Geri Dön

MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatör tasarımı ve üretimi

Design and fabrication of MEMS technology based capacitive resonator

  1. Tez No: 646794
  2. Yazar: ERGUN AYTAŞKIN
  3. Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ SERDAR TEZ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2020
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Pamukkale Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 109

Özet

Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi tabanlı kapasitif duyargalar, literatürde yaygın olarak araştırılmaktadır. Düşük maliyete ve yüksek hassasiyete sahip bu duyarga yapıları günümüzde havacılık ve uzay, biyomedikal, otomotiv endüstrisi gibi farklı uygulamalarda kullanılmaktadır. Bu tez çalışması kapsamında MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatör tasarımı ve üretimi sunulmuştur. İlk olarak, MEMS yapısının teorik analizi yapılmıştır. Daha sonra, sonlu elemanlar yöntemi kullanan Elmer FEM yazılımı ile benzetim çalışmaları tamamlanmıştır. Yapının Elmer FEM ile doğrulanması sonrasında üretim maske seti tasarlanmıştır. Tasarlanan yapı ODTÜ MEMS merkezinde ürettirilmiştir. MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatörün işlevsellik testleri, Pamukkale Üniversitesi MEMS laboratuvarında yapılmıştır. İşlevsellik testleri kapsamında ölçülen değerler, teorik ve benzetim çalışmaları sonucu elde edilen değerler ile karşılaştırılmıştır. Ayrıca, MEMS rezonatörün kütle cevabının tersi ise yaklaşık olarak 499 pg/Hz elde edilmiştir. Tez kapsamında üretilen MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatörün işlevselliği gösterilmiş olup bu çalışmanın kütle algılama uygulamalarda kullanılabileceği düşünülmektedir.

Özet (Çeviri)

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) Technology-based capacitive sensors have been extensively researched in the literature. Today, these sensors having low cost and high sensitivity are used in the different applications such as aerospace, biomedical and automotive industry. In the scope of the thesis study, the design and fabrication of the MEMS Technology-based capacitive resonator are presented. Firstly, the theoretical analysis of the MEMS structure is performed. Then, the simulation studies are completed by using Elmer FEM software depending on the finite element method. After the verification of the MEMS structure with Elmer FEM simulation software, the fabrication mask set is designed. The designed structure is fabricated in the METU MEMS CENTER. The functionality test of the MEMS resonator is performed in the MEMS Laboratory at Pamukkale University. The values obtained during the functionality test are compared with those of the design and simulation. Furthermore, the inverse of the mass responsivity of the MEMS resonator is approximately obtained as 499 pg/Hz. The functionality of the MEMS technology based capacitive resonator fabricated in the scope of the thesis is demonstrated, and it is thought that the current study can be used in implementations of the mass sensing.

Benzer Tezler

  1. Development of a high yield fabrication process for MEMS based resonant mass sensors for cell detection applications

    Hücre algılama uygulamaları için MEMS tabanlı yüksek randımanlı rezonant kütle sensörü fabrikasyon metodu geliştirilmesi

    TAYLAN BERKİN TÖRAL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. HALUK KÜLAH

    YRD. DOÇ. DR. Kıvanç Azgın

  2. Yenilenebilir enerji uygulamaları için MEMS teknolojisi tabanlı DC/AC güç invertörünün modellenmesi ve tasarımı

    Modeling and design of MEMS technology based DC/AC power inverter for renewable energy applications

    SALİH RAHMİ TURAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSiirt Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MELİH KUNCAN

    DR. ÖĞR. ÜYESİ OSMAN ÜLKİR

  3. MEMS' lerin biyomedikal alanındaki uygulamalarının incelenmesi

    Investigation of biomedical applications of MEMS

    İBRAHİM ETHEM SAÇU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErciyes Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA ALÇI

  4. Fabrication of cmuts based on PMMA adhesive wafer bonding

    PMMA yapıştırıcılı pul bağlama yöntemiyle kapasitif mikroişlenmiş ultrasonik güç çevirici (CMUT) üretimi

    MANSOOR AHMAD

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSabancı Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. AYHAN BOZKURT

  5. Parilen C tabanlı esnek basınç sensörlerin üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterization of parylene C based flexible pressure sensor

    SEDAT KURNAZ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKastamonu Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ÖZGÜR ÖZTÜRK