Radyo frekansı saçtırma yöntemi ile Titanyum Nitrür (TiN) ince filmlerin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Radio frequency and methods sputtering Titanium Nitride (TiN) investigation of generation of thin films and some physical properties
- Tez No: 434939
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. MEHMET ÖZKAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Radyofrekans, Radiofrequency
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Afyon Kocatepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Özet:Bu çalışma kapsamında titanyum nitrür (TiN) ince filmler radyo frekansı saçtırma yöntemi ile cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Elde edilen ince filmlerin mikro yapıları ve yüzey morfolojisi X - ışınları difraktometre (XRD), atomik kuvvet mikroskobu ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) kullanılarak incelenmiştir. Filmlerin kalitatif analizleri ise enerji dağılımlı X - ışını spektroskopisi (EDX) ile yapılmıştır. Ayrıca UV-Vis spektrofotometri cihazı ile optiksel geçirgenlikleri belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT:In this study, titanium nitride (TiN) thin films were deposited on glass substrates with Radio Frequency Sputtering method. The microstructure and surface morphology of thin films were analyzed with X-ray diffractrometer (XRD) , Atomic Force Microscopy and Scanning Electron Microscope(SEM).The qualitative analysis of films were made with Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(EDX). Also the optical transmission of films were determined with UV-Vis Spectrophotometer
Benzer Tezler
- Titanyum dioksitin optik özelliklerinin fabrikasyon parametrelerine bağlılığı
Fabrication parameters dependency of optical properties of titanium dioxide
HAVA POLAT
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Mühendislik BilimleriAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. TEVHİT KARACALI
- Titanyum dioksit nano filmlerin memristiv özelliği ve fabrikasyon parametreleriyle ilişkisi
Memristive behavior of titanium dioxide nano films and relation to fabrication parameters
SÜHEYLA GÜLLÜLÜ
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN EFEOĞLU
- Chemistry and structure of sputter deposited boron-carbon-nitrogen thin films
Saçtırma biriktirme yöntemi ile elde edilen bor-karbon-azot ince filmlerin kimyası ve yapısı
MUSTAFA FATİH GENİŞEL
Doktora
İngilizce
2012
Kimyaİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ERMAN BENGÜ
- Planar perovskite solar cells with metal oxide transport layers by co-evaporation and hybrid vapor-solution sequential method
Birlikte buharlaştırma ve hibrit buhar çözeltisi sıralı yöntemi ile metal oksit delik (Hole) taşıma katmanlı düzlemsel perovskit güneş hücreleri
WIRIA SOLTANPOOR
Doktora
İngilizce
2020
EnerjiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DR. ÖĞR. ÜYESİ SELÇUK YERCİ
- Design and fabrication of strained light emitting germanium microstructures by liquid phase epitaxy
Sıvı faz epitaksi yöntemiyle geliştirilmiş çekme gerinimli ışık saçan germanyum microyapılarının tasarımı ve üretimi
BUSE ÜNLÜ
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DOÇ. DR. SELÇUK YERCİ
DR. ÖĞR. ÜYESİ ÇİÇEK HATİCE BOZTUĞ YERCİ