Parilen C tabanlı esnek basınç sensörlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of parylene C based flexible pressure sensor
- Tez No: 837258
- Danışmanlar: PROF. DR. ÖZGÜR ÖZTÜRK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Polimer Bilim ve Teknolojisi, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Polymer Science and Technology, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Basınç sensörleri, Dış basınç, Elek baskı, Kompozit polimerler, Polimer kaplama, Pressure sensors, External pressure, Screen techique, Composite polymers, Polymer coating
- Yıl: 2023
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Kastamonu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez çalışması, MEMS uygulamalarında koruyucu tabaka olarak kullanılan parilen C'nin 2011 yılında piezoelektrik özelliklerinin keşfi sonrasında esnek basınç sensör olarak kullanılabilirliği kapsamaktadır. İlk olarak, parilen C kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle sentezlenmiştir. Ağırlıkça belirli oranlarda poliüretan (PU), poli(metil metakrilat) (PMMA) ve aktif karbon eklenerek, kompozit yapıda numuneler üretilmiştir. Bu numunelerin yapısal, kimyasal, morfolojik ve termal analizleri gerçekleştirilmiştir. Elektromekanik ölçümler ile piezoelektrik, piezorezistif ve kapasitif özellikleri belirlenerek, algılama performansları incelenmiş ve en iyi performansı gösteren esnek basınç sensörü adayları belirlenmiştir. Belirlenen aday numunelerin formülasyonu dikkate alınarak hazırlanan basınca duyarlı mürekkepler, serigrafi yöntemine uygun olarak tekrardan hazırlanmış ve serigrafi yöntemi ile esnek basınç sensörlerin üretimi gerçekleştirilmiştir. Elektromekanik ölçümler sonucunda düşük basıncı algılama performansına sahip olan parilen C tabanlı numuneler, esnek piezoelektrik basınç sensörü olarak kullanılamayacağı berlirlenmiştir. Esnek piezorezistif ve kapasitif basınç sensörlerinin basıncı algıladığı aralık P<1,5 kPa olarak belirlenmiş olup, hassasiyetleri sırasıyla 0,152 kPa-1 ve 0,124 kPa-1'dir.
Özet (Çeviri)
This thesis covers the use of parylene C, which is used as a protective layer in MEMS applications, as a flexible pressure sensor after the discovery of its piezoelectric properties in 2011. First, parylene C was synthesized by chemical vapor deposition. Composite samples were prepared by the addition of polyurethane (PU), poly (methyl methacrylate) (PMMA) and activated carbon in certain weight ratios. Structural, chemical, morphological and thermal analyses of the samples were carried out. By electromechanical measurements, piezoelectric, piezoresistive and capacitive properties were determined, sensing performances were analyzed and the best performing flexible pressure sensor candidates were identified. Pressure-sensitive inks prepared by taking into account the formulation of the determined candidate samples were prepared again in accordance with the screen printing method and flexible pressure sensors were produced by screen printing method. The electromechanical measurements show that parylene C-based samples with low pressure sensing performance cannot be used as flexible piezoelectric pressure sensors. The pressure sensing range of the flexible piezoresistive and capacitive pressure sensors was determined as P<1.5 kPa, with sensitivities of 0.152 kPa-1 and 0.124 kPa-1, respectively.
Benzer Tezler
- Parilen-C tabanlı piezoelektrik malzemelerin diielektrik özelliklerinin incelenmesi
Dielectric properties of the parylene-C based doped piezoelectric materials
UTKU GÜDÜLOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKastamonu ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖZGÜR ÖZTÜRK
- MEMS based electrochemical dna sensor to detect methicillin resistant Staphylococcus aureus and vancomycin resistant enterococcus species
Metisilin dirençli Staphylococcus aureus ve vankomisin dirençli enterococcus suşlarının tanısı için MEMS tabanlı elektrokimyasal sensör
HATİCE CEYLAN KOYDEMİR
Doktora
İngilizce
2013
BiyoteknolojiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. CANAN ÖZGEN
DOÇ. DR. HALUK KÜLAH
- MEMS sensor platform for vital monitoring under mri and intraocular pressure measurement
Yaşamsal işaretlerin ve göz içi basıncın ölçülmesine yönelik MEMS basınç ölçer platformunun geliştirilmesi
PARVIZ ZOLFAGHARI
Doktora
İngilizce
2023
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU
- Chirp sismik yöntemle İstanbul Boğazı güney şelfindeki çökel yapılarının oluşum dinamiklerinin incelenmesi
High resolution (Chirp) seismic stratigraphy and evolutionary dynamics at the southern shelf of the Strait of Istanbul, sea of Marmara, Turkey
KEREM KÖPRÜLÜ
Doktora
Türkçe
2014
Jeofizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiDeniz Jeolojisi ve Jeofiziği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ŞABAN BEDRİ ALPAR
- Türkiye petrokimya sektöründe üretim planlaması: Bir doğrusal programlama uygulaması
Başlık çevirisi yok
İLHAN AZKAN