MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatör tasarımı ve üretimi
Design and fabrication of MEMS technology based capacitive resonator
- Tez No: 646794
- Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ SERDAR TEZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2020
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Pamukkale Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 109
Özet
Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi tabanlı kapasitif duyargalar, literatürde yaygın olarak araştırılmaktadır. Düşük maliyete ve yüksek hassasiyete sahip bu duyarga yapıları günümüzde havacılık ve uzay, biyomedikal, otomotiv endüstrisi gibi farklı uygulamalarda kullanılmaktadır. Bu tez çalışması kapsamında MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatör tasarımı ve üretimi sunulmuştur. İlk olarak, MEMS yapısının teorik analizi yapılmıştır. Daha sonra, sonlu elemanlar yöntemi kullanan Elmer FEM yazılımı ile benzetim çalışmaları tamamlanmıştır. Yapının Elmer FEM ile doğrulanması sonrasında üretim maske seti tasarlanmıştır. Tasarlanan yapı ODTÜ MEMS merkezinde ürettirilmiştir. MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatörün işlevsellik testleri, Pamukkale Üniversitesi MEMS laboratuvarında yapılmıştır. İşlevsellik testleri kapsamında ölçülen değerler, teorik ve benzetim çalışmaları sonucu elde edilen değerler ile karşılaştırılmıştır. Ayrıca, MEMS rezonatörün kütle cevabının tersi ise yaklaşık olarak 499 pg/Hz elde edilmiştir. Tez kapsamında üretilen MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatörün işlevselliği gösterilmiş olup bu çalışmanın kütle algılama uygulamalarda kullanılabileceği düşünülmektedir.
Özet (Çeviri)
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) Technology-based capacitive sensors have been extensively researched in the literature. Today, these sensors having low cost and high sensitivity are used in the different applications such as aerospace, biomedical and automotive industry. In the scope of the thesis study, the design and fabrication of the MEMS Technology-based capacitive resonator are presented. Firstly, the theoretical analysis of the MEMS structure is performed. Then, the simulation studies are completed by using Elmer FEM software depending on the finite element method. After the verification of the MEMS structure with Elmer FEM simulation software, the fabrication mask set is designed. The designed structure is fabricated in the METU MEMS CENTER. The functionality test of the MEMS resonator is performed in the MEMS Laboratory at Pamukkale University. The values obtained during the functionality test are compared with those of the design and simulation. Furthermore, the inverse of the mass responsivity of the MEMS resonator is approximately obtained as 499 pg/Hz. The functionality of the MEMS technology based capacitive resonator fabricated in the scope of the thesis is demonstrated, and it is thought that the current study can be used in implementations of the mass sensing.
Benzer Tezler
- Development of a high yield fabrication process for MEMS based resonant mass sensors for cell detection applications
Hücre algılama uygulamaları için MEMS tabanlı yüksek randımanlı rezonant kütle sensörü fabrikasyon metodu geliştirilmesi
TAYLAN BERKİN TÖRAL
Yüksek Lisans
İngilizce
2014
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HALUK KÜLAH
YRD. DOÇ. DR. Kıvanç Azgın
- Yenilenebilir enerji uygulamaları için MEMS teknolojisi tabanlı DC/AC güç invertörünün modellenmesi ve tasarımı
Modeling and design of MEMS technology based DC/AC power inverter for renewable energy applications
SALİH RAHMİ TURAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSiirt ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MELİH KUNCAN
DR. ÖĞR. ÜYESİ OSMAN ÜLKİR
- MEMS' lerin biyomedikal alanındaki uygulamalarının incelenmesi
Investigation of biomedical applications of MEMS
İBRAHİM ETHEM SAÇU
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErciyes ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ALÇI
- Fabrication of cmuts based on PMMA adhesive wafer bonding
PMMA yapıştırıcılı pul bağlama yöntemiyle kapasitif mikroişlenmiş ultrasonik güç çevirici (CMUT) üretimi
MANSOOR AHMAD
Doktora
İngilizce
2019
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSabancı ÜniversitesiElektrik-Elektronik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AYHAN BOZKURT
- Parilen C tabanlı esnek basınç sensörlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of parylene C based flexible pressure sensor
SEDAT KURNAZ
Doktora
İngilizce
2023
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKastamonu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖZGÜR ÖZTÜRK