Geri Dön

Katodik ark PVD yöntemiyle ZrN ve Zr/ZrN kaplamalarının biriktirilmesi

Deposition of ZrN and Zr/ZrN coatings by the cathodic arc PVD method

  1. Tez No: 198967
  2. Yazar: MURAT ÇALIŞKAN
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. NURHAN CANSEVER
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: nce nitrür film kaplamalar, fiziksel buhar biriktirme (PVD), kimyasalbuhar biriktirme (CVD), iyon kaplama, ZrN
  7. Yıl: 2005
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Yıldız Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 103

Özet

Günümüzde artan rekabet ortamının beraberinde getirdiği daha düşük maliyetli ve üstünperformanslı üretim yapabilme hedefi ve azalan hammadde kaynaklarının paralelinde yüzeyteknolojileri diye adlandırılan malzemenin bütünü yerine dış kısmında yapılan geliştirmelerikapsayan alternatif prosesler git gide önemini arttırmıştır. Geleneksel yöntemlerin ötesindenanometre boyutunda kaplamaların söz konusu olduğu üstün performanslı kaplamalar genelolarak ince film kaplamalar adı altında toplanmaktadır. 1990'lı yıllardan itibaren önemikatlanarak artan bu tipte kaplamalar içerisinde de en geniş kullanıma sahip olanlar ince nitrürfilm kaplamalar adı verilen alt gruptur.Bu çalışmada yüzey teknolojileri ve ince film kaplama olgularından bahsedildikten sonra incenitrür film kaplamaların göreceli en fazla kullanım görenlerinden kısaca bahsedilmiştir.Sektörler bazında ince nitrür filmlerin uygulama alanları ve genişleyen pazar hacimlerindensöz edilmiştir. Son olarak ise ince filmlerin başlıca üretim yöntemi olan buhar biriktirmeteknikleri anlatılarak deneysel çalışmalara geçilmiştir.Deneysel çalışmalarda katodik ark fiziksel buhar biriktirme yöntemi kullanılarak ZrN veZr/ZrN kaplamalar yüksek hız çeliği ve düşük karbonlu çelik alt malzemeler üzerinebiriktirilmiştir. Yapılan kaplamaların X-ışını difraksiyon analizleri gerçekleştirilerek yapıdakifazlar ve tercihli yönlenmeleri belirlenmiştir. Yine ince film kaplamalarda üstün özelliklerinsağlanmasında kritik noktalardan biri olan filmin alt malzemeye yapışma kabiliyetinin tayiniiçin Rockwell-C indentasyon testi yapılarak filmlerin yapışma özellikleri belirlenmiş ve ilgilidiğer çalışmalarla karşılaştırmalar yapılmıştır. Son olarak kaplama kalınlıkları tespit edilerekkaplama kesit görüntüleri tarama elektron mikroskobunda incelenmiştir.

Özet (Çeviri)

In present time, in the name of the greater challenge in marketing, the goal of manufacturinglow cost materials and efficient productivity, and in the parallel of reducing raw materialsources, alternative processes, which are called surface technologies, that include theimprovements on the outer part of the material rather than the whole material, get greatimportance day by day. Beyond the traditional methods, generally nano-meter scaled,supreme performance coatings studied under the topic of thin film coatings. Thin nitride filmcoatings which are the sub-family of this type coatings have increased their importance afternineteen nineties.In this study we mentioned briefly the most common used thin nitride film coatings after thefacts of surface technologies and thin film coatings were disclosed. Thin nitride filmsapplication fields and expended market size mentioned that is based on sectors. Lastly, thevapor deposition technics which are the major processing methods of the thin film coatingsdescribed and then experimental studies are explained.In experimental studies, ZrN and Zr/ZrN coatings are deposited on to high speed steel andlow carboned steel sub-materials by using cathodic arc physical vapor deposition technic. TheX-ray diffraction analysies of the coatings performed and the phases of the structure andpreferred orientations are determined. To reveal the adhesion ability of the film onto sub-materials, which is one of the critic points of understanding the thin nitride films? supremeproperties, Rockwell-C indentation test is applied to films and comparisons with the otherrelated studies have beeen made. At last the coating thicknesses are calculated and the fracturesurfaces of the thin film coatings are examined in scanning elcectron microscobe.

Benzer Tezler

  1. Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle nanokompozit Mo-N-Cu kaplamaların üretimi ve karakterizasyonu

    Production of Mo-N-Cu nanocomposite coatings by arc physical vapour deposition technique and their characterization

    OSMAN LEVENT ERYILMAZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2001

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN

  2. AZ91 magnezyum alaşımının aşınma davranışının farklı malzemelerle deneysel karşılaştırılması ve üzerine yapılan ark PVD kaplamaların korozyon dayanımına etkisi

    Comparing the wear behaviour of magnesium alloy to different materials and investigation effect of arc PVD coating onto AZ91 magnesium alloy on corrosion strenght

    EMRE AYKAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Makine MühendisliğiSüleyman Demirel Üniversitesi

    İmalat Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. BEKİR YALÇIN

  3. Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle ZrN kaplamaların farklı bias voltajlarında üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterisation of ZrN coatings by arc physical vapour deposition technique under different biasing voltages

    OĞUZHAN GÜNDÜZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2004

    Metalurji MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Metal Eğitimi Ana Bilim Dalı

    PROF.DR. SERDAR SALMAN

  4. Mo-N kaplamaların ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterisation of Mo-N coatings by arc physical vapour deposition technique

    M. KÜRŞAT KAZMANLI

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    1999

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    PROF.DR. MUSTAFA ÜRGEN

  5. Ark PVD yöntemiyle tin kaplanmış kesici takımların karakterizasyonu ve performanslarının incelenmesi

    Başlık çevirisi yok

    M.CENK TÜRKÜZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1997

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. E. SABRİ KAYALI