AC ve DC püskürtme yöntemi ile üretilen alüminyum çinko oksit ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılması
Investigation of characterization of aliminum, zinc oxide thin films produced by AC and DC sputtering and their comparison with each other
- Tez No: 430052
- Danışmanlar: PROF. DR. SEDAT AĞAN, YRD. DOÇ. DR. MUSTAFA BURAK TÜRKÖZ, YRD. DOÇ. DR. ERDEM YAŞAR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2015
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Kırıkkale Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Katıhal Fiziği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Fizik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada, Alüminyum Çinko Okside İnce Filmler AC ve DC sputter sistemi kullanılarak üretilmiştir. Öncelikle hangi güç kaynağının AZO ince film üretmek için daha kullanışlı olduğu incelenmiştir. Bundan sonra bu güç kaynağı yardımıyla değişik güçler uygulanarak örnekler üretildi. Üretilen örnekleri yüzey yapısını incelemek için SEM, Optik karakterizasyonu için RAMAN spektroskopisi, katkıyla değişen iyon miktarlarını belirlemek için EDS, elektriksel karakterizasyonu için R-T ölçümleri ayrıca PL analizleri yapılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, Aluminum Zinc Oxide Thin Film swill was prepared by using AC and DC sputttering system. First of all, it was investigated that which power supply is useful for fabricated AZO thin film. After that, different samples were produced by aid of this power supply by using varied powers. SEM is used for investigation of surface structural; TEM for structural analysis at the atomic level; EDS for determination of changing ion quantities with contribution; R-T for electrical characterization, besides PL analysis were executed.
Benzer Tezler
- Bir krank mili kol yatağının yüzey yapısının geliştirilmesi
The development of surface structure of a crankshaft bearing
ÖMER CİHAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Makine MühendisliğiFırat ÜniversitesiMakine Eğitimi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HANBEY HAZAR
- Otomotiv sektörü için AI-Si-Fe-x alaşımlarının geliştirilmesi
Başlık çevirisi yok
NECİP ÜNLÜ
Doktora
Türkçe
1998
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİYAZİ ERUSLU
- Bor ve mineral katkılı selülozik yalıtım malzemesi üretimi ve karakterizasyonu
Production of boron and mineral reinforced cellulosic insulation material and its characterization
İBRAHİM ETHEM KARAAĞAÇLIOĞLU
Doktora
Türkçe
2012
Maden Mühendisliği ve Madencilikİstanbul Teknik ÜniversitesiMaden Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET SABRİ ÇELİK
- Termokromik özellik gösteren vanadyum oksit esaslı ince film kaplamaların sol-jel yöntemi ile hazırlanması ve karakterizasyonu
Preparation and characterization of vanadium oxide-based thermochromic thin films produced by sol-gel method
MELİS CAN ÖZDEMİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SÜHEYLA AYDIN
YRD. DOÇ. DR. ALİ ERÇİN ERSUNDU
- Biyoaktif yara örtü malzemesi üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of bioactive wound dressing material
SEÇİL KAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
BiyomühendislikYıldız Teknik ÜniversitesiBiyomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SERAP DERMAN
DR. ÖĞR. ÜYESİ ÖZLEM EĞRİ