AC ve DC püskürtme yöntemi ile üretilen alüminyum çinko oksit ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılması
Investigation of characterization of aliminum, zinc oxide thin films produced by AC and DC sputtering and their comparison with each other
- Tez No: 430052
- Danışmanlar: PROF. DR. SEDAT AĞAN, YRD. DOÇ. DR. MUSTAFA BURAK TÜRKÖZ, YRD. DOÇ. DR. ERDEM YAŞAR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2015
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Kırıkkale Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Katıhal Fiziği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Fizik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 53
Özet
Bu çalışmada, Alüminyum Çinko Okside İnce Filmler AC ve DC sputter sistemi kullanılarak üretilmiştir. Öncelikle hangi güç kaynağının AZO ince film üretmek için daha kullanışlı olduğu incelenmiştir. Bundan sonra bu güç kaynağı yardımıyla değişik güçler uygulanarak örnekler üretildi. Üretilen örnekleri yüzey yapısını incelemek için SEM, Optik karakterizasyonu için RAMAN spektroskopisi, katkıyla değişen iyon miktarlarını belirlemek için EDS, elektriksel karakterizasyonu için R-T ölçümleri ayrıca PL analizleri yapılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, Aluminum Zinc Oxide Thin Film swill was prepared by using AC and DC sputttering system. First of all, it was investigated that which power supply is useful for fabricated AZO thin film. After that, different samples were produced by aid of this power supply by using varied powers. SEM is used for investigation of surface structural; TEM for structural analysis at the atomic level; EDS for determination of changing ion quantities with contribution; R-T for electrical characterization, besides PL analysis were executed.
Benzer Tezler
- Süperiletken YBCO ince filmlerin, yapısal, elektriksel ve manyetik özelliklerinin üretim parametrelerine bağımlılığının incelenmesi
The determination of the dependence of the structural, electrical and magnetic properties of the superconductive YBCO thin films on production parameter
AYŞE BELKIS KARCI
Doktora
Türkçe
2009
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA TEPE
YRD. DOÇ. DR. TEOMAN YILDIZ
- Bilgisayar destekli elektro erozyon yöntemi ile talaş kaldırma sisteminin tasarımı ve uygulaması
Design and application of the machining system with the method of electro erosion based on computer
MEHMET FATİH IŞIK
Doktora
Türkçe
2009
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolGazi ÜniversitesiTeknik Eğitim Bölümü
PROF. DR. İSMAİL COŞKUN
- Ftalosyanin ince filmlerin elektriksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
The investigation of the electrical and optical properties of phthalocyanines thin films
YASEMİN AKTAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
Y.DOÇ.DR. AHMET ALTINDAL
Y.DOÇ.DR. FATİH DUMLUDAĞ
- Farklı yöntemlerle hazırlanan tri-nükleer Co ve Zn ftalosyanin ince filmlerin elektriksel özelliklerinin incelenmesi
The investigation of the electrical properties of tri-nuclear Co and Zn phthalocyanine thin films prepared by different methods
FATMA NUR IŞIK
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AHMET ALTINDAL
YRD. DOÇ. DR. FATİH DUMLUDAĞ
- Lutesyum ftalosiyaninlerin yapısal ve elektriksel karakterizasyonu
Structural and electrical characterization of lutetium phthalocyanines
MURAT ERDEM
Yüksek Lisans
Türkçe
2004
Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. ZİYA ÖZTÜRK
Y.DOÇ.DR. AHMET ALTINDAL