Geri Dön

Development of a Micro-fabrication process simulator for Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

Mikro-Elektro-Mekanik-Sistemler için bir Mikro-üretim simülatörünün geliştirilmesi

  1. Tez No: 166940
  2. Yazar: ALPER YILDIRIM
  3. Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. MELİK DÖLEN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Islak kazıma, Yönbağımsız Kazıma, Katkılama, Hücresel Otomat, Mikro-üretim Benzetimlenmesi, Malzeme Kaplama, Kuru Kazıma, Derin tepkin İyon Kazıması, Wet Etching, Anisotropic Etching, Doping, Cellular Automata, Micro-fabrication simulation, Material Deposition, Isotropic Etching, Dry Etching, Deep Reactive Ion Etching IV
  7. Yıl: 2005
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 156

Özet

oz MİKRO-ELEKTRO-MEKANİK-SİSTEMLER İÇİN BİR MİKRO-ÜRETİM SİMÜLATÖRÜNÜN GELİŞTİRİLMESİ Yıldırım, Alper Yüksek Lisans, Makine Mühendisliği Bölümü Tez Yöneticisi: Y. Doç.. Dr. Melik Dölen Aralık 2005, 140 sayfa Bu çalışmanın amacı mikro-fabrikasyon proseslerinin sonuçlarım önceden sağlayarak Mikro-Elektro-Mekanik-Sistennerinin dizaynım hızlandıracak bir bilgisayar programı tasarlamaktır. Silikon plakalarının yönbağımlı kazınma ve yönbağımsız kazınmaları bu ortamda benzetimlenecektir. Benzer olarak, katkılama ve kaplama gibi ekleme yöntemleri de bir hücresel otomat bazlı algoritma ile OpenGL kütüphanesi fonksiyonları kullanılarak, benzetimlenebilecektir. Entegre bir maske dizayn editörüne sahip program ile kompleks maskeler tasarlanabilir ve sonuçlar uzamsal konumları ve bulundukları düzlemlere göre hücresel otomat hücreleri olarak ekranda gösterilir. Sonuçta bulunan kazınmış şekiller deneysel sonuçlarla nicelik ve nitelik bakımından uzlaşmaktadır.

Özet (Çeviri)

ABSTRACT DEVELOPMENT OF A MICRO-FABRICATION PROCESS SIMULATOR FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) Yıldırım, Alper M.S, Department of Mechanical Engineering Supervisor: Asst. Prof. Dr. Melik Dölen December 2005, 140 pages The aim of this study is to devise a computer simulation tool, which will speed up the design of Micro-Electro-Mechanical Systems by providing the results of the micro-fabrication processes in advance. Anisotropic etching along with isotropic etching of silicon wafers are to be simulated in this environment. Similarly, additive processes like doping and material deposition could be simulated by means of a Cellular Automata based algorithm along with the use of OpenGL library functions. Equipped with an integrated mask design editor, complex mask patterns can be created by the software and the results are displayed by the Cellular Automata cells based on their spatial location and plane. The resultant etched shapes are in agreement with the experimental results both qualitatively and quantitatively.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    153601

    MEMS accelerometers and gyroscopes for inertial measurement units

    Ataletsel ölçüm birimi için MEMS ivmeölçerler ve dönüölçerler

    MEHMET AKİF ERİŞMİŞ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2004

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TAYFUN AKIN

  2. Tez No

    541578

    Elektrokaplama ile MEMS yapılarının üretimi

    Fabrication of MEMS structures using electroplating

    YASEMEN İNCE

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiNecmettin Erbakan Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MEHMET AKİF ERİŞMİŞ

  3. Tez No

    711508

    Design, analysis and production of temperature sensor using microstereolithography technique

    Mikrostreolitografi tekniği kullanılarak sıcaklık sensörünün tasarımı, analizi ve üretimi

    TAYYAB WAQAR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2022

    Mekatronik MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SEZGİN ERSOY

  4. Tez No

    695626

    Development of small size uncooled infrared microbolometer pixel

    Minyatür soğutmasız kızılötesi mikrobolometre pikseli geliştirilmesi

    BARAN UTKU TEKİN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2021

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TAYFUN AKIN

    PROF. DR. RAŞİT TURAN

  5. Tez No

    411775

    The transformation of higher education by means of techno-parks: Case of Turkey

    Yüksek öğretimin dönüşümü: Teknoparklar-Türkiye örneği

    GAMZE SART

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Eğitim ve ÖğretimBoğaziçi Üniversitesi

    Eğitim Bilimleri Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. FATMA GÖK

Geri Dön