Sıcak filaman kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile TaC üretimi ve karakterizasyonu
Deposition and characterization of TaC with method of hot filament chemical vapor deposition
- Tez No: 335793
- Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 77
Özet
Bu çalışmanın amacı SFKBB yöntemi kullanarak Tantal Karbür (TaC) kaplamalar üretebilmektir. Deneylerde Si (111) altlık kullanılmıştır. Kaplamalarda kullanılan altlıklar, hem üzerlerindeki oksit varlığında hem de asit dağlama ile oksidin giderilmiş olduğu durumda kullanılmıştır. Ta-C kaplama üretimi için kullanılan diğer yöntemlerden farklı olarak SFKBB haznesindeki Ta filaman; hidrojen ve metan varlığında, farklı sıcaklık ve toplam basınç değerlerinde buharlaştırılmıştır. Kaplamalar sırasında elmas oluşturmaya izin vermeyecek H2/CH4 oranları kullanılmaya özen gösterilmiştir. Kaplamalar, XRD, Raman Spektroskopisi, optik profilometre, mikro sertlik ve SEM kullanılarak incelenmiştir. Yapılan deneyler sonucunda 200-600 nm arasındaki kalınlıklarda, değişik oranlarda karbon içeren TaC yapısında kaplamalar elde edilebileceği ilk defa bu çalışma kapsamında ortaya konulmuştur.
Özet (Çeviri)
The aim of this study is to produce tantalum carbide (TaC) coatings by using HFCVD method. Si (111) substrate is used in the study. Substrates that are used in coatings are both used, while they contain oxide and after oxide is removed by acide etching. As distinct from other methods which are used to produce TaC coatings, Ta filament in HFCVD chamber is vaporized in the presence of hydrogen and methane, in different temperature and total pressure values. Proper H2/CH4 proportions to avoid diamond generations are elaborately used over the course of coatings. Coatings are examined by using XRD, Raman Spectroscopy, optic profilometry, micro hardness and SEM. Within the scope of this experiment, it is shown that TaC structured for the first time. The coatings which contain different amounts of carbon, in 200-600 nm thickness, might be produced. It is observed that temperature and pressure have influence on film thickness and increasing methane concantration has influence on thickness and glassy carbon formation. Surface roughness and hardness of treated samples with acid take lower values than not treated samples. An increase in crystallite size is observed in conditions of high methane concentration and temperature. Morphologically, significant columnar grain structure is found in high proportions of pressure and methane.
Benzer Tezler
- Kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile volfram çekirdekli bor fiber üretiminde sistem tasarımı
System design in tungsten-cored boron fiber production by chemical vapor deposition
SELİM ERTÜRK
Doktora
Türkçe
2012
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İSMAİL DUMAN
- Hot filament assisted chemical vapor deposition of diamont coatings
Sıcak filaman yardımlı kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle elmas kaplama
AYKAN AKBAŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
1994
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. A. MACİT ÖZENBAŞ
- Creep behavior investigation of 3d printed polyetherimide parts with carbon black reinforcement via experimental analysis and modeling
3b basılmış karbon siyahı takviyeli polieterimid parçaların deneysel analiz ve modelleme ile sürünme davranışının incelenmesi
MERVE KARABAL
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Havacılık ve Uzay Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiUçak ve Uzay Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ALPTEKİN YILDIZ
- Soğuk dövme kalıplarındaki kompozit sıkı geçme çemberlerin kalıp ömürlerine etkisi
The effect of composite shrink fitting rings on cold forging die service life
SEZGİN YURTDAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Makine MühendisliğiEge ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YELİZ PEKBEY
- Evaluation of thermal, rheological, and dynamic mechanical properties of CNT reinforced PEI and PEEK composites: A comparative study
KNT takviyeli PEI ve PEEK kompozitlerinin termal, reolojik ve dinamik-mekanik özelliklerinin karşılaştırılması
FULDEN KAYGINOK
Yüksek Lisans
İngilizce
2022
Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HÜLYA CEBECİ