Optical characterization of silicon based hydrogenated amorphous thin films by UV-Visible and infrared measurements
Silikon tabanlı hidrojenlenmiş amorf ince filmlerin mor ötesi-görünür ve kızılötesi ölçümler ile optik karakterizasyonu
- Tez No: 172294
- Danışmanlar: PROF.DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Geçirme, Yansıma, FT-IR, Mor Ötesi, Görünür Bölge, Kırılma indisi, Soğrulma Katsayısı, İnce Film, Optik Karakterizasyon, Transmittance, Reflectance, FT-IR, Visible, Refractive Index, Absorption Coefficient, Thin Film, Optical Characterization IV
- Yıl: 2006
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
öz SİLİKON TABANLI HİDROJENLENMİŞ AMORF İNCE FİLMLERİN MOR ÖTESİ-GÖRÜNÜR VE KIZILÖTESİ ÖLÇÜMLER İLE OPTİK KARAKTERİZASYONU KILIÇ, İlker Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu Ocak 2006, 101 sayfa. Çeşitli karbon içerikli hidrojenlenmiş amorf silisyum (a-Si:H) ve hidrojenlenmiş amorf silisyum ince filmler (a-Si:H), plazmayla hızlandırılmış kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemiyle çeşitli tabanlar üzerine biriktirilmiştir. Bu filmlerin geçirgenlik tayfları mor ötesi-görünür bölgede ölçülerek belirlenmiş ve elde edilen veriler (kırılma indisi, kalınlık, vs.), ilgili fiziksel sabitleri bulmak için analiz edilmişlerdir. Bu filmlerin kızılötesi tayflarım belirlemek için fourier dönüşümlü kızılötesi (FT-IR) spektrometre yöntemi kullanılmıştır. Bu şekilde elde edilen veriler filimlerin bağ yapılarının belirlenmesinde kullanılmıştır. Etilen (C2H4) gazının göreceli konsantrasyonunun ince film bağ yapışma ve optik sabitlere etkileri sorgulanmıştır.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT OPTICAL CHARACTERIZATION OF SILICON BASED HYDROGENATED AMORPHOUS THIN FILMS BY UV-VISIBLE AND INFRARED MEASUREMENTS KILIÇ, İlker Ms., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu January 2006, 101 pages. Various carbon content hydrogenated amorphous silicon carbide (a-Sii-a-C^H) and hydrogenated amorphous sihcon (a-Si:H) thin films have been deposited on various substrates by using plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) technique. Transmission spectra of these films have been determined within UV- Visible region and the obtained data were analysed to find related physical constants such as; refractive indices, thicknesses, etc. Fourier transform infrared (FT-IR) spectrometry technique has been used to determine transmis sion & reflection type spectra of these films. Obtained data were analysed to determine bond structures of the films. Effects of relative concentration of ethy lene (C2H4) gas on thin film bond structure and on optical constants have been questioned.
Benzer Tezler
- Molibden katkılı elmas-benzeri karbon filmlerin üretimi, karakterizasyonu ve tribolojik özellikleri
Production, characterization and tribological properties of molybdenum doped diamond-like carbon films
EMRE ALP
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. M. KÜRŞAT KAZMANLI
- Darbeli anodizasyon tekniği ile gözenekli ve Si ve gözenekli Si tabanlı fabry-perot yapılarının üretimi: Yapısal ve optik özelliklerinin incelenmesi
Fabrication of porous Si and porous Si based fabry-perot structures by pulse anodization technique: Structural and optical characterization
TEVHİT KARACALI
Doktora
Türkçe
2003
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN EFEOĞLU
- Design, fabrication and characterization of subwavelength-scale distance sensors based on optical directional coupling
Optik yönlü bağlaşım temelli dalgaboyu-altı mesafe ölçüm sensörlerinin tasarımı, imalatı ve karakterizasyonu
SHAHAB BAKHTIARI GORAJOOBI
Yüksek Lisans
İngilizce
2013
Mekatronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ERDAL BULĞAN
- Characterization and commercialization of silicon and InGaAs-based single photon detectors
Silikon ve InGaAs tabanlı tek foton dedektörlerinin karakterizasyonu ve ticarileştirilmesi
ALPER ÖZÜLKER
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiÖzyeğin ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ KADİR DURAK
- Silikon fotodiyotların optik karakterizasyonu
Optical characterization of silicon photodiodes
MURAT DURAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. M. HASAN ASLAN