Metal oksit tabanlı ultraviyole detektör dizini fabrikasyonu ve karakterizasyonu
Metal oxide uv detector array fabrication and characterization
- Tez No: 599119
- Danışmanlar: PROF. DR. YILDIRIM AYDOĞDU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Bilim ve Teknoloji, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Science and Technology, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 93
Özet
Günümüze kadar optik spektrumun farklı bölgelerinde çalışan fotodetektör dizini üretimlerini bulmak mümkündür. Tez çalışması kapsamında; optik spektrumun ultraviyole (UV) bölgesinde çalışan metal oksit tabanlı, 640x512 çözünürlüğe sahip UV detektör dizininin mikrofabrikasyon yöntemleri ile üretilmesi ve üretilen fotodetektör dizininin, optik ve elektronik bileşenler birleştirilerek UV bölgede görüntü alabilen kamera geliştirilmesi amaçlanmıştır. Geniş bant enerjisine sahip Metal Oksit malzemelerin UV ışığı soğurma özellikleri kullanılarak fotodetektör tasarımı ve bu fotodetektörlerin 640x512 satır sütun boyutlarında matris şeklinde dizilimlerinden Metal Oksit fotodetektör dizini oluşturulmuştur. Fotodetektör dizini üretimi İ.D. Bilkent Üniversitesi NANOTAM laboratuvarlarında bulunan sınıf 100 temiz odalarda gerçekleştirilmiş olup, fotolitografi, ince film büyütme gibi mikro fabrikasyon teknikleri kullanılarak yapılmıştır. Aygıtların üretiminde safir alttaş üzerine fotolitografi, RF magnetron saçtırma, termal ve elektron demeti buharlaştırma yöntemleri kullanılarak incefilmler katmanlar ile fotodetektör dizininin yapısı oluşturulmuştur. Üretilen fotodetektör dizinlerinin elektriksel ve optik karakterizasyonu yapılmış olup 365 nm dalga boyu için 0.65 A/W tepkiselliğe sahip ve 250 nm ile 400 nm arasında tepki veren fotodetektör ve fotodetektör dizini üretilmiştir. Üretilen fotodetektör dizini kamera elektroniğine bağlanmıştır. Kamera optiği ve kamera elektroniği ile birlikte UV bölgede görüntü alabilen kamera haline gelmiştir.
Özet (Çeviri)
To date, it is possible to find photodetector array production in different regions of the optical spectrum. Within the scope of thesis study; It is produced by microfabrication methods of UV detector array with 640x512 resolution based on Metal Oxide base working in ultraviolet (UV) region of optical spectrum. The produced photodetector array, optical and electronic components are combined to develop a camera that can receive images in the UV region. In the literature, no UV images taken with Metal Oxide photodetector array have been reported so far. The Metal Oxide photodetector array has been formed from the matrix-shaped sequences of the 640X512 line column dimensions of the photodetector using UV light absorption properties of Metal Oxide materials with broad band energy. The photodetector array was produced in Bilkent University class 100 clean rooms. In the fabrication of devices, was performed using micro-fabrication techniques such as thin-film magnification and photolithography. In the fabrication of the devices, photolithography, RF magnetron scattering, thermal and electron beam evaporation methods were used on the sapphire bottomstone, photodetector array was formed using structure of thin film layers. Electrical and optical characterization of the produced photodetector sequences has been made and photodetector and photodetector array which has a responsivity of 0,65 A/W at 365 nm wavelength and response between 250 nm and 400 nm have been produced. With the generated photodetector array is connected to the camera electronics, along with the camera optics and camera electronics, it has become the camera that can receive images in the UV region.
Benzer Tezler
- Çinko oksit (ZnO) tabanlı ultraviyole (UV) ışık yayan diyotların elektriksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of electrical and optical properties of ZnO based ultraviolet light emitting diodes
EMRE ARSLAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
EnerjiGiresun ÜniversitesiEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SONGÜL FİAT VAROL
- Optimization of zinc oxide based metal - semiconductor junction interface properties and applications for optoelectronic devices
Çinko oksit tabanlı metal – yarı iletken kavşak ara yüzey özelliklerinin eniyilenmesi ve optoelektronik aygıt uygulamaları
ABDURRAHMAN HALİS GÜZELAYDIN
Doktora
İngilizce
2024
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ENVER TARHAN
- Metal oksit esaslı kappa karragenan / PEG nanotaneciklerinin hazırlanması, karakterizasyonu ve biyosensör uygulamaları
Preparation, characterization and biosensor applications of metal oxide based kappa carragenan / PEG nanoparti̇cles
AYSUN KARABATAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Kimyaİstanbul Üniversitesi-CerrahpaşaKimya Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SELCAN KARAKUŞ
- TiN(IV) oxide coated gold nanoparticles: Synthesis, characterization and investigation of surface enhanced Raman scattering activities
Kalay(IV) oksit kaplı altın nanoparçacıklar: Sentez, karakterizasyon ve yüzeyde güçlendirilmiş Raman saçılması aktifliğinin araştırılması
AYLİN ELÇİ
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EMREN NALBANT ESENTÜRK
- UV ile kürlenebilen su bazlı poliüretan akrilat binderlerin suni deriye şablon baskı yöntemiyle uygulanması ve baskı yönteminin geliştirilmesi
Screen printing of UV curable water-borne polyurethane acrylate binder on synthetic leather and development of the printing method
GÜLÇİN BAYSAL
Doktora
Türkçe
2020
Tekstil ve Tekstil Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BURÇAK KARAGÜZEL KAYAOĞLU