Effects of electric field on the properties of carbon-based thin films deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system
Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sistemi ile elektrik alanın karbon bazlı yarııletken ince filmlerin özelliklerine etkileri
- Tez No: 570478
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Carbon thin films, CH4, ECR-MP CVD, Band gap energy
- Yıl: 2019
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada, karbon bazlı yarıiletken ince filmler cam ve silisyum alttabanlar üzerine Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (ECR-MP) yöntemi ile depolandı. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Hidrojenlenmiş silisyum karbür ince filmler (SixCy: H) (silisyum kaynağı olarak substrate alınarak) ilk kez elde edilmiştir. Elde edilen filmlerin optiksel, yapısal ve yüzey özellikleri spektrofotometre, Raman spektroskopisi, X-ışınları kırınımı (XRD) yöntemi ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak belirlendi. Bazı filmlerin depozisyonu sırasında, depolama optimizasyonuna yardımcı olması için, plazma üzerine dış elektrik alanı uygulanmıştır. Uygulanan ön gerilimin film özelliklerine etkisi incelenmiştir. Depozisyon basıncının optik özellikler üzerindeki etkileri de gözlenmiştir. Yasak enerji aralığının uygulanan gerilimin artarken azaldığını depolama basıncının artması ile arttığını sonuçlar göstermektedir. Elektrik alanın varlığında optik geçirgenlik oranı düşemektedir. Farklı yük oranları ile C ve H iyonları farklı C/H film bölgeleri ile sonuçlanmaktadır. Ön gerilim uygulanarak depolanmış filmler ön gerilim uygulanmamış filmlere kıyasla daha kristallize ve daha düzenli yapıya sahipolduğu gözlenmiştir.
Özet (Çeviri)
In this study, carbon-based semiconductor thin films were deposited on glass and silicon substrates by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition (ECR-MP CVD) system. Methane (CH4) gas was used as a carbon plasma source. Hydrogenated silicon- carbide thin-films (SixCy: H) (taking substrate as Si source) obtained for the first time. The optical and structural properties of the produced films were measured by spectrophotometer, Raman spectroscopies, X-ray diffractometer and atomic force microscopy (AFM). An external electric field was applied to the plasma during deposition some of the films that will help in optimizing the deposition. The influences of the applied bias voltage on the film properties were investigated. The effects of the deposition pressure on optical properties were also discussed. The results indicate that the band gap energy increases with increasing the deposition pressure while it decreases as the applied voltage increases. The optical transmission ratio decreases in the presence of the electric field. C and H ions with different q/m ratios result in different C/H film regions. The biased deposited films were more crystalline and more ordered structure as compared to unbiased films.
Benzer Tezler
- An investigation on the comparison of the performance of lithium-ion batteries and nickel metal hydride batteries used in electric vehicles
Elektrikli taşıtlarda kullanılan lityum iyon bataryalar ile nikel metal hidrit bataryaların performanslarının karşılaştırılması üzerine bir araştırma
SALEM A G SALEH
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Makine MühendisliğiKarabük ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SELAMİ SAĞIROĞLU
- Geri dönüşüm agregası tabanlı elektriksel kür uygulanmış geopolimer harçların mekanik ve durabilite özelliklerinin incelenmesi
Investigation of mechanical and durability properties of electrically cured geopolymer mortars based on recycled aggregates
ŞAHİN EKMEKCİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2026
Mühendislik BilimleriYıldız Teknik Üniversitesiİnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MÜCTEBA UYSAL
- Fabrication, characterization and modeling of aligned polyacrylonitrile-based electrospun carbon nanofibers
Başlık çevirisi yok
MEHMET SELİM DEMİRTAŞ
Doktora
İngilizce
2018
Hava ve Uzay HekimliğiUnıversıty Of OklahomaDr. MRINAL C. SAHA
Dr. M. CENGİZ ALTAN
- Desıgn, fabrıcatıon and optımızatıon of novel carbon-based ato flexıble wearable sensors for healthcare and heart actıvıty monıtorıng
Sağlık ve kalp aktivitesi takibi için yeni nesil karbon bazlı esnek giyilebilir ato sensörlerin tasarımı, üretimi ve optimizasyonu
AHMAD ADNAN SHOUKAT
Doktora
İngilizce
2026
Biyomühendislikİstanbul Medipol ÜniversitesiBiyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN KÖTEN
- Lityum iyon piller için üç boyutlu grafen/karbon nanotüp/silisyum nanokompozit anotların geliştirilmesi
Development of three-dimensional graphene/carbon nanotube/silicon nanocomposite anodes for lithium-ion batteries
SELİN DEMİRCİ
Doktora
Türkçe
2024
Enerjiİstanbul Teknik ÜniversitesiEnerji Bilimi ve Teknolojileri Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİLGÜN YAVUZ