Effects of electric field on the properties of carbon-based thin films deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system
Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sistemi ile elektrik alanın karbon bazlı yarııletken ince filmlerin özelliklerine etkileri
- Tez No: 570478
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Carbon thin films, CH4, ECR-MP CVD, Band gap energy
- Yıl: 2019
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 94
Özet
Bu çalışmada, karbon bazlı yarıiletken ince filmler cam ve silisyum alttabanlar üzerine Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (ECR-MP) yöntemi ile depolandı. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Hidrojenlenmiş silisyum karbür ince filmler (SixCy: H) (silisyum kaynağı olarak substrate alınarak) ilk kez elde edilmiştir. Elde edilen filmlerin optiksel, yapısal ve yüzey özellikleri spektrofotometre, Raman spektroskopisi, X-ışınları kırınımı (XRD) yöntemi ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak belirlendi. Bazı filmlerin depozisyonu sırasında, depolama optimizasyonuna yardımcı olması için, plazma üzerine dış elektrik alanı uygulanmıştır. Uygulanan ön gerilimin film özelliklerine etkisi incelenmiştir. Depozisyon basıncının optik özellikler üzerindeki etkileri de gözlenmiştir. Yasak enerji aralığının uygulanan gerilimin artarken azaldığını depolama basıncının artması ile arttığını sonuçlar göstermektedir. Elektrik alanın varlığında optik geçirgenlik oranı düşemektedir. Farklı yük oranları ile C ve H iyonları farklı C/H film bölgeleri ile sonuçlanmaktadır. Ön gerilim uygulanarak depolanmış filmler ön gerilim uygulanmamış filmlere kıyasla daha kristallize ve daha düzenli yapıya sahipolduğu gözlenmiştir.
Özet (Çeviri)
In this study, carbon-based semiconductor thin films were deposited on glass and silicon substrates by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition (ECR-MP CVD) system. Methane (CH4) gas was used as a carbon plasma source. Hydrogenated silicon- carbide thin-films (SixCy: H) (taking substrate as Si source) obtained for the first time. The optical and structural properties of the produced films were measured by spectrophotometer, Raman spectroscopies, X-ray diffractometer and atomic force microscopy (AFM). An external electric field was applied to the plasma during deposition some of the films that will help in optimizing the deposition. The influences of the applied bias voltage on the film properties were investigated. The effects of the deposition pressure on optical properties were also discussed. The results indicate that the band gap energy increases with increasing the deposition pressure while it decreases as the applied voltage increases. The optical transmission ratio decreases in the presence of the electric field. C and H ions with different q/m ratios result in different C/H film regions. The biased deposited films were more crystalline and more ordered structure as compared to unbiased films.
Benzer Tezler
- Fabrication, characterization and modeling of aligned polyacrylonitrile-based electrospun carbon nanofibers
Başlık çevirisi yok
MEHMET SELİM DEMİRTAŞ
Doktora
İngilizce
2018
Hava ve Uzay HekimliğiUniversity of OklahomaDr. MRINAL C. SAHA
Dr. M. CENGİZ ALTAN
- Ultrasona duyarlı hidrojellerin sentezi ve ilaç salım davranışlarının incelenmesi
Synthesis of ultrasensitive hydrogels and investigation of drug release behavior
ŞULE BALCI
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
BiyomühendislikSakarya ÜniversitesiBiyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. CUMA BİNDAL
- Vitamin A ve gümüş nanotanecik katkılı cilt maskesi üretimi
Production of skin mask containing vitamin A and silver nanoparticles
TUĞÇE KADAKAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Biyomühendislikİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MELEK MÜMİNE EROL TAYGUN
- Emerging approaches for non-thermal modification of proteins isolated from de-oiled sunflower cake
Yağsız ayçiçek küspesinden izole edilen proteinlerin modifikasyonu için yenilikçi ısıl olmayan yöntemler
BÜŞRA GÜLTEKİN SUBAŞI
Doktora
İngilizce
2021
Gıda Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiGıda Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ÇAPANOĞLU GÜVEN
- Novel honeycomb nanostructures for energy storage and nanoscale device design
Enerji depolama ve nano ölçekte cihaz tasarımı için yeni bal peteği nano yapılar
VELİ ONGUN ÖZÇELİK
Doktora
İngilizce
2015
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SALİM ÇIRACI