Geri Dön

MEMS' lerin biyomedikal alanındaki uygulamalarının incelenmesi

Investigation of biomedical applications of MEMS

  1. Tez No: 317836
  2. Yazar: İBRAHİM ETHEM SAÇU
  3. Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA ALÇI
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: MEMS, medikal sensörler, mikrokiriş, piezorezistif dedeksiyon, MEMS, medical sensors, microcantilever, piezoresistive detection
  7. Yıl: 2012
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Erciyes Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 111

Özet

Mikro-elektro-mekanik sistemler (MEMS) küçük ölçekli mekanik yapılarla, elektronik devrelerin aynı kırmık üzerinde üretilebildiği bir bütünleştirme teknolojisi olarak kullanılmaktadır. MEMS teknolojisi beraberinde getirdiği küçültme avantajı nedeniyle birçok kullanım alanı bulmakta ve bu alanlarda bazı imkanlar ve potansiyeller sunmaktadır. Potansiyellerin sunulduğu alanlardan bir tanesi de medikal alanıdır.Mikrokirişler en yaygın MEMS elemanlarından birini oluşturmaktadır. Mikrokiriş tabanlı sensörler; toksik gaz, antijen, antikor, nükleik asit, virüs gibi birçok biyolojik ve kimyasal molekülün dedeksiyonda kullanılmaktadır. Yaygın kullanım alanına sahip olan bu sensörler de kapasitif, piezoelektrik, optik ve piezorezistif dedeksiyon metotları kullanılmaktadır. Her bir metodun kendine göre avantajları ve dezavantajları bulunmaktadır. Piezorezistif dedeksiyon metodunun sıvı ortamlarda çalışabilme, kolay ve ucuz üretim, elektronik devrelerle bütünleştirilmeye uygun olma gibi avantajları bulunduğundan tasarlanacak sensörde bu metoda yer verilmiştir. Sensör tasarımı sırasında gerçekleştirilen benzetimden piezorezisitif ve kiriş katman kalınlıklarının üretim teknolojilerinin izin verdiği ölçüde ebatlarının küçük olarak imal edilmesi gerektiği sonucuna varılmıştır. Ayrıca kiriş üzerinde açılacak kare oyuğun sensör duyarlılığını artırdığı görülmüştür.Bu çalışmada MEMS' lerin biyomedikal alanındaki kullanımları incelenmiş ve piezorezistif dedeksiyon yöntemine dayalı mikrokiriş biyosensör tasarımı ve benzetimi gerçekleştirilmiştir.

Özet (Çeviri)

Micro-electro-mechanical systems (MEMS) is an merging technology, which is used for integration of small scale mechanical elements and electronics on the same chip. Since MEMS technology has an advantage of small scale, it has got a lot of usage area. One of the usage area which is MEMS technology has represent a potential is medicine.Microcantilever is one of the most common MEMS elements. Microcantilever based sensors have been employed for detection of biological and chemical molecules such as toxic gase, antigen, antibody, virus and nucleic acids etc. . There are several detection methods have been used in microcantilever sensors such as piezoresistive, piezoelectric, capacitance and optical methods. Each sensing mechanism has its own advantages and disadvantages. Piezoresistive method will be employed for the designed sensor because of working ability in liquid environments, easy and low-cost production, suitability for integration with electronics. Simulation results have shown that piezoresistive and cantilever layer thickness should be produce as small as fabrication technology permits. Additionaly, placing a square hole on the microcatilever has increased the sensor sensivity.In this thesis biomedical applications of MEMS is investigated and piezoresistive detection based microcantilever biosensor is designed and simulated.

Benzer Tezler

  1. MEMS ile entegre mikro ısıtıcı ve IDE mikro sistemlerin fabrikasyonu ve nano kompozit yarı iletken gaz sensör uygulaması

    Fabrication of integrated micro heater and ide micro systems with MEMS and application of nano composite semiconductor GAS sensor

    HALİME İLBEYİİLİNGİ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ BERNA MOROVA

    DOÇ. DR. CİHAT TAŞALTIN

  2. Enrichment of MCF7 breast cancer cells from leukocytes through continuous flow dielectrophoresis

    Dielektroforez yöntemi ile sürekli akış altında MCF7 meme kanseri hücrelerinin akyuvar hücrelerinden zenginleştirilmesi

    ZEYNEP ÇAĞLAYAN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    BiyomühendislikOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HALUK KÜLAH

  3. Biomedical and cooling applications of micro flows

    Mikro akışların biyomedikal ve soğutma uygulamaları

    MUHSİNCAN ŞEŞEN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2011

    BiyomühendislikSabancı Üniversitesi

    Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ALİ KOŞAR

  4. Monitoring of cardio rhythm with accelerometer (Accelero-Cardio-Gram-ACG) over wireless body area network

    Kalp ritminin ivme algılayıcı ile takibi (İvmesel-Kalp-Ritim-Takibi-İKT) ve kablosuz vücut alan ağı üzerinden iletimi

    HASAN BASRİ GÜNER

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2011

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TAMER ÖLMEZ

  5. Mikro elektro mekanik anahtarların HFSS ve yapay sinir ağları ile modellenmesi

    The modelling of micro electro mechanic switches using HFSS and artificial neural networks

    YAVUZ ELMAS

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2007

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesi

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. HAMİD TORPİ