Ark PVD yöntemiyle biriktirilen NbN kaplamalar ve özellikleri
Vacuum arc deposited NbN coatings and their properties
- Tez No: 154336
- Danışmanlar: DOÇ. DR. NURHAN CANSEVER
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: NbN kaplamalar, Ark PVD yöntemi, Altmetal öngerilim voltajı (Vbias), İnce seramik filmler, Mekanik özellikler x, NbN coatings, Arc PVD method, Substrate bias voltage (Vbias), Thin ceramic films, mechanical properties XI
- Yıl: 2004
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Yıldız Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 91
Özet
ÖZET HSS (yüksek hız çeliği) esaslı kesici takımlar üzerine kaplanan ince seramik filmler, sahip oldukları üstün mekanik ve kimyasal özellikleri (yüksek sertlik, yüksek aşınma dayanımı, düşük sürtünme katsayısı ve yüksek oksidasyon dayanımı) nedeniyle kesici takımların ömürlerinde ve performanslarında büyük artış sağlamaktadırlar. Bu kaplamaları elde etmek için kullanılan yöntemlerden biri olan Ark PVD (fiziksel buhar biriktirme) yöntemi, kaplama biriktirme hızının yüksek olması, iyonizasyon miktarının yüksek olması, düşük altmetal sıcaklıklarında iyi yapışma sağlanması, istenilen bileşimde alaşımların üretilebilmesi gibi avantajlara sahiptir. Bu çalışmada, Ark PVD yöntemi kullanılarak, HSS ve silisyum pul alt malzemeler üzerine, Vbias voltajı dışında tüm parametreler sabit tutularak, üç değişik NbN kaplama yapılmıştır. Daha sonra numunelerin, mikro sertlik, yüzey pürüzlülüğü, kaplama kalınlığı değerleri ölçülmüş, SEM (taramalı elektron mikroskobu) ve ışık mikroskobunda yapılan incelenmiş, X ışını analizleri yapılmıştır. Bu deneyler aracılığıyla NbN kaplamaların özellikleri ve altmetal öngerilim voltaj mm (Vbias) değişiminin bu özellikler üzerindeki etkisi incelenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT Thin ceramic films, coated on HSS ( High speed steel) cutting tools promises superior mechanical and chemical properties like higher hardness values, higher wear resistance values, lower friction coefficiency values, higher corossion resistance values. In return extending the life and increase the performance of cutting tools. The Arc PVD (Physical vapour deposition) method, one of several methods of ceramic coating, has many advantages like higher coating deposition speed, higher ionization quantity, good adhesion qualification at the low substrate temperatures, and production of compounds at desired composition. In this research, we have coated HSS and silisium wafer substrates with NbN. Ark PVD technique used for coating operation. Experiment has been repeated 3 times and all parameters, except V^as voltage, remained unchanged. After coating operation we have measured following properties of coated samples respectively; micro hardness, surface roughness, coating thickness. SEM, X-ray and optic microscopes analyzes are also carried to identifty surface structures of coated samples. In this work we have explored the properties of NbN coatings and the effect of variable“Vbias voltage”on coating operation.
Benzer Tezler
- Nitrasyon ve katodik ark pvd yöntemi ile oluşturulan ticrn ince film kaplamaların incelenmesi
Investigation of ticrn thin film coatings produced by nitration and cathodic arc pvd method
SEDA ATAŞ BAKDEMİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Metalurji MühendisliğiMarmara ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SERDAR SALMAN
DR. ÖĞR. ÜYESİ ELİF UZUN KART
- Çelik üzerinde titanyum karbür katmanlarının katodik ark FBB temelli yayındırma yöntemi ile üretilmesi
Production of titanium carbides on steel via diffusion based cathodic arc PVD method
ERKAN KAÇAR
Doktora
Türkçe
2022
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
- The role of different modes of bias voltage on the morphology, structure and durability of tin and tialn coatings produced with cathodic arc physical vapor deposition
Farklı hızlandırma voltaj türlerinin katodik ark fiziksel biriktirme yöntemi ile üretilen tin ve tialn kaplamaların morfoloji, yapı ve dayanaklılığı üzerindeki rolü
GOLNAZ TAGHAVI POURIAN AZAR
Doktora
İngilizce
2019
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
- Ark PVD yöntemiyle tin kaplanmış kesici takımların karakterizasyonu ve performanslarının incelenmesi
Başlık çevirisi yok
M.CENK TÜRKÜZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. E. SABRİ KAYALI
- Ark-PVD yöntemiyle üretilen niobyumnitrür ve titanyumnitrür katmanların karşılıklı olarak araştırılması
Reciprocal research of niobiumnitride and titaniumnitride films produced by arc-PVD method
ERSOY ERİŞİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Metalurji MühendisliğiKocaeli ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ŞADİ KARAGÖZ