Design and fabrication of micromachined radio-frequency cavity resonators
Mikro işlenmiş radyo-frekans kovuk çınlayıcıların tasarımı ve üretimi
- Tez No: 202557
- Danışmanlar: DR. TARIK REYHAN, PROF.DR. RECAİ ELLİALTIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: RF-MEMS, Cavity Resonators, Cavity Inductors, MIM Capacitors, Quality Factor i
- Yıl: 2006
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 98
Özet
Özet yok.
Özet (Çeviri)
Resonators are used almost in every wireless communications applications and play an important role in the performance of these systems. At radio frequencies, for high performance applications, realization of high-Q resonators is required. Furthermore, in the near future, integration of RF resonators with rest of the system is intended. This thesis describes the design and fabrication of a type of radio-frequency MEMS cavity resonator operating in the frequency range of 2-3 GHz. The fabricated resonators are small in size so that they allow the inte- gration of a whole system on a single-chip. The cavity is realized by selectively removing (etching) silicon substrate using standard MEMS techniques. The res- onator is based on creating a low-loss inductor by enclosing the inductor in a metal-coated cavity and then resonating it with either a ¯xed or tunable high-Q capacitor. In this thesis, formulas for the inductance and the Q-factor of the cavity are derived and a number of resonators are fabricated and measured. The Q-factors of the measured cavities were found to be in the range going up to 25- 30. The obtained results are promising and showed that on-chip resonators with Q-factors higher than 30 can be realized based on this design and fabrication technique at this frequency range.
Benzer Tezler
- Designing, fabrication and post-fabrication characterization of half-frequency driven 16 x 16 waterborne transmit cmut array
Yarı frekansta sürülen sualtı 16 x 16 elemanlı cmut dızının dızaynı, fabrıkasyonu ve fabrıkasyon sonrası karakterızasyonu
YUSUPH ABUBAKAR ABHOO
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
Prof. Dr. HAYRETTİN KÖYMEN
- Mems gyroscopes with capacitive enhancement
Kapasitif iyileştirilmiş mems dönüölçerler
EMRE ERSOY
Yüksek Lisans
İngilizce
2022
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. KIVANÇ AZGIN
- A fully-differential bulk-micromachined MEMS accelerometer with interdigitated fingers
İçiçe geçmiş parmaklar ile tam-diferensiyel gövde-mikroişlenmiş MEMS ivmeölçer
OSMAN AYDIN
Yüksek Lisans
İngilizce
2012
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü
PROF. DR. TAYFUN AKIN
- Silicion micromachined capacitive pressure sensors for industrial and biomedical applications
Silisyum mikroişleme yöntemi ile üretilen endüstriyel ve biomedikal uygulamalar için kapasite basınç sensörleri
ORHAN ŞEVKET AKAR
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TAYFUN AKIN