Geri Dön

Ark PVD yöntemiyle biriktirilen NbN kaplamalar ve özellikleri

Vacuum arc deposited NbN coatings and their properties

  1. Tez No: 154336
  2. Yazar: İDİL AYŞE AVUNDUK
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. NURHAN CANSEVER
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: NbN kaplamalar, Ark PVD yöntemi, Altmetal öngerilim voltajı (Vbias), İnce seramik filmler, Mekanik özellikler x, NbN coatings, Arc PVD method, Substrate bias voltage (Vbias), Thin ceramic films, mechanical properties XI
  7. Yıl: 2004
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Yıldız Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 91

Özet

ÖZET HSS (yüksek hız çeliği) esaslı kesici takımlar üzerine kaplanan ince seramik filmler, sahip oldukları üstün mekanik ve kimyasal özellikleri (yüksek sertlik, yüksek aşınma dayanımı, düşük sürtünme katsayısı ve yüksek oksidasyon dayanımı) nedeniyle kesici takımların ömürlerinde ve performanslarında büyük artış sağlamaktadırlar. Bu kaplamaları elde etmek için kullanılan yöntemlerden biri olan Ark PVD (fiziksel buhar biriktirme) yöntemi, kaplama biriktirme hızının yüksek olması, iyonizasyon miktarının yüksek olması, düşük altmetal sıcaklıklarında iyi yapışma sağlanması, istenilen bileşimde alaşımların üretilebilmesi gibi avantajlara sahiptir. Bu çalışmada, Ark PVD yöntemi kullanılarak, HSS ve silisyum pul alt malzemeler üzerine, Vbias voltajı dışında tüm parametreler sabit tutularak, üç değişik NbN kaplama yapılmıştır. Daha sonra numunelerin, mikro sertlik, yüzey pürüzlülüğü, kaplama kalınlığı değerleri ölçülmüş, SEM (taramalı elektron mikroskobu) ve ışık mikroskobunda yapılan incelenmiş, X ışını analizleri yapılmıştır. Bu deneyler aracılığıyla NbN kaplamaların özellikleri ve altmetal öngerilim voltaj mm (Vbias) değişiminin bu özellikler üzerindeki etkisi incelenmiştir.

Özet (Çeviri)

ABSTRACT Thin ceramic films, coated on HSS ( High speed steel) cutting tools promises superior mechanical and chemical properties like higher hardness values, higher wear resistance values, lower friction coefficiency values, higher corossion resistance values. In return extending the life and increase the performance of cutting tools. The Arc PVD (Physical vapour deposition) method, one of several methods of ceramic coating, has many advantages like higher coating deposition speed, higher ionization quantity, good adhesion qualification at the low substrate temperatures, and production of compounds at desired composition. In this research, we have coated HSS and silisium wafer substrates with NbN. Ark PVD technique used for coating operation. Experiment has been repeated 3 times and all parameters, except V^as voltage, remained unchanged. After coating operation we have measured following properties of coated samples respectively; micro hardness, surface roughness, coating thickness. SEM, X-ray and optic microscopes analyzes are also carried to identifty surface structures of coated samples. In this work we have explored the properties of NbN coatings and the effect of variable“Vbias voltage”on coating operation.

Benzer Tezler

  1. Nitrasyon ve katodik ark pvd yöntemi ile oluşturulan ticrn ince film kaplamaların incelenmesi

    Investigation of ticrn thin film coatings produced by nitration and cathodic arc pvd method

    SEDA ATAŞ BAKDEMİR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Metalurji MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SERDAR SALMAN

    DR. ÖĞR. ÜYESİ ELİF UZUN KART

  2. Çelik üzerinde titanyum karbür katmanlarının katodik ark FBB temelli yayındırma yöntemi ile üretilmesi

    Production of titanium carbides on steel via diffusion based cathodic arc PVD method

    ERKAN KAÇAR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN

  3. The role of different modes of bias voltage on the morphology, structure and durability of tin and tialn coatings produced with cathodic arc physical vapor deposition

    Farklı hızlandırma voltaj türlerinin katodik ark fiziksel biriktirme yöntemi ile üretilen tin ve tialn kaplamaların morfoloji, yapı ve dayanaklılığı üzerindeki rolü

    GOLNAZ TAGHAVI POURIAN AZAR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN

  4. Ark PVD yöntemiyle tin kaplanmış kesici takımların karakterizasyonu ve performanslarının incelenmesi

    Başlık çevirisi yok

    M.CENK TÜRKÜZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1997

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. E. SABRİ KAYALI

  5. Ark-PVD yöntemiyle üretilen niobyumnitrür ve titanyumnitrür katmanların karşılıklı olarak araştırılması

    Reciprocal research of niobiumnitride and titaniumnitride films produced by arc-PVD method

    ERSOY ERİŞİR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2002

    Metalurji MühendisliğiKocaeli Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ŞADİ KARAGÖZ