Geri Dön

Silisyum karbür tek kristalli alttaşın termal dekompozisyon ile yüzey grafitizasyonunda demirin etkisinin araştırılması

The effect of iron on the surface graphitization of single crystalline silicon carbide wafer through thermal decomposition

  1. Tez No: 476664
  2. Yazar: ELİF MERCAN
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. ZARİFE GÖKNUR BÜKE
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Bilim ve Teknoloji, Science and Technology
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2017
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: TOBB Ekonomi ve Teknoloji Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 74

Özet

Bu çalışmada, tek kristalli silisyum karbür (SiC) alttaşın düşük sıcaklıklarda (1100oC) yüzey grafitizasyonu için bir metot sunulmuştur. SiC'in dekompozisyon sıcaklığını düşürmek için farklı kalınlıklarda Fe ince film elektron demeti yöntemiyle, farklı molaritelerdeki Fe solüsyonları solüsyon tekniğiyle SiC alttaş üzerine uygulanmıştır. Daha sonra numuneler önce hidrojen ortamında, sonrasında vakumda tavlamaya tabi tutulmuştur. Numunelerin, işlem öncesi ve sonrası, yüzey karakterizasyonu, SEM, EDX, XRD, XPS, Raman spektroskopisi gibi çeşitli görüntüleme ve spektroskopi teknikleri kullanılarak yapılmıştır. Katalizör uygulama metodunun ve katalizör kalınlığının etkileri sistematik olarak incelenmiştir. Sonuçlar, Fe'nin düşük sıcaklıklarda SiC yüzey dekompozisyonu için etkili olarak, grafitik yapı oluşumuna imkan sağladığını göstermektedir. Sunulan yaklaşım, özellikle yarı iletken prosesleri için kritik olan grafenin sentez sıcaklığını düşürme konusunda fayda sağlayabilir.

Özet (Çeviri)

In this study, a method for low temperature (1100oC) surface graphitization of single crystalline silicon carbide (SiC) is developed. In order to decrease the decomposition temperature of SiC, Fe solutions in different molarities and Fe thin films with various thicknesses were applied on SiC substrate by solution technique and electron beam deposition, respectively. After that, samples were first hydrogen and then vacuum annealed. Samples before and after annealing were characterized using various imaging and spectroscopic techniques such as SEM, EDX, XRD, XPS and Raman Spectroscopy. The effects of catalyst application method and the catalyst thicknesses were investigated systematically. The results showed that Fe can be effectively used to extract the silicon atoms from SiC at lower temperatures, resulting in graphitic structure formation. The presented approach may be useful for decreasing the graphene synthesis temperature which is very critical for semiconductor processing.

Benzer Tezler

  1. Monoklinik galyum oksit tabakalarının 4H-silisyum karbür üzerine epitaksiyel elde edilmesi

    Epitaxial production of monoclinic gallium oxide layers on 4H-silicon carbide

    HAMDİN ÖZDEN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ FATİH AKYOL

  2. Investigating the influence of pH on the transport characteristics of the silicon carbide nanowires-based field-effect transistors for environmental sensing

    Çevresel algılama için silikon karbür nanotel bazlı alan etkisi transistörlerinin taşınım özellikleri üzerinde pH'ın etkisinin incelenmesi

    MUHAMMAD AWAIS

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2021

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. KAŞİF TEKER

  3. Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) analysis of silicon carbide nanowires

    Fourier transform ile silisyum karbür nanotellerinin kızılötesi spektroskopi analizi

    DILHUMAR ABDURAZIK

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2016

    Mühendislik Bilimleriİstanbul Şehir Üniversitesi

    Endüstri ve Sistemler Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    Assoc. Prof. Dr. KAŞİF TEKER

  4. Synthesis of high temperature wear resistant WC and WN coatings

    Yüksek sıcaklıkta aşınmaya dirençli WC ve WN kaplamaların sentezlenmesi

    HÜSEYİN ALAGÖZ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2012

    Kimyaİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ERMAN BENGÜ

  5. Plazma destekli kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile tantal katkılı elmas benzeri karbon film üretimi ve karakterizasyonu

    Production of tantalum doped diamond-like carbon film by means of plasma assisted chemical vapor deposition and its characterisation

    NİLÜFER ORHON

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. M. KÜRŞAT KAZMANLI