Geri Dön

ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu

Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production

  1. Tez No: 212529
  2. Yazar: EBRU ŞENADIM TÜZEMEN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: ZnO, Katodik Vakum Ark Depolama Yöntemi, Optiksel, Yapısal ve Elektriksel Özellikler, ZnO, Cathodic Vacuum Arc Deposition System, Optical, Structural and Electrical Properties
  7. Yıl: 2007
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 224

Özet

ZnO yarıiletken ince filmler atmalı filtreli katodik vakum ark depolama sistemiyle cam ve silikon alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında depolandı. Filmlerdeki kristal boyut ve kristallografik yapı X-ışını kırınım yöntemiyle belirlendi. Tüm filmlerin (002) boyunca tercih edilen bir yönde ve vurtzit formda kristalize olduğu görüldü. ZnO yarıiletken ince filmlerin optik özellikleri, UV-görünür spektrometreden alınan veriler yardımıyla zarf metodu yöntemi kullanılarak belirlendi. Tavlama sıcaklığı artarken filmlerin optiksel bant aralığı ve soğurma katsayısının arttığı, buna karşılık olarak kırılma indisinin azaldığı gözlenmiştir. Atmalı katodik vakum ark yöntemi ile cam alt taban üzerine büyütülen ZnO ince filmlerin en iyi tavlama sıcaklığı, optik ve yapısal özellikleri göz önüne alınarak 600 °C olduğu bulundu. Yüksek nitelikli geçirgen, iletken ZnO yarıiletken ince filmlerin yapısal, optiksel ve elektriksel özellikleri farklı oksijen basınçları ve farklı kalınlıklarda çalışıldı. Oksijen basıncı ve kalınlığın artması ile filmlerin yapısal, optiksel ve elektriksel özelliklerinin değiştiği görüldü. ZnO ince filmlerin görünür bölgede ortalama geçirgenliği %90 civarında bulundu.

Özet (Çeviri)

Thin ZnO films were deposited at room temperature on glass and silicon substrates by a pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition system. The crystallographic structure and the size of the crystallites in the films were studied by means of x-ray diffraction. These measurements show that all the films are crystallized in the wurtzite form, present in a preferred orientation along the (002) direction. Optical properties of the ZnO films were studied using a UV?visible spectrometer and calculations made using the envelope method. The absorption coefficient and optical band gap of the films were increased while the refractive index was decreased by annealing. The best annealing temperature for pulsed cathodic vacuum arc deposition grown ZnO thin films on glass substrates was found to be 600 °C from optical properties. The effects of oxygen pressure and thickness on the structural, optical and electrical properties of high quality transparent conductive ZnO thin films were studied in detail. With increasing oxygen pressure and film thickness, structure, optical and electrical properties of films were changed. Average transmittance was found about 90% in the visible region for the ZnO thin films.

Benzer Tezler

  1. ZnO ince filmlerinin yapısal, optik ve dielektrik özelliklerine geçiş metali katkılarının etkisi

    Effect of transition metals doping on the structural, optical and dielectric properties of ZnO thin films

    HÜDA SEÇİL GÜNDÜZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHarran Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ABDULLAH GÖKTAŞ

  2. ZnO ince filmlerinin kimyasal püskürtme tekniği ile üretilmesi ve optik özelliklerinin incelenmesi

    Production of ZnO thin films by chemical spray pyrolysis technique and the investigation of their optical properties

    ÖZGE ŞENDİL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiDumlupınar Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. SENEM AYDOĞU

  3. ZnO ince filmlerinin yapısal, elektriksel ve triboelektrik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of structural, electrical and triboelectric properties of ZnO thin films

    CANSU KARAGÖZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    EnerjiRecep Tayyip Erdoğan Üniversitesi

    Enerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ERCÜMENT YÜZÜAK

  4. Yüksek değerlikli metal katkılı ZnO ince filmlerinin ultrasonik sprey piroliz yöntemi ile üretilmesi, elektriksel ve optik özelliklerinin belirlenmesi

    Production of high valent metal doped ZnO thin films by ultrasonic spray pyrolysis, determination of their electrical and optical properties

    ÇİĞDEM SUNGÜR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇankırı Karatekin Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ERCAN KARAKÖSE

  5. Alüminyum katkılı ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özellikleri

    Some physical properties of alüminum doped ZnO thin films

    OLCAY EREN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2006

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. MÜJDAT ÇAĞLAR