DC reaktif magnetron için anahtarlamalı güç kaynağı tasarımı ve ZnO yapıların üretimi
Switching power supply design for DC reactive magnetron and production of ZnO structures
- Tez No: 244766
- Danışmanlar: PROF. DR. HASAN EFEOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2009
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 67
Özet
Bu çalışmada elektronik malzeme üretiminde kullanılan DC reaktif magnetron sıçratma (DCRMS) sistemine enerji sağlayacak anahtarlamalı mod güç kaynağı tasarımı ve üretimi gerçekleştirildi. Bu tasarımda, DC-DC çevirici için anahtarlamalı mod tekniği kullanıldı. Üretilen güç kaynağında SMPS (Switch Mod Power Supply - Anahtarlamalı Mod Güç Kaynağı) teknolojisinden dolayı maksimum güç, minimum güç kaybı ile sağlanmaktadır. DC magnetron sistemi için akım-gerilim koruması ve yalıtım sağlanmıştır. Tasarım ve üretimi gerçekleştirilen güç kaynağı, magnetron sisteminde kullanılarak ZnO ince film üretimi ile test edildi. Üretilen ZnO ince filmlerin optik karekterizasyonu fotolümünesans (PL) tekniği kullanılarak yapıldı.
Özet (Çeviri)
In this work switch mode power supply designed and constructed which will be used for DC Reactive Magnetron Sputter (DCRMS) as a power supply. DCRMS has application in productions of electronic materials. In this design switch mode method used for DC-DC conversion. The constructed power supply provided maximum power with minimum power loss owing to SMPS (Switch Mode Power Supply) technology. Designed DC magnetron system is provided current-voltage protection and isolation. The power supply which is performed design and produced was tested during the production of ZnO thin film production within a magnetron system. Deposited ZnO thin films optical characterized and the formation of ZnO crystal formation proved by photoluminescence (PL).
Benzer Tezler
- Effect of duty cycle on the properties of vanadium oxide thin films deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
Görev döngüsü üretim parametresinin atmalı dc reaktif magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin özelliklerine etkisi
SİNAN ÖZGÜN
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Mühendislik BilimleriAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Vanadyum oksit ı̇nce film akıllı malzemelerin üretim sürecinin elektriksel- yapısal özellik ı̇lişkisine etkisinin ı̇ncelenmesi
Investigation of the influence of deposition process on electrical-structure property correlation in vanadium oxide thin film smart materials
GÖKÇENUR ÇAKMAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Bilim ve TeknolojiEskişehir Teknik Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- TiN ve TiO2 ince filmlerinin hazırlanması ve optik özelliklerinin incelenmesi
Preparation of tin and TiO2 thin films and investigation of their optical properties
AYŞE BEGÜM ARIĞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSEYİN ZAFER DURUSOY
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince film akıllı malzemelerin farklı kalınlıklarda büyütülmesi
Magnification of nanoscale vanadium oxide thin film smart materials at different thicknesses
ULVIYYA GOZALI
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Bilim ve TeknolojiAnadolu Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin tavlama süreçlerinin geliştirilmesi ve karakterizasyonu
Development and characterization of annealing processes of nanoscale vanadium oxide thin films
ERCAN ŞENER
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Metalurji MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU