Ion implementation in plasmas with diminishing positive column
Pozitif sütunu yok olan plazmalarda iyon ekimi
- Tez No: 118989
- Danışmanlar: PROF. DR. ORDAL DEMOKAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: DC glow discharge, plasma source ion implantation. iii
- Yıl: 2002
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 40
Özet
oz pozitif sütunu yok olan plazmalarda iyon ekimi Akman, Sema Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Ordal Demokan Temmuz 2002, 32 sayfa. Bu çalışmada, plazma akımı, plazma voltajı ve Langmuir sonda akımı devamlı monitör edilirken, bir doğru akım boşalmasındaki anot-katot aralığı elle Child-Langmuir uzunluğundan daha küçük değerlere düşürüldü. İyon kılıfının kıyısı anoda değer değmez akımın büyük bir tepe gerçekleştirdiği gözlenir, daha sonra belirli bir zaman aralığı için ihmal edilebilir değerlere kadar düşer, bundan sonra, bu döngü periodik olarak kendini tekrarlamaya başlar. Bütün üç niceliğin davranışlarını birbirleriyle tutarlı şekilde belirlemek için bir model tanımlanıldı. Deney farklı anot-katot uzaklıklarıyla gerçekleştirildi ve iyon ekimi yöntemlerini ilgilendiren gözlemlerin doğruluğu tartışıldı. Anahtar Kelimeler : Doğru Akım boşalımları, plazma kaynaklı iyon ekimi. iv
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ION IMPLANTATION IN PLASMAS WITH DIMINISHING POSITIVE COLUMN Akman, Sema M.S.,Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Ordal Demokan July 2002, 32 pages. In this work, the anode-cathode distance in a direct current glow discharge is reduced manually to values smaller than the Child-Langmuir extent, while the discharge current, the discharge voltage and the Langmuir probe current are monitored continuously. The discharge current is observed to develop a large peak as soon as the sheath edge contacts with the anode, then decays to negligible values for a certain time interval, after which, this cycle starts repeating itself periodically. A model is described to interpret the behavior of all three quantities self consistently. The experiment is performed with different anode-cathode distances and the implications of the observations regarding ion implantation processes are discussed.
Benzer Tezler
- Manyetize plazmalardaki dalga yayılımına indirgeyici pertürbasyon teorisinin uygulanması
Application of reductive perturbation theory to wave-propagation in magnetized plasmas
ÖZGÜR GÜLTEKİN
Doktora
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAŞİM MUTUŞ
DR. ÖZGÜR D. GÜRCAN
- Implementation of novel carbon-based nanomaterials for high-performance gas sensors
Yüksek performanslı gaz sensörlerinde yenilikçi karbon bazlı nanomalzemelerin uygulanması
MOHAMAD ANAS HEJAZI
Doktora
İngilizce
2024
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LEVENT TRABZON
- Production of hydrogenated nanocrystalline silicon based thin film transistor
Hidrojenlenmiş nanokristal silisyum tabanlı ince film transistör üretimi
TAMILA ALIYEVA
Doktora
İngilizce
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Bölümü
DOÇ. DR. İSMAİL ATILGAN
- Nitrür esaslı seramik ince film kaplamaların deniz suyu ortamındaki tribokorozyon davranışlarının incelenmesi
Investigation of tribocorrosion behaviour of nitride based ceramic thin film coatings in sea water
SABRİ ALKAN
Doktora
Türkçe
2019
DenizcilikBartın ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA SABRİ GÖK
- Co nano parçacıklar içeren kompozit yapılı BaTiO3 ince filmlerde manyetoelektrik özelliklerin incelenmesi
Investigations of magnetoelectrical properties of BaTiO3 composite thin films with Co nanoparticles
UMUT ACAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FAİK MİKAİLZADE