Sensör uygulamaları için farklı kalınlıklarda oluşturulan zno nano ince filmlerin Schottky engel diyotlar üzerine etkisi
The effect of different thicknesses zno nano thin films on Schottky barrier diodes for sensor applications
- Tez No: 755702
- Danışmanlar: DOÇ. DR. OSMAN ÇİÇEK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Kastamonu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 81
Özet
Tez çalışması kapsamında, Schottky engel diyotu olarak bilinen AuPd/n-GaAs ve Ag/n-GaAs metal-yarıiletken yapılara çeşitli kalınlıklarda ZnO oksit tabakası kaplandı. Ayrıca, AuPd ve Ag kontaklı olarak iki grup halinde üretilerek elektriksel özellikleri incelendi. n-GaAs alttaş üzerine RF kopartma yöntemi kullanılarak çeşitli kalınlıklarda (25, 50, 100, 175 ve 250 nm) ZnO ince film kaplandı. İki farklı Schottky kontağı oluşturuldu. İlk Schottky kontak olarak DC kopartma yöntemi kullanılarak AuPd Schottky ve omik kontaklar oluşturuldu. Diğer Schottky kontak için ise gümüş pasta damlatılarak Ag kontak oluşturuldu. ZnO filmin kalınlıkları SEM ölçümleri ile tespit edildi. Akım-gerilim (I-V) ölçümleri gerçekleştirildi ve Schottky diyot performansı incelendi. I-V ileri ve geri bölgelerini termiyonik emisyon teorisi, Ohm yasası, Cheung ve Cheung metodu ve modifiye edilmiş Norde metoduna göre analiz eden Labview tabanlı yazılım geliştirildi. Bu sayede doyma akımı (Io), idealite faktörü (n), potansiyel engel yüksekliği (ϕB), seri direnç (Rs) ve şönt direnci (Rsh) parametreleri hesaplandı. 25 nm ve 50 nm ZnO kaplı Schottky diyotların en iyi performansı gösterdiği gözlendi.
Özet (Çeviri)
In this study, various thicknesses of ZnO oxide layer were coated on AuPd/n-GaAs and Ag/n-GaAs metal-semiconductor structures known as Schottky barrier diodes. In addition, it was produced in two groups as AuPd and Ag contacts, and its electrical properties were investigated. ZnO thin films of various thicknesses (25, 50, 100, 175, and 250 nm) were coated on the n-GaAs substrate using the RF sputtering method. Two different Schottky contacts were formed. As the first Schottky contact, AuPd Schottky and ohmic contacts were formed by using DC sputtering method. For the other Schottky contact, Ag contact was formed by dropping silver paste. The thicknesses of the ZnO film were determined by SEM measurements. The current-voltage (I-V) measuments were carried out and Schottky diode performance was investigated. A Labview-based software was developed that analyzes the forward and reverse regions of I-V according to thermionic emission theory, Ohm's law, Cheung and Cheung method, and modified Norde method. Thus, the saturation current (I0), ideality factor (n), potential barrier height (ϕB), series resistance (RS), and shunt resistance (RSH) parameters were calculated. It was observed that 25 nm and 50 nm ZnO coated Schottky diodes performed the best performance.
Benzer Tezler
- Platin nanotüp üretimi, karakterizasyonu ve gaz algılama özelliklerinin incelenmesi
Investigation of platin nanotubes production, characterization and gas detection properties
ZEYNEP BOYRAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİnönü ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NECMETTİN KILINÇ
- Plazmonik sensör uygulamaları için gözenekli anodik alümina kalıplar ve matrislerle nanoyapıların üretilmesi
Fabrication of nanostructures with porous anodic alumina templates and matrices for plasmonic sensor applications
HANDE ÇAVUŞ ARSLAN
Doktora
Türkçe
2017
Metalurji Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İBRAHİM YUSUFOĞLU
DR. MUSTAFA ASLAN
- Al/Al2O3/CdS MIS yapısının yapısal ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi
Electrical and structural investigation of Al/Al2O3/CdS MIS structure
MUZAFFER MOĞULKOÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MERİH SERİN
ÖĞR. GÖR. MURAT ÇALIŞKAN
- Plazmonik davranış gösteren metalo-dielektrik nano-kompozit filmlerin atomik kaplama metodu ile üretilmesi ve karakterizasyonu
Production of metalo-dielectric nano-composite films that show plasmonic behavior with atomic layer deposition method and characterization
SÜMEYYE GÜLEÇ ALASAĞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Metalurji MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NURHAN CANSEVER
- BIOINTERFACIAL CELL/PROTEIN–POLYMER INTERACTIONS INVESTIGATED BY QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE WITH DISSIPATION
Hücre/protein–polimer biyoarayüzündeki etkileşimlerin disipasyon izlemeli kuvars kristal mikroterazi ile incelenmesi
AYŞE BUSE ÖZDABAK SERT
Doktora
İngilizce
2023
Biyoteknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiMoleküler Biyoloji-Genetik ve Biyoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ABDULHALİM KILIÇ