Dynamic ion behavior in plasma source ion implantation
Plazma kaynaklı iyon ekiminde dinamik iyon hareketi
- Tez No: 172293
- Danışmanlar: PROF.DR. SİNAN BİLİKMEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: tyon Ekimi, Plazma Kaynaklı İyon Ekimi, Dinamik İyon Ha reketi, Sayısal Çözümleme, Modelleme, Ion implantation, Plasma Source Ion Implantation, Plasma Immer sion Ion Implantation, Dynamic Ion Behavior, Modeling
- Yıl: 2006
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 88
Özet
öz PLAZMA KAYNAKLI İYON EKİMİNDE DİNAMİK İYON HAREKETİ Bozkurt, Bilge Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Sinan Bilikmen Ocak 2006, 74 sayfa Bu çalışmanın amacı, plazma kaynaklı iyon ekimi ile düzlemsel ve silindirik he defler için endüstriyel uygulama düşünülerek iyon-matris plakalarının evrimi esnasındaki dinamik iyon hareketini analitik olarak çalışmak ve sonra bu dina mik iyon hareketini sayısal olarak simüle eden bir kod geliştirmektir. Eğer bir deşarj tüpünde elektrotlar arası mesafe az ise, elektrotlar arasına yüksek bir potansiyel uygulandığında, tüm elektrotlar arası mesafeyi dolduran bir iyon- matris plakası oluşur. Kısa bir süre sonra iyon-matris plakası katoda doğru ha reket etmeye başlar ve orada kaybolur. Matris plakasının evrimi esnasında iki bölge oluşur. Bu iki bölgenin potansiyel profili türetilmiş ve katottaki iyon akısı hesap edilmiştir. Sonra, sonlu farklar metodu kullanılarak problem sayısal ola rak simüle edilmiştir. Analitik hesaplamaların sonuçları ile sayısal simülasyonla- rın uyumlu olduğu gözlemlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT DYNAMIC ION BEHAVIOR IN PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION Bozkurt, Bilge M. S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Sinan Bilikmen January 2006, 74 pages The aim of this work is to analytically treat the dynamic ion behavior during the evolution of the ion matrix sheath, considering the industrial application plasma source ion implantation for both planar and cylindrical targets, and then to de velop a code that simulates this dynamic ion behavior numerically. If the sepa ration between the electrodes in a discharge tube is small, upon the application of a large potential between the electrodes, an ion matrix sheath is formed, which fills the whole inter-electrode space. After a short time, the ion matrix sheath starts moving towards the cathode and disappears there. Two regions are formed as the matrix sheath evolves. The potential profiles of these two regions are derived and the ion flux on the cathode is estimated. Then, by us ing the finite-differences method, the problem is simulated numerically. It has been seen that the results of both analytical calculations and numerical simula tions are in a good agreement.
Benzer Tezler
- Statistical investigation of magnetosphere-ionosphere-ground interaction over mid-latitudes during geomagnetic storms
Jeomanyetik fırtınalar sırasında orta enlemlerdeki manyetosfer-iyonosfer-yer etkileşiminin istatistiksel olarak incelenmesi
EZGİ GÜLAY
Yüksek Lisans
İngilizce
2023
Astronomi ve Uzay Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiMeteoroloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZEREFŞAN KAYMAZ
- TİN kaplama parametrelerinin aşınma davranışı üzerindeki etkisi
The Effect of coating parameters on the wear behaviour of TİN
OĞUZ AKKAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. E. SABRİ KAYALI
- BIOINTERFACIAL CELL/PROTEIN–POLYMER INTERACTIONS INVESTIGATED BY QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE WITH DISSIPATION
Hücre/protein–polimer biyoarayüzündeki etkileşimlerin disipasyon izlemeli kuvars kristal mikroterazi ile incelenmesi
AYŞE BUSE ÖZDABAK SERT
Doktora
İngilizce
2023
Biyoteknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiMoleküler Biyoloji-Genetik ve Biyoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ABDULHALİM KILIÇ
- Ground-state properties of ultra-cold atomic gases
Ultra-soğuk atomik gazların taban-durumu özellikleri
SEVİLAY SEVİNÇLİ
Doktora
İngilizce
2008
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BİLAL TANATAR