Geri Dön

Moleküler demet epitaksi ile üretilmiş pd-zr ince filmlerin karakterizasyonu

Characterization of deposited Pd-Zr thin films by moleculer beam epitaxy

  1. Tez No: 213996
  2. Yazar: ELİF TAŞTABAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. EŞREF AVCI
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Metalurji Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Metallurgical Engineering, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2008
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Sakarya Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü
  12. Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 105

Özet

Moleküler demet epitaksi (MBE) yöntemi özellikle yarıiletken malzemelerin üretiminde kullanılan bir yöntemdir. MBE tekniği farklı bileşimlerin ve alaşımların epitaksiyel olarak büyümesine imkan tanır.Bu çalışmada Pd-Zr alaşımlarının MBE yöntemi ile ince film şeklinde üretimi sağlanmış ve ısıl işlemlerine bağlı olarak tane büyümesi faz değişimleri incelenmiştir. Pd-Zr alaşımı Si wafer üzerine MBE yöntemiyle biriktirilmiştir. Pd80-20Zr, Pd81-19Zr, Pd83-17Zr ve Pd85-15Zr ince filmleri 60°C'de 1 saat ön ısıtılmış, sonra 400°C ve 800°C'de ısıl işleme tabi tutulmuştur.Isıl işlem öncesinde ve sonrasında elde edilmiş ince filmlerin karakterizasyon işlemleri taramalı elektron mikroskobu (SEM), X-ışınları difraktometresi (XRD) ve EDX analizi kullanılarak gerçekleştirilmiştir.

Özet (Çeviri)

Molecular beam epitaxy is also used for the deposition of some types of semiconductors. MBE (molecular beam epitaxy) techniques allow the epitaxial growth of different compounds.In this study, thin films of Pd-Zr alloys have been manufactured by MBE techniques and the grain growth and phase changes have been analyzed due to the heat treatment processes. The thin films of Pd-Zr alloy have been deposited onto Si wafers. After pre heating of Pd80-20Zr, Pd81-19Zr, Pd83-17Zr and Pd85-15Zr thin films at 60°C for 1 hour, heat treatment processes we made at 400°C and 800°C for 24 hours.The characterization of the manufactured thin films before and after heat treatment processes have been performed by scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffractometer (XRD) and EDX analyses.

Benzer Tezler

  1. Comparison of alloyed and non-alloyed ohmic contacts in GaN/algan HEMT for Ka band radar applications

    Ka bant radar uygulamaları için GaN / algan HEMT yapılarında alaşımlı ve alaşımsız ohmik kontakların karşılaştırılması

    HÜSEYİN ÇAKMAK

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MUHSİNE BİLGE İMER

    DOÇ. DR. ALPAN BEK

  2. Değişik yöntemlerle elde edilen CdS'ün optik ve elektriksel özelliklerinin karşılaştırılması

    Comparison of optical and electrical properties of CdS obtained with different methods

    HALİL HARUN SÜVÜT

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2005

    Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ.DR. M. CELALETTİN BAYKUL

  3. IngGaAs kızılötesi fotodedektör üretimi ve karakterizasyonu

    The fabrication and characterization of InGaAs infrared photodetector

    TARIK ASAR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK

  4. Seyreltik azotlu p-n eklem yapılarının MBE tekniği ile büyütülmesi ve karakterizasyonu

    Dilute nitride p-n junctions grown by MBE technique and their characterizations

    TUNÇ SERTEL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK

  5. III-V grubu uzay kalifiye güneş hücrelerinin geliştirilmesi

    Development of III-V group space qualified solar cells

    TUNÇ SERTEL

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK