rc-GaAs (100) yarıiletkeninin bir yüzüne omik kontak için Au-Ge, diğer yüzüne doğrultucu kontak için Ag (%99.9) buharlaştırılarak elde edildiler. Referans numune ile MİS Schottky diyod için doğru beslem altında I-V karakteristikleri çizilerek idealite faktörü ve etkin engel yüksekliği hesaplandı. Referans numune için idealite faktörü «=1.16, etkin engel yüksekliği de 0.83 eV bulundu. MİS Schottky diyod için ise idealite faktörü n= 1.81 bulunurken, etkin engel yüksekliği de yaklaşık 0.92 eV olarak hesaplandı. Ayrıca bu iki diyod için imaj kuvvetinden ve tünellemeden dolayı engel yüksekliklerinde meydana gelen düşmeler ile idealite faktörlerindeki değişmeler de belirlendi. Yine bu numuneler için doğru ve ters beslem altında C-V ile C -V karakteristikleri çizildi. Bu karakteristiklerden yararlanılarak iki numune için de difüzyon potansiyeli (Vd), Fermi enerji seviyesi (Vn), donor konsantrasyonu (Nd) ve engel yükseklikleri (Ob") hesaplandı. Ancak arayüzey hallerinin, oksit tabakasının ve seri direncin elde edilen parametrelerin idealliğine büyük ölçüde etki ettiği görüldü. Bunlardan başka, referans numunenin idealite faktörü ve engel yüksekliği arasında, engel inhomojenliğine atfedilen, bir lineer korelasyon gözlendi. MİS diyotlarda, arayüzey tabakasının varlığından dolayı, böyle bir ilişki gözlenmedi.

Özet (Çeviri)

SUMMARY The Ag/w-GaAs Schottky diodes were prepared using mirror cleaned and polished n- GaAs (as received from the manufacturer) with (100) orientation and 2-5x10 cm“ earner concentration. Au-Ge (%88, % 12) for ohmic contacts was evaporated on the back of the wafer in a vacuum-coating unit of 1 0”5 Torr. The Schottky contacts were formed by evaporating Ag as dots with diameter of about 1.35 mm onto all of the n- GaAs surfaces. Metal/isulating/semiconductor (MIS) diodes wer also fabricated by anodic oxide method. The ideality factor and barrier height values for the reference and MIS diodes were calculated drawing their current- voltage (I-V) curves. The values of 1.16 and 0.83 for the ideality factor and barrier height of one of the reference diode were obtained, respectively, and the values of 1.81 and 0.92 for one of the MIS diode. Furthermore, tunnelling effect through the top of Schottky barrier and image forge lowering effect for the I-V barrier and ideality factor of both diodes were also taken into account. Again, the diffusion potential, Fermi Level, carrier concentration and barrier height values for both diodes were computed from the reverse bias C'-V characteristics. It was seen that the interfacial layer and interface states affected the ideality of the devices considerably. Moreover, it was concluded for the reference sample that there was a linear relationship between experimental effective barrier heights and ideality factors of Schottky contacts that has been explained by inhomogeneities of the barrier heights in real Schottky diodes. The extrapolation of the barrier heights versus ideality factors plot to the ideality factor given a homogeneous barrier height of approximately 0.94 eV for the reference sample. There was no any correlation between experimental effective barrier heights and ideality factors of MIS contacts, therefore, the barrier inhomogeneity was not expected to be the dominant effect in MIS contact.

Benzer Tezler

  1. Gözenekli silisyum/organik yarıiletken eklemlerin fiziksel özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of physical properties of porous silicon/organic semiconductor junction

    ORHAN ŞENTÜRK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiBursa Uludağ Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SERTAN KEMAL AKAY

    DOÇ. DR. SÜREYYA AYDIN YÜKSEL

  2. Metal-organik-yarı iletken yapıların arayüzey özelliklerinin belirlenmesi

    Investigation of interface properties of metal-organic semiconductor structures

    ARDEN ERKOL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ÇİĞDEM ORUÇ

  3. GaN schottky güneş gözelerinin iki boyutlu modellenmesi

    Two-dimensional modeling of GaN schottky solar cells

    BENGÜL METİN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Fizik ve Fizik MühendisliğiMuğla Sıtkı Koçman Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. NEŞE KAVASOĞLU

  4. Color generation and enhancement using large-scale compatible metamaterial design architectures

    Büyük ölçekli üretime uygun metamalzeme tasarım mimarisi kullanarak renk üretme ve iyileştirmesi

    ALİ CAHİT KÖŞGER

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2022

    Bilim ve Teknolojiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)

    PROF. DR. EKMEL ÖZBAY

  5. Au/p-Si yapılarının elektriksel özellikleri üzerine arayüzey tabakasının etkisi

    The effect of interface layer on the electrical characteristics of au / p-Si structures

    MİNE KESKİN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Fizik ve Fizik MühendisliğiErciyes Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ENİSE AYYILDIZ