Saçtırma yöntemiyle üretilen Ag katkılı HfO2 ince filmlerin yapısal ve elektriksel özellikleri
Structural and electrical properties of Ag-doped HfO2 thin films produced by sputtering
- Tez No: 894432
- Danışmanlar: PROF. DR. ENİSE AYYILDIZ, DOÇ. DR. ABDULLAH AKKAYA
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: HfO2, magnetron saçtırma, XPS, XRD, AFM, TLM, SEM, ince film, katkı, HfO2, magnetron sputtering, XPS, XRD, AFM, TLM, SEM, thin film, doping
- Yıl: 2024
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Erciyes Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 68
Özet
Bu tez çalışmasında, saçtırma yöntemiyle SiO2 üzerine biriktirilen Ag katkılı HfO2 ince filmlerinin yapısal, elektriksel ve kimyasal özellikleri incelenmiştir. Katkı konsantrasyonları, Dc magnetron saçtırma gücü değiştirilerek kontrol edilmiştir. XRD analizi, HfO2'nin birincil fazının monoklinik kaldığını ve katkı nedeniyle kristal yapıda hafif değişiklikler olduğunu göstermiştir. XPS analizi HfO2 filminde Ag iyonlarının varlığını doğrulamıştır. SEM -EDX- AFM sonuçlarına göre katkılı HfO2 filmlerinin yüzey morfolojisinin pürüzsüz kaldığını ve daha yüksek katkı konsantrasyonları ile ilişkili pürüzlülükte hafif artışlar olduğunu göstermiştir. TLM ölçümleri Ag katkısının HfO2 filmlerinin elektrik iletkenliğini artırdığını göstermiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, the structural, electrical and chemical properties of Ag-doped HfO2 thin films deposited on SiO2 by sputtering were investigated. Doping concentrations were controlled by varying the Dc magnetron sputtering power. XRD analysis showed that the primary phase of HfO2 remained monoclinic with slight changes in the crystal structure due to doping. XPS analysis confirmed the presence of Ag ions in the HfO2 film. SEM-EDX- AFM results showed that the surface morphology of the doped HfO2 films remained smooth with slight increases in roughness associated with higher doping concentrations. TLM measurements showed that Ag doping increased the electrical conductivity of HfO2 films.
Benzer Tezler
- Metal katkılı TiO2 ve indirgenmiş grafen oksit temelli elektrotlar kullanılarak boya duyarlı güneş hücrelerinin üretilmesi, karakterizasyonu ve performanslarının incelenmesi
Production, characterization, and performance investigation of dye-sensitized solar cells using metal-doped TiO2 and reduced graphene oxi̇de-based electrodes
BERRAK ÇALIŞKAN
Doktora
Türkçe
2024
EnerjiAtatürk ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ENES ŞAYAN
DR. ÖĞR. ÜYESİ ERDAL İĞMAN
- Bükülebilir kalkopirit ince film güneş pilleri için kontak dizaynı ve optimizasyonu
Back contact and transparent electrode optimization for flexible chalcopyrite thin film solar cells
ESMA UĞUR
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Mühendislik BilimleriTOBB Ekonomi ve Teknoloji ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NURDAN DEMİRCİ SANKIR
- Metal/III-V yarıiletken n-GaAs metal doğrultucu kontakların numune sıcaklığına bağlı diyot karakteristiklerinin bazı metotlarla irdelenmesi
Investigation by means of some methods of temperature-dependent diode characteristics of metal/III-V semiconductor n-GaAs rectifying contacts
DURMUS ALİ ALDEMİR
Doktora
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ALİ KÖKCE
- Metal oksit ince filmlerin saçtırma tekniği ile üretimi karakterizasyonu ve gaz sensörü uygulamalarının araştırılması
Production and characterization of metal oxide thin films by sputtering technique and investigation of gas sensor applications
FATİH ŞENASLAN
Doktora
Türkçe
2022
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ÇELİK
- Nikel sülfür tabanlı hibrit süperkapasitör aygıt geliştirilmesi
Development of hybrid nickel sulfide-based supercapacitor device
OZAN ÖZTÜRK
Doktora
Türkçe
2024
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EMRE GÜR