Geri Dön

A micromachined pressure sensor

Mikroişlenmiş basınç sensörü

PDF İndir

  1. Tez No: 476644
  2. Yazar: HASAN KARACA
  3. Danışmanlar: PROF. DR. ABDULLAH ATALAR
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2017
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Elektrik Elektronik Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 71

Özet

Kapasitif mikroişlenmiş ultrasonik çevirici (CMUT), basitçe, aralarında boşluk bulunan hareket eden bir üst elektrot ile sabit bir alt elektrottan oluşan mikroelektromekanik bir cihazdır. Bu sade kütle-yay yapısına rağmen, CMUT lineer olmayan bir cihazdır ve çalışma prensipleri son zamanlarda formüle edilmiştir. Bu çalışmalara göre, üzerine uygulanan basınç ile üst elektrot hareket ettirilebilir ve basıncın miktarına göre de CMUT'ın rezonans frekansı değiştirilebilir. Dolayısıyla, CMUT'ı bir basınç sensörü elde etmek için kullanmak mümkündür. Bu açıdan, basıncı ortaya çıkarmak için yapmamız gereken şey CMUT'ın rezonans frekansını takip etmektir. Bunun en etkin yolu ise, bize CMUT'ın rezonans frekansını gerçek zamanlı takip etme kabiliyetini de sağlayan osilatör kullanımıdır. Ayrıca, CMUT ile çalışan entegre devreler dizaynı içinse en iyi yol Colpitts osilatörden yararlanmaktır. Bu tezde biz entegre devre (IC) düzeyinde bir dizayn hedeflediğimizden, CMUT tabanlı Colpitts osilatör ile bir basınç sensörü dizayn ediyoruz.

Özet (Çeviri)

Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) is a microelectromechanical device that is basically formed by a moving top electrode, a stable bottom electrode and a gap in between. In spite of its this simple mass-spring construction, CMUT is a nonlinear device and its working principles have been formulated. According to these studies, the top electrode can be set in motion by the applied pressure on it and by depending on the amount of that pressure, the resonant frequency of the CMUT can be altered. Therefore, it is possible to use CMUT to obtain a pressure sensor. In this respect, what we have to do is keep tracking of its resonant frequency to deduce the pressure. The most effective way of doing it, on the other hand, is using an oscillator circuit which also provides us the capability of tracking the resonant frequency in real time. Also, to design an integrated circuit that works with the CMUT, the best way is utilizing a Colpitts oscillator. In this thesis, we design a pressure sensor with CMUT based Colpitts oscillator.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    75890

    Silicion micromachined capacitive pressure sensors for industrial and biomedical applications

    Silisyum mikroişleme yöntemi ile üretilen endüstriyel ve biomedikal uygulamalar için kapasite basınç sensörleri

    ORHAN ŞEVKET AKAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1998

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. TAYFUN AKIN

  2. Tez No

    116485

    A silicon micromachined frost sensor for industrial applications

    Endüstriyel uygulamalar için silisyum mikroişlenmiş buzlanma duyargası

    SAİD MUTAKA KAFUMBE

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2001

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. TAYFUN AKIN

  3. Tez No

    128520

    Realization of CMOS compatible micromachined chemical sensors

    CMOS uyumlu mikroişlenmiş kimyasal sensörlerin gerçeklenmesi

    TUĞBA DEMİRCİ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2002

    Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolSabancı Üniversitesi

    Bilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. YAŞAR GÜRBÜZ

  4. Tez No

    39479

    Mikroişlenmiş ivme ölçer üretimi ve optimizasyonu

    Fabrication and optimization of micro machined accelerometers

    MEHMET MURAT OKYAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1994

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Y.DOÇ.DR. HAKAN ÖZDEMİR

  5. Tez No

    348729

    Lumped element modeling of circular cmut in collapsed mode

    Dairesel cmut için çökme modu eşdeğer devre modeli

    ELİF AYDOĞDU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü

    PROF. DR. ABDULLAH ATALAR

    PROF. DR. HAYRETTİN KÖYMEN

Geri Dön