Sıcak filaman kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile TaC üretimi ve karakterizasyonu
Deposition and characterization of TaC with method of hot filament chemical vapor deposition
- Tez No: 335793
- Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Kaplama malzemeleri, Seramik kaplama malzemeleri, Yüksek sıcaklık malzemeleri, Yüzey kaplama malzemeleri, Coating materials, Ceramic covering equipments, High temperature materials, Surface coating materials
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmanın amacı SFKBB yöntemi kullanarak Tantal Karbür (TaC) kaplamalar üretebilmektir. Deneylerde Si (111) altlık kullanılmıştır. Kaplamalarda kullanılan altlıklar, hem üzerlerindeki oksit varlığında hem de asit dağlama ile oksidin giderilmiş olduğu durumda kullanılmıştır. Ta-C kaplama üretimi için kullanılan diğer yöntemlerden farklı olarak SFKBB haznesindeki Ta filaman; hidrojen ve metan varlığında, farklı sıcaklık ve toplam basınç değerlerinde buharlaştırılmıştır. Kaplamalar sırasında elmas oluşturmaya izin vermeyecek H2/CH4 oranları kullanılmaya özen gösterilmiştir. Kaplamalar, XRD, Raman Spektroskopisi, optik profilometre, mikro sertlik ve SEM kullanılarak incelenmiştir. Yapılan deneyler sonucunda 200-600 nm arasındaki kalınlıklarda, değişik oranlarda karbon içeren TaC yapısında kaplamalar elde edilebileceği ilk defa bu çalışma kapsamında ortaya konulmuştur.
Özet (Çeviri)
The aim of this study is to produce tantalum carbide (TaC) coatings by using HFCVD method. Si (111) substrate is used in the study. Substrates that are used in coatings are both used, while they contain oxide and after oxide is removed by acide etching. As distinct from other methods which are used to produce TaC coatings, Ta filament in HFCVD chamber is vaporized in the presence of hydrogen and methane, in different temperature and total pressure values. Proper H2/CH4 proportions to avoid diamond generations are elaborately used over the course of coatings. Coatings are examined by using XRD, Raman Spectroscopy, optic profilometry, micro hardness and SEM. Within the scope of this experiment, it is shown that TaC structured for the first time. The coatings which contain different amounts of carbon, in 200-600 nm thickness, might be produced. It is observed that temperature and pressure have influence on film thickness and increasing methane concantration has influence on thickness and glassy carbon formation. Surface roughness and hardness of treated samples with acid take lower values than not treated samples. An increase in crystallite size is observed in conditions of high methane concentration and temperature. Morphologically, significant columnar grain structure is found in high proportions of pressure and methane.
Benzer Tezler
- İnce taneli sementasyon çeliklerinde sıcak şekil verme ve ısıl işleminin ostenit tane büyüklüğüne etkisi
Başlık çevirisi yok
MERAL ŞANLI
Yüksek Lisans
Türkçe
1987
Metalurji MühendisliğiUludağ ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ALİ GÜNGÖR
- Plazma arkı eldesi ve yüzey bölgesi modifikasyonunda kullanılabilirliği
Başlık çevirisi yok
ÖZKAN ÖZİPEKLİLER
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Makine MühendisliğiUludağ ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HALİM DEMİRCİ
- Üzüm sularının pastörizasyonu ve kontsantresi sırasında hidroksimetilfurfural oluşumu üzerinde bir araştırma
Başlık çevirisi yok
ŞERİFE ŞAHİN
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Gıda MühendisliğiEge ÜniversitesiTarım Ürünleri Teknolojisi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AYDIN URAL
- Çukurova bölgesinde biyoklimatik veriler kullanılarak açık ve yeşil alan sistemlerinin belirlenmesi ilkeleri üzerinde bir araştırma
A research on the determination of the principles in open and green spaces systems by using the bioclimatic data in Çukurova region
MEHMET FARUK ALTUNKASA
Doktora
Türkçe
1987
Çevre MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiPeyzaj Mimarlığı Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERDOĞAN GÜLTEKİN
- Akaryakıtla çalışan endüstriyel tav fırınlarında yanma, sıcaklık ve basıncın optimum kontrolu
Optimum control of combustion temperature and pressure in industrial tempering furnaces working with fuel-oil
MEHMET EROĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
1987
Makine MühendisliğiGazi ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YÜCEL ERCAN