Geri Dön

Mikrodalga plazma kimyasal buhar biriktirme sistemi ile tek kristalelmas büyütülmesi

Single crystal diamond growth with microwave plasma chemical vapour deposition system

PDF İndir

  1. Tez No: 879626
  2. Yazar: FATİH SÖNMEZGÜL
  3. Danışmanlar: PROF. DR. EMRE BİÇER, DR. ZEYNEP BAZ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Kimya Mühendisliği, Metalurji Mühendisliği, Physics and Physics Engineering, Chemical Engineering, Metallurgical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2024
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Sivas Bilim ve Teknoloji Üniversitesi
  10. Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Savunma Teknolojileri Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 68

Özet

Bu çalışmada homoepitaksiyel olarak kalın elmas filmlerinin mikrodalga kimyasal buhar biriktirme sistemiyle büyütülmesi amaçlanıldı. Farklı üretim yöntemleriyle üretilen Seed A ve Seed B alttaşlarının büyütmeye olan etkisi incelendi. Seed A alttaşı yarıiletken üretimiyle benzerlik gösteren, iyon implantasyonu ve yarı iletken üretiminde kullanılan ''lift off'' yöntemini kullanarak üretilmiş olup, elmas filmleri Seed A alttaşı kullanılarak daha yüksek kalitede üretildi ve diğer çalışmalarda Seed A tercih edildi. Tüm büyütmelerde yöntem olarak literatürde kullanılan ''mosaic growth'' yöntemi kullanıldı Ayrıca farklı CH4/H2 oranları kullanılarak elmas filmleri, sabit sıcaklık, basınç 135 Torr ve mikrodalga gücü 5700W olacak şekilde 400 saatlik büyütmeler yapıldı. Bu büyütmeler sonucunda elmas büyütme hızına akış oranı etkisi araştırıldı. Renk kalitesi açısından en uygun büyütme oranı %6 CH4/H2 oranı kullanılarak elde edildi. En hızlı büyütme oranı ise %10 CH4/H2 elde edilmesine rağmen, kristal yüzeyinde oldukça fazla polikristal elmas büyümesi gözlemlendi. Ek olarak bu çalışmada literatürde ilk kez molibden yüzeyi fiziksel buhar biriktirme (PVD) yöntemiyle AlTiN ve TiN kaplanarak elmas alttaşlar büyütüldü.

Özet (Çeviri)

In this study, the aim was to grow thick diamond films homoepitaxially using the microwave chemical vapor deposition system. The effect of different production methods on Seed A and Seed B substrates on the growth process was examined. Seed A substrates are produced using techniques akin to semiconductor production, involving ion implantation and the“lift-off”method. Diamond films grown using Seed A substrates exhibited higher quality, leading to a preference for Seed A in subsequent studies. The“mosaic growth”method, commonly used in the literature, was employed for all growth processes. Additionally, diamond films were grown using different CH4/H2 ratios, under constant conditions of temperature, pressure at 135 Torr, and microwave power at 5700W, for a duration of 400 hours. The impact of flow rate on the growth rate of diamonds was investigated as a result of these growth processes. The most suitable growth ratio in terms of color quality was achieved using a 6% CH4/H2 ratio. Although the fastest growth rate was attained with a 10% CH4/H2 ratio, a significant amount of polycrystalline diamond growth was observed on the crystal surface. Furthermore, for the first time in the literature, diamond substrates were grown by coating the molybdenum surface with AlTiN and TiN using the physical vapor deposition (PVD) method.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    426070

    Silika nanoparçacıklar kullanılarak süperhidrofobik yüzey üretimi

    Fabrication of superhydrophobic surface with silica nano particles

    SOMAİYEH JAFARPOUR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    KimyaAtatürk Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ERTUĞRUL

    YRD. DOÇ. DR. HADİ ZAREIE

  2. Tez No

    408956

    İskenderun Körfezi'ne (Kuzeydoğu Akdeniz) dökülen bazı tatlısu kaynaklarında sediment, seston ve bazı makroalg türlerinde ağır metal birikiminin belirlenmesi

    Determination of heavy metal bioaccumulation of sediment, seston and some macroalgae species of some freshwater resources flowing into the Gulf of Iskenderun

    BEŞİR AKMAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Deniz BilimleriMustafa Kemal Üniversitesi

    Su Ürünleri Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MELTEM EKEN

  3. Tez No

    429295

    Sodyum bor hidrürden hidrojen üretimi için yeni yöntemelerle uygun katalizörlerin üretimi ve geliştirilmesi

    Production and development of hydrogen of sodi̇um borohydri̇de accordance with the new method for the production of catalyst

    ÖMER ÖDEMİŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    KimyaBitlis Eren Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. MEHMET SAİT İZGİ

  4. Tez No

    318014

    Novel synthesis methods for high purity amorphous boron

    Yüksek saflıkta amorf bor üretimi için yeni yöntemler

    SELÇUK ACAR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2012

    KimyaKoç Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET SUAT SOMER

  5. Tez No

    814088

    Effects of cold plasma treatment on the quality andantioxidant properties of mixed fruit juice

    Soğuk plazma uygulamasının karışık meyve suyunun kaliteve antioksidan özelliklerine etkileri

    ECRE ŞAHİNOĞLU

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Gıda Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Gıda Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ CELALE KIRKIN GÖZÜKIRMIZI

Geri Dön