Geri Dön

Lazerle oluşturulan kalay plazma ortamlarından yayılan x-ışınları ve EUV-ışınlarının modellemesi

Modelling of x-rays and EUV-rays emitted from laser produced tin plasmas

  1. Tez No: 177853
  2. Yazar: BETÜL ATALAY
  3. Danışmanlar: PROF.DR. ARİF DEMİR, PROF.DR. RAMAZAN AYDIN
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2007
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çanakkale Onsekiz Mart Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 117

Özet

Laserle oluşturulan kalay plazma ortamlarından yayılan Ni-benzeri ve Co- benzeri X-ışınları ile uç-morötesi(EUV) ışınların simülasyonu hidrodinamik ve atomik fizik kodu EHYBRID kullanılarak yapılmıştır. Laserle oluşturulan plazma ortamlarından yayılan x-ışınları litografi, spektroskopi, mikroskopi, holografi ve x-ışını laser üretimi gibi uygulamalarda kullanılmaktadır. Laserle oluşturulan plazma ortamlarından yayılan uç-morötesi ışınlar ise yeni nesil litografi olarak adlandırılan uç-morötesi litografide kullanılır. İlk olarak, Nd:YAG laser atımları ile oluşturulan kalay plazma ortamından yayılan x-ışını rezonans çizgileri modellenmiştir. Laser enerjisinin x-ışınına dönüşüm verimliliği hesaplanarak, laser şiddetinin ve atım süresinin dönüşüm verimliliğini nasıl etkilediği incelenmiştir. Daha sonra temel, 2. harmonik ve 3. harmonik dalgaboylarında Nd:YAG laseri ikili atım konfigürasyonunda kullanılarak kalay-plazma ortamı oluşturulmuş ve bu ortamdan yayılan x-ışınlarının dönüşüm verimlilikleri hesaplanmıştır. Nd:YAG laser atımları ile oluşturulan kalay plazma ortamından yayılan 11-17 nm arasındaki uç-morötesi ışınların simülasyonu yapılmış ve dönüşüm verimlikleri hesaplanmıştır. Dönüşüm verimliliğini artırmak için ön laser atım tekniği kullanılmıştır. Ön laser atım süresi ile ana laser atım sürelerinin ve laser atımları arasındaki zaman farkının dönüşüm verimliliğine etkileri incelenmiştir. Ayrıca temel dalgaboyunda, 2. harmonikte, 3. harmonikte ve 4. harmonikte Nd:YAG laser atımı kullanımının dönüşüm verimliliğine etkileri incelenmiştir. Saydamsızlık, dönüşüm verimliliğini önemli ölçüde etkilemektedir, bu nedenle laser ile oluşturulan kalay plazma ortamından yayılan x-ışınları ile uç-morötesi ışınların modellenmesi yapılırken saydamsızlık etkileri kaçış faktörü yaklaşımı ile modellemeye katılmıştır. Anahtar sözcükler : Laserle oluşturulan plazmalar, x- ışınları, uç-morötesi ışınlar, dönüşüm verimliliği.

Özet (Çeviri)

The Ni-like and Co-like X-rays and extreme ultraviolet radiation emitted from laser produced tin plasmas were simulated by using hydrodynamic and atomic physics code EHYBRID. X-rays emitted from laser produced plasmas are used in lithography, spectroscopy, microscopy, holography applications and x-ray laser production. Extreme ultraviolet radiation emitted from laser produced plasmas is used in extreme ultraviolet lithography so called next generation lithography. First of all, X-ray resonance lines emitted from Sn plasma created by Nd:YAG laser pulses were modelled. Conversion efficiency of x-ray was calculated and dependence of conversion efficiency to laser intensity and pulse duration were examined. After that, a tin plasma was created by Nd:YAG double pulses at the fundamental wavelength, 2nd harmonic and 3rd harmonics and x-ray conversion efficiencies were calculated. Extreme ultraviolet radiation between 11-17 nm emitted from laser produced tin plasmas were simulated and conversion efficiencies were calculated. Pre-pulses were used to increase conversion efficiency. The effects of delay time, pre-pulse and main pulse durations were investigated. The laser wavelength, also affects the conversion efficiency, so Nd:YAG laser pulses at fundamental, 2nd harmonic, 3rd harmonic and 4th harmonic wavelength used to produce plasmas. Opacity effects on conversion efficiency are exteremely important therefore, opacity effects on x-rays and extreme ultraviolet radiation emitted from laser produced tin plasmas were estimated using an escape factor calculation. Keywords : Laser produced plasmas, x-rays, extreme ultraviolet radiation, conversion efficiency.

Benzer Tezler

  1. Theoretical investigation of laser produced Ni-like Sn plasma

    Lazerle üretilen Ni-benzeri Sn plazmanın teorik incelenmesi

    ELİF YURDANUR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2006

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SİNAN BİLİKMEN

  2. Experimental and numerical investigation of electrohydrodynamic based active micromixer

    Elektro-hidrodinamik aktif mikrokarıştırıcıların deneysel ve nümerik incelenmesi

    İREM BAHAR GÜL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. LEVENT TRABZON

  3. Silindirik odaklı lazer hüzmeleri ile yüzey temizleme ve cam işleme çalışmaları

    Surface cleaning and glass processing studies with cylindrical focused laser beam

    TUĞBA TUNAY

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. SELÇUK AKTÜRK

  4. Femtosaniye lazerlerin metallerle etkileşimlerinde dalgakılavuzu davranışlarının incelenmesi

    Investigation of waveguide behaviour in the interaction of femtosecond lasers with metals

    ABDULLAH KAMURAN TÜRKOĞLU

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Bilim ve Teknolojiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. SELÇUK AKTÜRK

  5. Nanoparticle enabled diagnosis and combination therapy of cancer

    Nanoparçacık destekli kanser tanı ve kombine tedavi araştırmaları

    EDA ÇELİKBAŞ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    BiyoteknolojiKoç Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAVVA YAĞCI ACAR