Radyo frekansı saçtırma yöntemi ile Titanyum Nitrür (TiN) ince filmlerin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Radio frequency and methods sputtering Titanium Nitride (TiN) investigation of generation of thin films and some physical properties
- Tez No: 434939
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. MEHMET ÖZKAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Afyon Kocatepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 92
Özet
Özet:Bu çalışma kapsamında titanyum nitrür (TiN) ince filmler radyo frekansı saçtırma yöntemi ile cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Elde edilen ince filmlerin mikro yapıları ve yüzey morfolojisi X - ışınları difraktometre (XRD), atomik kuvvet mikroskobu ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) kullanılarak incelenmiştir. Filmlerin kalitatif analizleri ise enerji dağılımlı X - ışını spektroskopisi (EDX) ile yapılmıştır. Ayrıca UV-Vis spektrofotometri cihazı ile optiksel geçirgenlikleri belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT:In this study, titanium nitride (TiN) thin films were deposited on glass substrates with Radio Frequency Sputtering method. The microstructure and surface morphology of thin films were analyzed with X-ray diffractrometer (XRD) , Atomic Force Microscopy and Scanning Electron Microscope(SEM).The qualitative analysis of films were made with Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(EDX). Also the optical transmission of films were determined with UV-Vis Spectrophotometer
Benzer Tezler
- Titanyum dioksitin optik özelliklerinin fabrikasyon parametrelerine bağlılığı
Fabrication parameters dependency of optical properties of titanium dioxide
HAVA POLAT
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. TEVHİT KARACALI
- Titanyum dioksit nano filmlerin memristiv özelliği ve fabrikasyon parametreleriyle ilişkisi
Memristive behavior of titanium dioxide nano films and relation to fabrication parameters
SÜHEYLA GÜLLÜLÜ
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN EFEOĞLU
- Temperature dependent electrical properties of MoS2/n-Si heterojunction
MoS2/n-Si heteroeklemin sıcaklığa bağlı elektriksel özellikleri
HONAR SALAH AHMED
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiDicle ÜniversitesiKatıhal Fiziği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. YUSUF SELİM OCAK
- Planar perovskite solar cells with metal oxide transport layers by co-evaporation and hybrid vapor-solution sequential method
Birlikte buharlaştırma ve hibrit buhar çözeltisi sıralı yöntemi ile metal oksit delik (Hole) taşıma katmanlı düzlemsel perovskit güneş hücreleri
WIRIA SOLTANPOOR
Doktora
İngilizce
2020
Bilim ve TeknolojiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ SELÇUK YERCİ
- Low temperature growth, characterization, and applications of RF-sputtered srtio3 and BaSrTiO3 thin films
SrTiO3 ve BaSrTiO3 ince filmlerin düşük sıcaklıkta depolanması, karakterizasyonu ve uygulamaları
TÜRKAN BAYRAK
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. NECMİ BIYIKLI