AlGaN ince filminin ısıl işlem sonrası yapısal ve optiksel özelliklerinin incelenmesi
An investigation of optical and structural properties of AlGaN thin films after thermal processing
- Tez No: 176683
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ORHAN ZEYBEK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2007
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Balıkesir Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Kimya Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 84
Özet
Bu çalışmada Metal Organik Kimyasal Buhar Birikim (MOCVD) tekniğiyle safir alttaş üzerine büyütülen çoklu yapılı AlxGa1-xN (x=0.43) yarıiletken ince filmlerin ısıl işlem sonrası yapısal ve optik özellikleri incelendi. Malzemenin yapısal ve optiksel özellikleri yüksek çözünürlüklü X-ışınları kırınımı, atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve fotolüminesans (PL) sistemleri kullanılarak belirlendi. Örneklerin, farklı sıcaklıklarda hızlı ısıl tavlama (RTA) işlemine tabi tutularak, kristal yapısı, lüminesans özellikleri ve yüzey morfolojisi tavlama sıcaklığına göre incelendi. Yapının yüzey morfolojisi 2x2 ?m2 ve 5x5 ?m2 lik yüzeyleri için oda sıcaklığı ve atmosferik basınç altında AFM tekniği ile incelendi. Yüzey pürüzlülüğünün cihaz uygulamaları açısından kabul edilebilir ölçekte olduğu gözlendi. PL ölçümleri ile malzemenin optik özellikleri incelendi. XRD ile örneklerdeki Al yüzdesi ve kristal kaliteleri belirlendi. Ulaşılan sonuçların literatürdeki benzer çalışmalarla uyum içinde olduğu gözlendi. ANAHTAR SÖZCÜKLER: AlGaN / AlN / X-ışınları / AFM / Fotolüminesans / Elipsometri / Yarıiletken
Özet (Çeviri)
In this study, optical and structural properties of superlattice AlxGa1-xN semiconductor thin films grown on A2O3 substrate after thermal processing have been investigated. The quality and surface morphology of the semiconductor thin films by using high resolution X-ray diffraction (HR-XRD), atomic force microscopy (AFM) and photoluminescence (PL) have been determined. Under rapid thermal annealing (RTA) process at various temperatures, crystal structure, properties of luminescence, surface morphology of the samples have been investigated against annealing temperatures. Under room temperature and atmospheric pressure, surface morphology for the 2x2 ?m2 and 5x5 ?m2 surfaces has been studied using AFM technique. It has been observed that surface roughness can be acceptable for device practice. Optical properties of the superlattice have been investigated using PL measurements. The crystal quality and Al percentages of the samples have been determined with XRD. The obtained results are in good agreement with similar studies in the literature. KEY WORDS : AlGaN / AlN / XRD/ AFM / Photoluminescence / Semiconductor / Superlattice
Benzer Tezler
- FeAl ince filminin üretimi, karakterizasyonu ve laser ile manyetik örgülenmesi
Fabrication and characterization FeAl thin films and it's magnetic patterning with laser
TUĞÇE BOZDAĞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HALİME GÜL YAĞLIOĞLU
- Fractal morphology of water on chromium-oxide thin films
Suyun krom-oksit ince filmi üzerindeki fraktal morfolojisi
KIVANÇ ESAT
Yüksek Lisans
İngilizce
2013
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. OĞUZHAN GÜRLÜ
- In/n-CdS/p-CdTe/Cu+Au güneş pilinin soğuk altlık yöntemiyle üretimi
In/n-CdS/p-CdTe/Cu+Au solar cell production with cold substrate method
GÖKSEL AYTEMİZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
EnerjiRecep Tayyip Erdoğan ÜniversitesiEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. VAGİF NEVRUZOĞLU
- CoPt ince filminin yüzey ve manyetik karakterizasyonu
Magnetic and surface characterization of CoPt thin film
NUH KOÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. OSMAN ÖZTÜRK
- Cds ince filminin doğrusal, doğrusal olmayan optik ve optik sınırlama davranışları
Linear, nonlinear optical and optical limiting features of Cds thin film
AHMET CİHAT KAHRAMAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ELMALI