Theoretical investigation and design for x-ray lasers and their lithographic application
X-ışını lazerleri ve taş baskı uygulamasının kuramsal incelenmesi ve tasarımı
- Tez No: 176783
- Danışmanlar: PROF. DR. SİNAN K. BİLİKMEN, YRD. DOÇ. DR. ELİF KAÇAR
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2008
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 132
Özet
Geliş açılı pompalama (grazing incidence pumping), x-ışını lazeri üretmek için kullanılan yöntemlerden birisidir ve uç morötesi taş baskı (extreme ultravioolet lithography) ise, 13,5 nm merkezli ve %2 bant aralıklı yumuşak x-ışını kullanarak taş baskı yapılan bir yöntemdir. Bu çalışmada Ti:Safir lazeri tarafından oluşturulan nikel benzeri molibdenyum ve neon benzeri titanyum x-ışını ortamları, EHYBRID ve bundan elde edilen verileri kulanarak işlem yapan bir kodun çalıştırılması ile modellenmiştir. Gereken atomik veriler Cowan kodu çalıştırılarak elde edilmiştir. Bunun yanı sıra Ti:Safir lazer sisteminin yükseltilmesi için gerekli zamanlama mekanizması kuramsal olarak türetilmiştir. Sonrasında, Uç morötesi taş baskı için gereken yumuşak x-ışını üretmek için, Sn XII ve Sn XIII iyonlarının 13,5 nm merkezindeki %2'lik bant aralığında kalan ışınımı EHYBRID kullanarak, 1064 nm dalga boyunda, 1 J enerjili ve 6 ns atım süreli bir lazer için modellenmiştir. Modellemede kullanılan şiddet aralığı 1-5 x 1012 W/cm2 dir. Farklı elektron sıcaklıkları için iyon oranları ile çizgi şiddetleri çarpışmalı ışımalı kod olan NeF kodu ile hesaplanmıştır.
Özet (Çeviri)
Grazing incidence pumping (GRIP) is a scheme to produce x-ray lasers and extreme ultraviolet lithography is a means of lithographic production which requires soft x-rays with a bandwidth of 2% centred at 13,5 nm. In this work firstly a grazing incidence pumping of Ni-like Mo and Ne-like Ti x-ray laser media were simulated by using EHYBRID and a post-processor code coupled to it. The required atomic data were obtained from the Cowan code. Besides, the timing issue needed for amplification purpose in a Ti:Sapphire laser system has been described theoretically. Afterwards, in order to produce soft x-ray lasers for extreme ultraviolet lithographic applications, emission of soft x-rays in the 2% bandwidth centred at 13.5 nm emitted from Sn XII and Sn XIII ions were simulated by using the EHYBRID code for a laser operating at 1064 nm with 1 J of pulse energy and 6 ns of pulse duration. The intensity range that has been investigated is between 1-5 x 1012 W/cm2. Ion fractions of tin ions and line intensities corresponding to different electron temperatures were calculated by using the collisional radiative code NeF.
Benzer Tezler
- Elektrik ark ocağı çelikhane cürufunun karayolu esnek üstyapı tabakalarında kullanımının ve karışım performansının araştırılması
Investigation of electric arc furnace slag utilization in flexible highway layers and mixture performance
FATİH YONAR
Doktora
Türkçe
2017
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik Üniversitesiİnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MURAT ERGÜN
PROF. DR. HÜSEYİN ATİLLA DİKBAŞ
- Termik santrallerin döner tip hava ısıtıcılarında kullanılan ısı değiştirici plakalar için emaye kaplama optimizasyonu
Optimization of enamel coatings on heat exchanger plates used in rotary air preheaters of thermal power plants
ERDEM GÜNGÖR
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU
DOÇ. DR. ERDEM ATAR
- Reduced hardware complexity for viscosity measurements by optical knife-edge detection on micropillar-based microfluidic chips
Mikrosütun tabanlı mikroakışkan çipler üzerindeki optik bıçak kenarı tespiti ile viskozite ölçümleri için azaltılmış donanım karmaşıklığı
EZGİ ŞENTÜRK
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ AHMET CAN ERTEN
DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU
- Fantom malzemelerinin doku denkliğinin deneysel ve teorik olarak incelenmesi
Experimental and theoretical investigation of tissue equivalency for phantom materials
İREM ERK
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Radyoloji ve Nükleer Tıpİstanbul Teknik ÜniversitesiNükleer Araştırmalar Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NESRİN ALTINSOY
- HIV-1 proteaz enziminin inhibitörleriyle etkileşimi esnasındaki konformasyonel değişikliklerin teorik incelemesi ve yeni analogların tasarımı
Theoretical investigation on conformational changes of HIV-1 protease enzyme during interaction with its inhibitors and design of new analogues
MERVE SENEM AVAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Eczacılık ve FarmakolojiHacettepe ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. VİLDAN ADAR