Çok katlı Ge,SiGe nanokristal oluşumu ve nanokristalli metal oksit yarıiletken kapasitör uygulaması
Fabrication of multilayer Ge, SiGe nanocrystals and it? s application in dot mos capacitor
- Tez No: 343947
- Danışmanlar: PROF. DR. SEDAT AĞAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Kırıkkale Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 70
Özet
SiGeO içeren bir yapı yüksek sıcaklıkta tavlandığında Ge atomları bu yapıdan ayrılırlar ve sistemde bir yandan oluşmaya devam eden SiOx içerisinde bir araya gelerek kristal yapıyı oluştururlar. Bu tez de bu fikirden yararlanılarak nanokristal oluşturulmuştur. Farklı gaz akış miktarları, tavlama sıcaklıkları ve süreleri kullanılarak Ge naokristal oluşumundaki değişimler gözlemlenmiştir. (1,2) Amorf ince filmler Plazma ile Zenginleştirilmiş Kimyasal Buhar Depolama (PECVD) tekniği ile büyütülmüştür. Ardından yüksek sıcaklık fırınında tavlanarak nanokristaller elde edilmiştir. Oluşturulan kristallerin kristallenme özellikleri, Raman Spektroskopisi kullanılarak kontrol edilmiştir. Nanokristal boyutları X-ışını Kırınımı (XRD) ile gözlemlenmiştir. Malzeme kompozisyonu ise Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) üzerinde bulunan X-ışını Dağılımı Spektoroskopisi (EDAX) dedektörü ile ortaya konulmuştur.Metal Oksit Yarıiletken Kapasitör' ün oksit tabakasına gömülmüş nanokristallerin üretilme amacı; Ge kuantum noktalarının şarj tutma özellikleri incelemektir. Nanokrsitallerin şarj oldukları akım-gerilim (I-V) eğrilerindeki ani artışlarla gözlemlenmiştir. Ayrıca şarj kapasiteleri de kapasitans-gerilim (C-V) eğrilerindeki histerisislerde gözlemlenmiştir. Histerislerdeki en fazla kayma 0,52 V olarak bulunmuştur. Omik kontak direnci ise Geçirgen Çizgi Methodu (TLM) kullanılarak ölçülmüştür.
Özet (Çeviri)
When a SiGeO structure annealed at high temperature, Ge atoms segregate from the structure and pile up at the oxide/substrate interface. In this thesis, this idea has been used to grow nanocrystals. Different gas flow rates, annealing temperatures and times were used for understanding the nanostructures? characteristics. Amorphous thin films were grown by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)system. Then, films are annealed at the high temperature furnace. The crystallinity of Ge nanodots have been checked with Raman spectroscopy. X-ray diffraction (XRD) has been used to observe the size of the nanostructures. Composition of the elements of the structures were analysised by Scanning Electron Microscopy (SEM) which has a got an Energy-dispersive X-ray (EDAX) dedector.The Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Capacitors (MOS-Cs) with Genanocrystals embedded in oxide have been fabricated to investigate the charge trapping effect of Ge nanocrystals. A current spike phenomenon in I-V curve has been observed. This was ascribed to the transient current of hole charging from p-type Si substrate. In addition, the hysteresis phenomenon has also been observed in C-V measurement. This indicated that the charge storage effect resulted from the formed Ge nanocrystals. The highest obtainable memory window with multilayer Ge nanocrystals was 0,52 V. The resisstant of the ohmic contact has been measured by Transmission Line Method (TLM).
Benzer Tezler
- SiO2:Si/Ge/Si/SiO2 ince filmlerde Ge nanokristallerin elektron mikroskobu ile görüntülenmesi ve teknolojik uygulamaları
Investigated with by using hrtem of nanocrytals in SiO2:Si/Ge/Si/SiO2 thin films and it's technological properties
AHMET ÖZDEMİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiKırıkkale ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ERDEM YAŞAR
- Epitaksiyel ince yarıiletken filmlerin ikincil iyon kütle spektrometre parametrelerinin incelenmesi
Investigation of parameters of the epitaxial thin semiconductor films obtained from SIMS
SEVİLAY KÖSE
Yüksek Lisans
Türkçe
2003
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ENGİN BAŞARAN
- Element yüklenmiş grafen yapılarının özelliklerinin yoğunluk fonksiyoneli teorisi (DFT) ile incelenmesi
Investigation of the properties of elements doped graphene structures by density functional theory (DFT)
NAZMİYE SERİNÇAY
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Kimya MühendisliğiBursa Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET FERDİ FELLAH
- Two dimensional systems in solid state physics
Başlık çevirisi yok
ŞENAY KATIRCIOĞLU
Doktora
İngilizce
1987
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiDOÇ. DR. ŞİNASİ ELLİATIOĞLU
- Çok katlı yarı iletken yapıların darbeli lazerle ışınlanmasının nümerik modellenmesi
Başlık çevirisi yok
CAFER TOPAÇLI
Yüksek Lisans
Türkçe
1988
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ATİLLA AYDINLI