Theoretical investigation and design for x-ray lasers and their lithographic application
X-ışını lazerleri ve taş baskı uygulamasının kuramsal incelenmesi ve tasarımı
- Tez No: 176783
- Danışmanlar: PROF. DR. SİNAN K. BİLİKMEN, YRD. DOÇ. DR. ELİF KAÇAR
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2008
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 132
Özet
Geliş açılı pompalama (grazing incidence pumping), x-ışını lazeri üretmek için kullanılan yöntemlerden birisidir ve uç morötesi taş baskı (extreme ultravioolet lithography) ise, 13,5 nm merkezli ve %2 bant aralıklı yumuşak x-ışını kullanarak taş baskı yapılan bir yöntemdir. Bu çalışmada Ti:Safir lazeri tarafından oluşturulan nikel benzeri molibdenyum ve neon benzeri titanyum x-ışını ortamları, EHYBRID ve bundan elde edilen verileri kulanarak işlem yapan bir kodun çalıştırılması ile modellenmiştir. Gereken atomik veriler Cowan kodu çalıştırılarak elde edilmiştir. Bunun yanı sıra Ti:Safir lazer sisteminin yükseltilmesi için gerekli zamanlama mekanizması kuramsal olarak türetilmiştir. Sonrasında, Uç morötesi taş baskı için gereken yumuşak x-ışını üretmek için, Sn XII ve Sn XIII iyonlarının 13,5 nm merkezindeki %2'lik bant aralığında kalan ışınımı EHYBRID kullanarak, 1064 nm dalga boyunda, 1 J enerjili ve 6 ns atım süreli bir lazer için modellenmiştir. Modellemede kullanılan şiddet aralığı 1-5 x 1012 W/cm2 dir. Farklı elektron sıcaklıkları için iyon oranları ile çizgi şiddetleri çarpışmalı ışımalı kod olan NeF kodu ile hesaplanmıştır.
Özet (Çeviri)
Grazing incidence pumping (GRIP) is a scheme to produce x-ray lasers and extreme ultraviolet lithography is a means of lithographic production which requires soft x-rays with a bandwidth of 2% centred at 13,5 nm. In this work firstly a grazing incidence pumping of Ni-like Mo and Ne-like Ti x-ray laser media were simulated by using EHYBRID and a post-processor code coupled to it. The required atomic data were obtained from the Cowan code. Besides, the timing issue needed for amplification purpose in a Ti:Sapphire laser system has been described theoretically. Afterwards, in order to produce soft x-ray lasers for extreme ultraviolet lithographic applications, emission of soft x-rays in the 2% bandwidth centred at 13.5 nm emitted from Sn XII and Sn XIII ions were simulated by using the EHYBRID code for a laser operating at 1064 nm with 1 J of pulse energy and 6 ns of pulse duration. The intensity range that has been investigated is between 1-5 x 1012 W/cm2. Ion fractions of tin ions and line intensities corresponding to different electron temperatures were calculated by using the collisional radiative code NeF.
Benzer Tezler
- 4-metoksi-piridin-2-karboksilik asit ligandı içeren geçiş metal komplekslerinin yapısal spektroskopik ve statik/frekansa bağlı nlo özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structural, spektroskopic and static/frequency dependent nlo properti̇es of transition metal complexes containing 4-methoxy-pyri̇di̇ne-2-carboxylic acid ligand
ESRANUR DERİN
Yüksek Lisans
Türkçe
2025
Fizik ve Fizik MühendisliğiSakarya ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖMER TAMER
- Piridin-2-karboksilik asit türevlerini içeren yeni metal komplekslerinin sentezi, yapısal spektroskopik ve doğrusal olmayan optik özelliklerinin araştırılması
Synthesis, structural spectroscopic and nonlinear optical properties of new metallic complexes containing pyridine-2-carboxylic acid derivatives
MERVE ŞİMŞEK
Doktora
Türkçe
2025
Fizik ve Fizik MühendisliğiSakarya ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖMER TAMER
- Elektrik ark ocağı çelikhane cürufunun karayolu esnek üstyapı tabakalarında kullanımının ve karışım performansının araştırılması
Investigation of electric arc furnace slag utilization in flexible highway layers and mixture performance
FATİH YONAR
Doktora
Türkçe
2017
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik Üniversitesiİnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MURAT ERGÜN
PROF. DR. HÜSEYİN ATİLLA DİKBAŞ
- Termik santrallerin döner tip hava ısıtıcılarında kullanılan ısı değiştirici plakalar için emaye kaplama optimizasyonu
Optimization of enamel coatings on heat exchanger plates used in rotary air preheaters of thermal power plants
ERDEM GÜNGÖR
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU
DOÇ. DR. ERDEM ATAR
- Enhanced photodetectıon ın II-VI and ternary chalcogenıde thın fılms vıa plasmonıc nanostructures and mıcrostraın engıneerıng
Plazmonik nanoyapılar ve mikrogerinim mühendisliği ile II-VI ve üçlü kalkojenit ince filmlerde geliştirilmiş fotodedeksiyon
WALID BELAID
Doktora
İngilizce
2025
Fizik ve Fizik MühendisliğiSelçuk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMDİ ŞÜKÜR KILIÇ
DOÇ. DR. YASİN RAMAZAN EKER