Geri Dön

Sensör uygulamaları için farklı kalınlıklarda oluşturulan zno nano ince filmlerin Schottky engel diyotlar üzerine etkisi

The effect of different thicknesses zno nano thin films on Schottky barrier diodes for sensor applications

  1. Tez No: 755702
  2. Yazar: ATAKAN BEKAR
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. OSMAN ÇİÇEK
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2022
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Kastamonu Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 81

Özet

Tez çalışması kapsamında, Schottky engel diyotu olarak bilinen AuPd/n-GaAs ve Ag/n-GaAs metal-yarıiletken yapılara çeşitli kalınlıklarda ZnO oksit tabakası kaplandı. Ayrıca, AuPd ve Ag kontaklı olarak iki grup halinde üretilerek elektriksel özellikleri incelendi. n-GaAs alttaş üzerine RF kopartma yöntemi kullanılarak çeşitli kalınlıklarda (25, 50, 100, 175 ve 250 nm) ZnO ince film kaplandı. İki farklı Schottky kontağı oluşturuldu. İlk Schottky kontak olarak DC kopartma yöntemi kullanılarak AuPd Schottky ve omik kontaklar oluşturuldu. Diğer Schottky kontak için ise gümüş pasta damlatılarak Ag kontak oluşturuldu. ZnO filmin kalınlıkları SEM ölçümleri ile tespit edildi. Akım-gerilim (I-V) ölçümleri gerçekleştirildi ve Schottky diyot performansı incelendi. I-V ileri ve geri bölgelerini termiyonik emisyon teorisi, Ohm yasası, Cheung ve Cheung metodu ve modifiye edilmiş Norde metoduna göre analiz eden Labview tabanlı yazılım geliştirildi. Bu sayede doyma akımı (Io), idealite faktörü (n), potansiyel engel yüksekliği (ϕB), seri direnç (Rs) ve şönt direnci (Rsh) parametreleri hesaplandı. 25 nm ve 50 nm ZnO kaplı Schottky diyotların en iyi performansı gösterdiği gözlendi.

Özet (Çeviri)

In this study, various thicknesses of ZnO oxide layer were coated on AuPd/n-GaAs and Ag/n-GaAs metal-semiconductor structures known as Schottky barrier diodes. In addition, it was produced in two groups as AuPd and Ag contacts, and its electrical properties were investigated. ZnO thin films of various thicknesses (25, 50, 100, 175, and 250 nm) were coated on the n-GaAs substrate using the RF sputtering method. Two different Schottky contacts were formed. As the first Schottky contact, AuPd Schottky and ohmic contacts were formed by using DC sputtering method. For the other Schottky contact, Ag contact was formed by dropping silver paste. The thicknesses of the ZnO film were determined by SEM measurements. The current-voltage (I-V) measuments were carried out and Schottky diode performance was investigated. A Labview-based software was developed that analyzes the forward and reverse regions of I-V according to thermionic emission theory, Ohm's law, Cheung and Cheung method, and modified Norde method. Thus, the saturation current (I0), ideality factor (n), potential barrier height (ϕB), series resistance (RS), and shunt resistance (RSH) parameters were calculated. It was observed that 25 nm and 50 nm ZnO coated Schottky diodes performed the best performance.

Benzer Tezler

  1. Platin nanotüp üretimi, karakterizasyonu ve gaz algılama özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of platin nanotubes production, characterization and gas detection properties

    ZEYNEP BOYRAZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİnönü Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. NECMETTİN KILINÇ

  2. Plazmonik sensör uygulamaları için gözenekli anodik alümina kalıplar ve matrislerle nanoyapıların üretilmesi

    Fabrication of nanostructures with porous anodic alumina templates and matrices for plasmonic sensor applications

    HANDE ÇAVUŞ ARSLAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2017

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. İBRAHİM YUSUFOĞLU

    DR. MUSTAFA ASLAN

  3. Al/Al2O3/CdS MIS yapısının yapısal ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi

    Electrical and structural investigation of Al/Al2O3/CdS MIS structure

    MUZAFFER MOĞULKOÇ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MERİH SERİN

    ÖĞR. GÖR. MURAT ÇALIŞKAN

  4. Plazmonik davranış gösteren metalo-dielektrik nano-kompozit filmlerin atomik kaplama metodu ile üretilmesi ve karakterizasyonu

    Production of metalo-dielectric nano-composite films that show plasmonic behavior with atomic layer deposition method and characterization

    SÜMEYYE GÜLEÇ ALASAĞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Metalurji MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. NURHAN CANSEVER

  5. BIOINTERFACIAL CELL/PROTEIN–POLYMER INTERACTIONS INVESTIGATED BY QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE WITH DISSIPATION

    Hücre/protein–polimer biyoarayüzündeki etkileşimlerin disipasyon izlemeli kuvars kristal mikroterazi ile incelenmesi

    AYŞE BUSE ÖZDABAK SERT

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Biyoteknolojiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Moleküler Biyoloji-Genetik ve Biyoteknoloji Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ ABDULHALİM KILIÇ