Geri Dön

Metal-oksit ince film yapıların üretilmesi ve elektriksel karakteristiklerinin incelenmesi

Production of metal-oxide thin film structures and investigation of electrical characteristics

  1. Tez No: 291067
  2. Yazar: HACI MUSTAFA ÇAKMAK
  3. Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA TEPE, YRD. DOÇ. DR. H. ALİ ÇETİNKARA
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Tin dioxide, thin films, thermal evaporation, gas sensing
  7. Yıl: 2011
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Ege Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 172

Özet

Bu çalışmada, kalay metali kuvars altlık üzerine 300 Å kalınlığında termal buharlaştırma yöntemiyle kaplandıktan sonra oksijen akışı altında 400, 500, 600, 800 ve 1000 oC'de 2 şer saatlik tavlama işlemine tabi tutularak kalaydioksit ince filmi üretilmiştir. Üretilen bu fimler üzerinde tavlama işleminin yüzeysel, yapısal, elektriksel ve optik sogurma üzerindeki etkisi incelenmiştir. Filmler yüzeysel SEM, yapısal X-Ray, elektriksel ve optik sogurma olarak karakterize edilmişlerdir. SEM görüntülerine bakıldığında, üretilen filmlerin nano patikülerden meydana geldiğini, tavlama sıcaklığı artarken tanecik boyutununda arttığı gözlenmiştir. X-Ray ölçüm sonuçlarından tavlama işlemi sonucunda iki tane yoğunluğu artan kuvvetli pik ortaya çıkmıştır. Karanlık elektrik direç değerleri tavlama işlemine bağlı olarak 10-4 ?-cm civarında olduğu ölçülmüştür. UV-V optiksel soğurma spekrtumu Eg enerji bant aralığının tavlama sıcaklığıyla artığını ortaya koymuştur.Filmin algılama özelliğini geliştirmek için, fotolitoğrafi tekniği kullanılarak kuvars altlık üzerine inter dijital altın elektrotlar yerleştirildi. Kaplanan filmler O2 gazı altında 500, 600 ve 800 oC'de 2 saat tavlanarak farklı konsantrasyonlardaki su buharı, toluene, etanol, benzen, metanol, and aseton gazlarına duyarlılıklarının karakteristikleri incelenmiştir. Sensor su buharına iyi duyarlı iken diğer organik gazlara daha az duyarlı olduğunu göstermiştir.

Özet (Çeviri)

In this work, tin dioxide films with a thickness of 300 Å have been deposited on quartz substrates by vacuum evaporation of tin metal. Heat treatment procedure under O2 flow was achieved at the temperatures of 400, 500, 600, 800 and 1000 oC, for 2h. The effects of heat treatment temperature on morphology, crystallographic structure, electrical and optical absorption of the films were investigated. The films were characterized by Scanning Electron Microscopy (SEM), X-Ray diffraction (XRD) analyses, temperature dependent resistivity measurements and optical absorption spectra. From the SEM images of the deposited films which composed of nanoparticles, it was seen that size of the particles was increased with increasing heat treatment temperature. From the X-ray measurement results, the films indicate two strong reflection peaks whose intensities increased after heat treatment. The dark electrical resistivity values of the films were calculated in the order of 10-4 ?-cm with the temperature dependent electrical resistivity measurements. Optical absorption spectra in the UV-Vis spectral range of the films revealed that Eg values of the films increased with increasing heat treatment temperature.To improve sensing properties of the film, inter-digitated gold electrodes were achieved on quartz substrate by using photolithography technique. Gas sensing characteristics of the film was investigated for different concentrations and different heat treatment procedure under O2 flow was achieved at the temperatures of 500, 600 and 800 oC, for 2h of humidity, toluene, ethanol, benzene, methanol, and acetone. It was found that the sensor is highly sensitive to humidity but weakly sensitive for the other organic volatile compounds.

Benzer Tezler

  1. Enhancement of dispenser cathode fabrication with pre – design activation simulations and polymer doping

    Polimer katkılandırma ve ön aktivasyon tasarımı benzetim çalışmaları ile dispenser katotların üretim süreçlerinin geliştirilmesi

    NERGİS YILDIZ ANGIN ATMACA

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ALVEROĞLU DURUCU

  2. Yarı iletken metal oksit nanoyapıların üretimi, karakterizasyonu ve ters hibrit güneş piline uygulamaları

    Fabrication and characterization of semiconductor metal oxide nano structures and inverted type hybrid solar cell applications

    ARİF KÖSEMEN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiGebze Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YUSUF YERLİ

  3. Yüksek dielektrik sabitli yalıtkan filmlerin üretilmesi ve mos yapıda incelenmesi

    Fabrication and characterization of high-k dielectric films in mos structure

    AYŞE EVRİM SAATCİ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. KUBİLAY KUTLU

  4. Yeni nesil Si3N4:ZnO fotodiyotların üretimi ve elektro-optik karakterizasyonu

    Manufacturing of novel Si3N4:ZnO photodiodes and their electro-optical characterisation

    ERHAN İBRAHİMOĞLU

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Metalurji MühendisliğiSakarya Uygulamalı Bilimler Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ZAFER TATLI

    PROF. DR. FATİH ÇALIŞKAN

  5. Tellürit sistemlerin camlaşma davranışlarının,cam özelliklerinin ve termokromik davranışlarının incelenmesi

    Investigation of glass formation behavior, glass properties and thermochromic behavior of tellurite systems

    MİRAY ÇELİKBİLEK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SÜHEYLA AYDIN