Plazma yardımlı kimyasal buhar depolama yöntemiyle üretilen hidrojenli amorf silisyum ince filmlerde karbon ve bor atomlarının elektriksel ve optik özelliklere etkileri
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 28597
- Danışmanlar: PROF. DR. ŞEVKET ERK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 1993
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Yıldız Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 101
Özet
ÖZET Bu çalışmada, hidrojenli saf ve p tipi amorf silisyum (a-Sİ:H), ile amorf silisyum karbür (a-S!C:H) ince filmler Plazma Yardımlı Kimyasal Buhar Depolama (PECVD) yöntemiyle elde edilmiş ve metan ile diboran gazlarının değişik oranlarına göre filmlerdeki elektriksel ve optik özellikler incelenmiştir. Saf durumdayken karanlık öziletkenliği 3,5.10“' Q'1cm”' ve aktivasyon enerjisi 0,84 eV olarak belirlenen sözkonusu filmlerin, bor ve karbon atomlarının ilavesiyle bu özelliklerinin değişimleri elektriksel deneylerle incelenmiştir. Diğer yandan, saf haldeyken kırılma indisi 3,4, kalınlığı 1000 nın ve optik band aralığı 1,721 eV olarak elde edilen filmlerin bu özelliklerindeki değişimler yine metan ve diboran gaz oranlarına göre 400-1100 nm aralığında incelenerek elde edilen sonuçlar değerlendirilmiştir. Ayrıca, saf hidrojenli amorf silisyum filmlerde 10 mW/cm2'lik beyaz ışık altında Staebler-Wronskl olayı da araştırılmıştır. Bu çalışmada, ince film amorf silisyum güneş pillerinin elde edilmesinde bir basamak olan p tipi amorf silisyum karbür tabakaların optimizasyonu yapılarak, bu konuda daha ileri çalışmalara olan gereksinim belirtilmiştir.
Özet (Çeviri)
SUMMARY In the present study, Intrinsic and p type hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and amorphous silicon carbide (a-SİC:H) thin films were produced by“Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition”(PECVD) technique and electrical as well as optical properties, due to altered ratios of methane and diborane gasses were investigated. With the addition of boron and carbon atoms, the variations In dark conductivity and activation energy of the above mentioned films, which are 3,5.10“' Q'1 cm”1 and 0,84 eV respectively in the Intrinsic case, are examined by electrical measurements. Furthermore, films with refractive index 3,4, thickness 1000 nm, and optical band gap.1,721 eV in the Intrinsic state, are examined in the range of 400-1100 nm regarding changes in these properties under different methane and diborane gas ratios. Finally, the Staebler-Wronski effect is also Investigated in the intrinsic films under white light of 10 mW/crrr1. In the contex of thin film amorphous silicon solar cells, the p type amorphous silicon carbide layers are optimized and the need for further studies is stated.
Benzer Tezler
- Investigation of gasification characteristics of Soma lignite by high pressure TGA
Soma linyitinin gazlaştırma özelliklerinin yüksek basınçlı TGA ile incelenmesi
GÖZDE KARDEŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
2020
Kimya Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AHMET ALPER AYDIN
- Plasma inductive discharge for graphene thin-film
İndüktif deşarj plazması kullanılarak ince film grafen sentezlenmesi
SABAH NOREE MAHMOOD ALOBAIDI
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Fizik ve Fizik MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LÜTFİ ÖKSÜZ
- Silisyum güneş pillerinin karakterizasyonu ve optimum aygıt parametrelerinin belirlenmesi
Characterization of silicon solar cells and determination of optimum device parameters
GÜLNAZ DÖNMEZ ÖKKAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
EnerjiMuğla Sıtkı Koçman ÜniversitesiEnerji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÖRKEM OYLUMLUOĞLU
- Alüminyum indüklemeli kristalizasyon ile seramik üzerinde oluşturulan polykristallerin elektrokimyasal karakterizasyonu
Electrochemical characterization of polycrystals formed on ceramics by aluminum induced crystallization
ŞEYDA ANAÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
EnerjiMuğla Sıtkı Koçman ÜniversitesiEnerji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÖRKEM OYLUMLUOĞLU
- Fabrication and characterization of amorphans silikon microcavities
Amorf silikon mikroçınlaçlarının üretimi ve karakterizasyonu
SELİM TANRISEVEN
Yüksek Lisans
İngilizce
1999
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ALİ SERPENGÜZEL