Geri Dön

Effects of electric field on the properties of carbon-based thin films deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system

Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sistemi ile elektrik alanın karbon bazlı yarııletken ince filmlerin özelliklerine etkileri

  1. Tez No: 570478
  2. Yazar: WAFAA S.A. ABUSAID
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Carbon thin films, CH4, ECR-MP CVD, Band gap energy
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 94

Özet

Bu çalışmada, karbon bazlı yarıiletken ince filmler cam ve silisyum alttabanlar üzerine Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (ECR-MP) yöntemi ile depolandı. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Hidrojenlenmiş silisyum karbür ince filmler (SixCy: H) (silisyum kaynağı olarak substrate alınarak) ilk kez elde edilmiştir. Elde edilen filmlerin optiksel, yapısal ve yüzey özellikleri spektrofotometre, Raman spektroskopisi, X-ışınları kırınımı (XRD) yöntemi ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak belirlendi. Bazı filmlerin depozisyonu sırasında, depolama optimizasyonuna yardımcı olması için, plazma üzerine dış elektrik alanı uygulanmıştır. Uygulanan ön gerilimin film özelliklerine etkisi incelenmiştir. Depozisyon basıncının optik özellikler üzerindeki etkileri de gözlenmiştir. Yasak enerji aralığının uygulanan gerilimin artarken azaldığını depolama basıncının artması ile arttığını sonuçlar göstermektedir. Elektrik alanın varlığında optik geçirgenlik oranı düşemektedir. Farklı yük oranları ile C ve H iyonları farklı C/H film bölgeleri ile sonuçlanmaktadır. Ön gerilim uygulanarak depolanmış filmler ön gerilim uygulanmamış filmlere kıyasla daha kristallize ve daha düzenli yapıya sahipolduğu gözlenmiştir.

Özet (Çeviri)

In this study, carbon-based semiconductor thin films were deposited on glass and silicon substrates by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition (ECR-MP CVD) system. Methane (CH4) gas was used as a carbon plasma source. Hydrogenated silicon- carbide thin-films (SixCy: H) (taking substrate as Si source) obtained for the first time. The optical and structural properties of the produced films were measured by spectrophotometer, Raman spectroscopies, X-ray diffractometer and atomic force microscopy (AFM). An external electric field was applied to the plasma during deposition some of the films that will help in optimizing the deposition. The influences of the applied bias voltage on the film properties were investigated. The effects of the deposition pressure on optical properties were also discussed. The results indicate that the band gap energy increases with increasing the deposition pressure while it decreases as the applied voltage increases. The optical transmission ratio decreases in the presence of the electric field. C and H ions with different q/m ratios result in different C/H film regions. The biased deposited films were more crystalline and more ordered structure as compared to unbiased films.

Benzer Tezler

  1. Fabrication, characterization and modeling of aligned polyacrylonitrile-based electrospun carbon nanofibers

    Başlık çevirisi yok

    MEHMET SELİM DEMİRTAŞ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    Hava ve Uzay HekimliğiUniversity of Oklahoma

    Dr. MRINAL C. SAHA

    Dr. M. CENGİZ ALTAN

  2. Ultrasona duyarlı hidrojellerin sentezi ve ilaç salım davranışlarının incelenmesi

    Synthesis of ultrasensitive hydrogels and investigation of drug release behavior

    ŞULE BALCI

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    BiyomühendislikSakarya Üniversitesi

    Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. CUMA BİNDAL

  3. Vitamin A ve gümüş nanotanecik katkılı cilt maskesi üretimi

    Production of skin mask containing vitamin A and silver nanoparticles

    TUĞÇE KADAKAL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Biyomühendislikİstanbul Teknik Üniversitesi

    Kimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MELEK MÜMİNE EROL TAYGUN

  4. Emerging approaches for non-thermal modification of proteins isolated from de-oiled sunflower cake

    Yağsız ayçiçek küspesinden izole edilen proteinlerin modifikasyonu için yenilikçi ısıl olmayan yöntemler

    BÜŞRA GÜLTEKİN SUBAŞI

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2021

    Gıda Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Gıda Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ÇAPANOĞLU GÜVEN

  5. Novel honeycomb nanostructures for energy storage and nanoscale device design

    Enerji depolama ve nano ölçekte cihaz tasarımı için yeni bal peteği nano yapılar

    VELİ ONGUN ÖZÇELİK

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SALİM ÇIRACI