Geri Dön

Ion implementation in plasmas with diminishing positive column

Pozitif sütunu yok olan plazmalarda iyon ekimi

  1. Tez No: 118989
  2. Yazar: SEMA AKMAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. ORDAL DEMOKAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: DC glow discharge, plasma source ion implantation. iii
  7. Yıl: 2002
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 40

Özet

oz pozitif sütunu yok olan plazmalarda iyon ekimi Akman, Sema Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Ordal Demokan Temmuz 2002, 32 sayfa. Bu çalışmada, plazma akımı, plazma voltajı ve Langmuir sonda akımı devamlı monitör edilirken, bir doğru akım boşalmasındaki anot-katot aralığı elle Child-Langmuir uzunluğundan daha küçük değerlere düşürüldü. İyon kılıfının kıyısı anoda değer değmez akımın büyük bir tepe gerçekleştirdiği gözlenir, daha sonra belirli bir zaman aralığı için ihmal edilebilir değerlere kadar düşer, bundan sonra, bu döngü periodik olarak kendini tekrarlamaya başlar. Bütün üç niceliğin davranışlarını birbirleriyle tutarlı şekilde belirlemek için bir model tanımlanıldı. Deney farklı anot-katot uzaklıklarıyla gerçekleştirildi ve iyon ekimi yöntemlerini ilgilendiren gözlemlerin doğruluğu tartışıldı. Anahtar Kelimeler : Doğru Akım boşalımları, plazma kaynaklı iyon ekimi. iv

Özet (Çeviri)

ABSTRACT ION IMPLANTATION IN PLASMAS WITH DIMINISHING POSITIVE COLUMN Akman, Sema M.S.,Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Ordal Demokan July 2002, 32 pages. In this work, the anode-cathode distance in a direct current glow discharge is reduced manually to values smaller than the Child-Langmuir extent, while the discharge current, the discharge voltage and the Langmuir probe current are monitored continuously. The discharge current is observed to develop a large peak as soon as the sheath edge contacts with the anode, then decays to negligible values for a certain time interval, after which, this cycle starts repeating itself periodically. A model is described to interpret the behavior of all three quantities self consistently. The experiment is performed with different anode-cathode distances and the implications of the observations regarding ion implantation processes are discussed.

Benzer Tezler

  1. Manyetize plazmalardaki dalga yayılımına indirgeyici pertürbasyon teorisinin uygulanması

    Application of reductive perturbation theory to wave-propagation in magnetized plasmas

    ÖZGÜR GÜLTEKİN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2017

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAŞİM MUTUŞ

    DR. ÖZGÜR D. GÜRCAN

  2. Implementation of novel carbon-based nanomaterials for high-performance gas sensors

    Yüksek performanslı gaz sensörlerinde yenilikçi karbon bazlı nanomalzemelerin uygulanması

    MOHAMAD ANAS HEJAZI

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. LEVENT TRABZON

  3. Production of hydrogenated nanocrystalline silicon based thin film transistor

    Hidrojenlenmiş nanokristal silisyum tabanlı ince film transistör üretimi

    TAMILA ALIYEVA

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Fizik Bölümü

    DOÇ. DR. İSMAİL ATILGAN

  4. Nitrür esaslı seramik ince film kaplamaların deniz suyu ortamındaki tribokorozyon davranışlarının incelenmesi

    Investigation of tribocorrosion behaviour of nitride based ceramic thin film coatings in sea water

    SABRİ ALKAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    DenizcilikBartın Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA SABRİ GÖK

  5. Co nano parçacıklar içeren kompozit yapılı BaTiO3 ince filmlerde manyetoelektrik özelliklerin incelenmesi

    Investigations of magnetoelectrical properties of BaTiO3 composite thin films with Co nanoparticles

    UMUT ACAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. FAİK MİKAİLZADE