ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu
Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production
- Tez No: 212529
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: ZnO, Katodik Vakum Ark Depolama Yöntemi, Optiksel, Yapısal ve Elektriksel Özellikler, ZnO, Cathodic Vacuum Arc Deposition System, Optical, Structural and Electrical Properties
- Yıl: 2007
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 224
Özet
ZnO yarıiletken ince filmler atmalı filtreli katodik vakum ark depolama sistemiyle cam ve silikon alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında depolandı. Filmlerdeki kristal boyut ve kristallografik yapı X-ışını kırınım yöntemiyle belirlendi. Tüm filmlerin (002) boyunca tercih edilen bir yönde ve vurtzit formda kristalize olduğu görüldü. ZnO yarıiletken ince filmlerin optik özellikleri, UV-görünür spektrometreden alınan veriler yardımıyla zarf metodu yöntemi kullanılarak belirlendi. Tavlama sıcaklığı artarken filmlerin optiksel bant aralığı ve soğurma katsayısının arttığı, buna karşılık olarak kırılma indisinin azaldığı gözlenmiştir. Atmalı katodik vakum ark yöntemi ile cam alt taban üzerine büyütülen ZnO ince filmlerin en iyi tavlama sıcaklığı, optik ve yapısal özellikleri göz önüne alınarak 600 °C olduğu bulundu. Yüksek nitelikli geçirgen, iletken ZnO yarıiletken ince filmlerin yapısal, optiksel ve elektriksel özellikleri farklı oksijen basınçları ve farklı kalınlıklarda çalışıldı. Oksijen basıncı ve kalınlığın artması ile filmlerin yapısal, optiksel ve elektriksel özelliklerinin değiştiği görüldü. ZnO ince filmlerin görünür bölgede ortalama geçirgenliği %90 civarında bulundu.
Özet (Çeviri)
Thin ZnO films were deposited at room temperature on glass and silicon substrates by a pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition system. The crystallographic structure and the size of the crystallites in the films were studied by means of x-ray diffraction. These measurements show that all the films are crystallized in the wurtzite form, present in a preferred orientation along the (002) direction. Optical properties of the ZnO films were studied using a UV?visible spectrometer and calculations made using the envelope method. The absorption coefficient and optical band gap of the films were increased while the refractive index was decreased by annealing. The best annealing temperature for pulsed cathodic vacuum arc deposition grown ZnO thin films on glass substrates was found to be 600 °C from optical properties. The effects of oxygen pressure and thickness on the structural, optical and electrical properties of high quality transparent conductive ZnO thin films were studied in detail. With increasing oxygen pressure and film thickness, structure, optical and electrical properties of films were changed. Average transmittance was found about 90% in the visible region for the ZnO thin films.
Benzer Tezler
- ZnO ince filmlerinin yapısal, optik ve dielektrik özelliklerine geçiş metali katkılarının etkisi
Effect of transition metals doping on the structural, optical and dielectric properties of ZnO thin films
HÜDA SEÇİL GÜNDÜZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiHarran ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ABDULLAH GÖKTAŞ
- ZnO ince filmlerinin kimyasal püskürtme tekniği ile üretilmesi ve optik özelliklerinin incelenmesi
Production of ZnO thin films by chemical spray pyrolysis technique and the investigation of their optical properties
ÖZGE ŞENDİL
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiDumlupınar ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SENEM AYDOĞU
- ZnO ince filmlerinin yapısal, elektriksel ve triboelektrik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structural, electrical and triboelectric properties of ZnO thin films
CANSU KARAGÖZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
EnerjiRecep Tayyip Erdoğan ÜniversitesiEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERCÜMENT YÜZÜAK
- Yüksek değerlikli metal katkılı ZnO ince filmlerinin ultrasonik sprey piroliz yöntemi ile üretilmesi, elektriksel ve optik özelliklerinin belirlenmesi
Production of high valent metal doped ZnO thin films by ultrasonic spray pyrolysis, determination of their electrical and optical properties
ÇİĞDEM SUNGÜR
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇankırı Karatekin ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERCAN KARAKÖSE
- Alüminyum katkılı ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özellikleri
Some physical properties of alüminum doped ZnO thin films
OLCAY EREN
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. MÜJDAT ÇAĞLAR