Micro-laser assisted machining of semiconductors and ceramics
Yarı iletkenler ve seramiklerin mikro-lazer destekli işlenmesi
- Tez No: 300073
- Danışmanlar: DOÇ. DR. ENGİN TIRAŞ
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Seramik Mühendisliği, Ceramic Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2011
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Seramik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 197
Özet
Bu doktora tezinin amaci; çok sert ve son derece kırılgan olduğundan geleneksel yöntemler ile işlenmesi çok zor olan Si ve SiC gibi seramikler ve yarı iletkenler için mikro (µ) Lazer Destekli İşlemenin (LAM) hassas işleme sürecine sağladığı potensiyel iyileştirmeyi belirlemektir. µ-LAM sistemi tasarlanmış, kurulmuş, test edilmiş ve değerlendirilmiştir. Deneyler, yarı iletken ve seramik altlıklar üzerine lazer ısıtma ve termal yumuşatmadan kaynaklanan işleme sürecindeki etkiyi ve gelişmeyi değerlendirmek üzere yapılmıştır. Temel bilim ve deneysel hipotez, kesici uç ile temas halinde olan altlık malzemenin lazer ile tercihli olarak ısıtılmasıdır. Bu ısıtma, altlık malzemenin termal yumuşaması ile sonuçlanan deformasyon bölgesinde (çip formasyonu ve malzeme giderme) oluşur ve bu işleme kuvvetlerini azaltarak kesici uç ömrünü uzatır. Yeni geliştirilen bu µ-LAM teknolojisi ile, lazer ısıtma kullanarak malzeme deformasyon süreci boyunca Si ve SiC ün yüksek basınçtaki fazının tercihli olarak ısıtılabileceği ispatlanmıştır. Bölgesel ısıtmadan kaynaklanan termal yumuşatma etkisi sünekliği arttırır ve böylece malzemenin işlenebilirliğini geliştirir.
Özet (Çeviri)
The aim of this PhD dissertation is to determine the potential enhancement that micro (µ) Laser Assisted Machining (LAM) provides to the precision machining process for semiconductors and ceramics such as, Si and SiC, which are typically very hard and extremely brittle and therefore very difficult to machine by conventional methods. The µ-LAM system has been designed, built, tested and evaluated. Experiments were conducted on semiconductor and ceramic wafers to evaluate the effect and improvement to the machining process resulting from the laser heating and thermal softening. The underlying science and experimental hypothesis are that the laser is selectively heating the work piece material in contact with the cutting tool. This heating occurs in the deformation zone (chip formation and material removal) resulting in thermal softening of the work piece material and leading to reduced machining forces and improved tool life. It has been demonstrated by this novel µ-LAM technology that it is feasible to preferentially heat the high pressure metallic phase of Si and SiC during the material deformation process using laser heating. The thermal softening effect resulting from the localized heating enhances the ductility, and thus improves the material?s machinability.
Benzer Tezler
- Design and implementation of an enhanced framework for complex mechatronic systems software development
Karmaşık mekatronik sistemler için yazılım oluşturulmasına yönelik geliştirilmiş bir çerçeve tasarımı ve uygulanması
AHMET ÖZCAN NERGİZ
Doktora
İngilizce
2017
Mekatronik MühendisliğiSabancı ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ASIF SABANOVIC
PROF. DR. ERKAY SAVAŞ
DOÇ. DR. ALİ KOŞAR
- Ark PVD yöntemiyle tin kaplanmış kesici takımların karakterizasyonu ve performanslarının incelenmesi
Başlık çevirisi yok
M.CENK TÜRKÜZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. E. SABRİ KAYALI
- Femtosecond laser assisted synthesis of silicate-1 zeolite
Sılıcalıte-1 zeolitinin femtosaniye lazer destekli sentezi
MEHDI HAGVERDIYEV
Yüksek Lisans
İngilizce
2022
Bilim ve Teknolojiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ SERİM KAYACAN İLDAY
DR. SEZİN GALİOĞLU ÖZALTUĞ
- Lazerli doğrudan metal parça imalatı sisteminin geliştirilmesi, üretilen parça özelliklerinin incelenmesi ve sistemin optimizasyonu
Development of laser assisted direct metal part fabricatiıon system, investigatiıon of fabricated part properties, optimization of the system
MEHMET ERMURAT
Doktora
Türkçe
2009
Makine MühendisliğiKocaeli ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. İBRAHİM UZMAN
- Stent imalatina yönelik lazer torna tezgahı tasarımı ve üretimi
The design and manufacturing of laser assisted lathe for stent manufacturing
OSMAN TUNA GÖKGÖZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Mekatronik MühendisliğiGazi ÜniversitesiEndüstriyel Tasarım Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HÜSEYİN KÜRŞAD SEZER