Integration of bulk piezoelectric materials into microsystems
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 400897
- Danışmanlar: PROF. KHALIL NAJAFI
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2012
- Dil: İngilizce
- Üniversite: University of Michigan
- Enstitü: Yurtdışı Enstitü
- Ana Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 256
Özet
Özet yok.
Özet (Çeviri)
Bulk piezoelectric ceramics, compared to deposited piezoelectric thin-films, provide greater electromechanical coupling and charge capacity, which are highly desirable in many MEMS applications. In this thesis, a technology platform is developed for wafer-level integration of bulk piezoelectric substrates on silicon, with a final film thickness of 5-100?m. The characterized processes include reliable low-temperature (200?C) AuIn diffusion bonding and parylene bonding of bulk-PZT on silicon, wafer-level lapping of bulk-PZT with high-uniformity (±0.5?m), and low-damage micro-machining of PZT films via dicing-saw patterning, laser ablation, and wet-etching. Preservation of ferroelectric and piezoelectric properties is confirmed with hysteresis and piezo-response measurements. The introduced technology offers higher material quality and unique advantages in fabrication flexibility over existing piezoelectric film deposition methods. In order to confirm the preserved bulk properties in the final film, diaphragm and cantilever beam actuators operating in the transverse-mode are designed, fabricated and tested. The diaphragm structure and electrode shapes/sizes are optimized for maximum deflection through finite-element simulations. During tests of fabricated devices, greater than 12?mPP displacement is obtained by actuation of a 1mm2 diaphragm at 111kHz with
Benzer Tezler
- Akustik yüzey dalga esasına dayanan filtrlerin analizi, tasarımı ve GSM sistemindeki uygulamaları
Analysis and design of saw filter and saw filter applications in GSM
H.CEMİL KARAGÜZEL
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERGÜL AKÇAKAYA
- Electronics-free passive ultrasonic communication link for deep-tissue sensor implants
Derin doku sensör implantları için elektroniksiz pasif ultrasonik haberleşme kanalı
UMUT CAN YENER
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
BiyomühendislikKoç ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ LEVENT BEKER
DR. ÖĞR. ÜYESİ MURAT KUŞCU
DR. ÖĞR. ÜYESİ HASAN ULUŞAN
- Akustik kitle dalga esasına dayanan rezonatörlerin analizi ve tasarımı
Analysis and design of acoustic bulk wave resonators
EMİR TUFAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1993
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. ERGÜL AKÇAKAYA
- Ni/ZnO nanokompozit partiküllerinin ultrasonik sprey piroliz tekniğiyle üretimi
Production of Ni/ZnO nanocomposite particles via ultrasonic spray pyrolysis (USP) method
İLAYDA KOÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEBAHATTİN GÜRMEN
- Design and fabrication of piezoelectric energy harvesting micro devices for biomedical implants
Biyomedikal implantlar için piezoelektrik enerji toplayıcı mikro cihazların tasarımı ve üretimi
AZİZ KOYUNCUOĞLU
Doktora
İngilizce
2022
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HALUK KÜLAH
PROF. DR. HANİFE TUBA OKUTUCU ÖZYURT