Bor nitrür partiküllerinin ultra ince tabaka ile kaplanmasının araştırılması
Investigation of ultra thin boron nitride particles coating by atomic layer deposition method in fluidized bed
- Tez No: 486642
- Danışmanlar: PROF. DR. NURAN AY
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 211
Özet
Bor nitrür kendine has fiziksel ve kimyasal özellikleri nedeni ile endüstride geniş bir kullanım alanına sahiptir. Atomik katman biriktirme (ALD) ardışık, kendi kendini sınırlayan reaksiyonlar kullanarak inorganik materyallerin ultra ince ve konformal filmlerinin büyümesine izin veren bir yöntemdir. Ultra ince film tabakası çevrim sayısına bağlı olarak taşıyıcı inert gaz eşliğinde girdilerin etkileşimleri ile gerçekleşir. Bu çalışmada, hekzagonal bor nitrür üzerine ALD yöntemiyle akışkan yatakta Trimetilalüminyum (TMA) ve H2O reaktanları kullanarak Al2O3 ultra ince tabaka kaplanması ve karakterizasyonu araştırılmıştır. Çalışmanın birinci aşamasında, ALD prosesinin yapılacağı sıcaklığa dayanıklı paslanmaz çelik akışkan yatak cihazının tasarımı ve üretimi yapılmıştır. Çalışmanın ikinci aşamasında akışkan yatakta BN partiküllerinin ALD yöntemiyle TMA ve suyun azot gazı eşliğinde kullanılmasıyla ultra ince Al2O3 tabakası ile kaplanması araştırılmıştır. BN yüzeyinde ultra ince Al2O3 kaplanmış numunelerin karakterizasyonunda FTIR, XRD, SEM, TEM kullanılmıştır. Numunelerin zeta potansiyeli ölçümleri yapılarak yüzey yüklerinin nasıl değiştiği incelenmiştir. Yapılan çalışmalar sonucunda hBN üzeri ultra ince Al2O3 tabaka ile kaplanmıştır.
Özet (Çeviri)
Boron nitride is widely use in industry because of its unique physical and chemical properties. Atomic layer deposition (ALD) allows the growth of such ultrathin and conformal films of inorganic materials by using sequential, self-limiting reactions. The ultrathin film layer occurs between ingredients interaction with carrier inert gas due to the cycle number. In this study, ultrathin Al2O3 film layer coating on the hexagonal boron nitride was investigated and characterized by ALD method with a using Trimethylaluminium (TMA) and H2O reactants in fluidized bed. In the first stage of the study, the heat-resistant stainless steel fludized bed device has designed and constructed for ALD process. In the second phase of the study, the coating of BN particles in the fluidized bed with an ultrathin Al2O3 layer by ALD method using TMA and water in the presence of nitrogen gas was investigated. FTIR, XRD, SEM, TEM were used for the characterization of ultrathin Al2O3 coated samples on the BN surface. Zeta potential analysis also investigated for understanding how to change surface charge. As a result of the studies, the hBN is coated with an ultrathin Al2O3 layer.
Benzer Tezler
- Hegzagonal bor nitrür'ün tablet üretimi için yeni bir lubrikant olarak değerlendirilmesi ve konvansiyonel lubrikantlarla karşılaştırılması
Effects of hexagonal boron nitride as a new tablet lubricant and evaluation of compression parameters with some lubricants.
MEKİN DOĞA HALAÇOĞLU
Doktora
Türkçe
2013
Eczacılık ve FarmakolojiMarmara ÜniversitesiFarmasötik Teknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. TİMUÇİN UĞURLU
- Polielektrolit ve sürfaktan kullanımının bor karbür tozunun sol-jel metodu ile sentezi üzerindeki etkilerinin incelenmesi
Investigation of the effects of using polyelectrolyte and surfactant on the synthesis of boron carbide powder by sol gel method
ZEYNEP NAZ ATEŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EROL KAM
PROF. DR. FİGEN KAYA
- Aluminum nitride and boron nitride based multifunctional micro/nano particles for thermal interface materials
Termal arayüz malzemeleri için alüminyum nitrür ve bor nitrür esaslı çok fonksiyonlu mikro/nano parçacıklar
ÖZLEM EVREN
Yüksek Lisans
İngilizce
2023
KimyaKoç ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ÖZGE BALCI
- Bor nanopartikülleri katkılı yapıştırma bağlantılarının mekanik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of boron nanoparticles doped adhesive joints
MUSTAFA ENES YAZICI
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Makine MühendisliğiOndokuz Mayıs ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ KÜRŞAT GÜLTEKİN
- Fabrication and characterization of B4C ve BN reinforced aluminium matrix composites by squeeze casting
B4C ve BN takviyeli alüminyum matrisli kompozitlerin basınçlı döküm ile fabrikasyonu ve karakterızasyonu
AMİN NEKOUYAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Makine MühendisliğiBoğaziçi ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SABRİ ALTINTAŞ