Geri Dön

Micro-laser assisted machining of semiconductors and ceramics

Yarı iletkenler ve seramiklerin mikro-lazer destekli işlenmesi

  1. Tez No: 300073
  2. Yazar: HÜSEYİN BOĞAÇ POYRAZ
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. ENGİN TIRAŞ
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Seramik Mühendisliği, Ceramic Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2011
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Anadolu Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Seramik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 197

Özet

Bu doktora tezinin amaci; çok sert ve son derece kırılgan olduğundan geleneksel yöntemler ile işlenmesi çok zor olan Si ve SiC gibi seramikler ve yarı iletkenler için mikro (µ) Lazer Destekli İşlemenin (LAM) hassas işleme sürecine sağladığı potensiyel iyileştirmeyi belirlemektir. µ-LAM sistemi tasarlanmış, kurulmuş, test edilmiş ve değerlendirilmiştir. Deneyler, yarı iletken ve seramik altlıklar üzerine lazer ısıtma ve termal yumuşatmadan kaynaklanan işleme sürecindeki etkiyi ve gelişmeyi değerlendirmek üzere yapılmıştır. Temel bilim ve deneysel hipotez, kesici uç ile temas halinde olan altlık malzemenin lazer ile tercihli olarak ısıtılmasıdır. Bu ısıtma, altlık malzemenin termal yumuşaması ile sonuçlanan deformasyon bölgesinde (çip formasyonu ve malzeme giderme) oluşur ve bu işleme kuvvetlerini azaltarak kesici uç ömrünü uzatır. Yeni geliştirilen bu µ-LAM teknolojisi ile, lazer ısıtma kullanarak malzeme deformasyon süreci boyunca Si ve SiC ün yüksek basınçtaki fazının tercihli olarak ısıtılabileceği ispatlanmıştır. Bölgesel ısıtmadan kaynaklanan termal yumuşatma etkisi sünekliği arttırır ve böylece malzemenin işlenebilirliğini geliştirir.

Özet (Çeviri)

The aim of this PhD dissertation is to determine the potential enhancement that micro (µ) Laser Assisted Machining (LAM) provides to the precision machining process for semiconductors and ceramics such as, Si and SiC, which are typically very hard and extremely brittle and therefore very difficult to machine by conventional methods. The µ-LAM system has been designed, built, tested and evaluated. Experiments were conducted on semiconductor and ceramic wafers to evaluate the effect and improvement to the machining process resulting from the laser heating and thermal softening. The underlying science and experimental hypothesis are that the laser is selectively heating the work piece material in contact with the cutting tool. This heating occurs in the deformation zone (chip formation and material removal) resulting in thermal softening of the work piece material and leading to reduced machining forces and improved tool life. It has been demonstrated by this novel µ-LAM technology that it is feasible to preferentially heat the high pressure metallic phase of Si and SiC during the material deformation process using laser heating. The thermal softening effect resulting from the localized heating enhances the ductility, and thus improves the material?s machinability.

Benzer Tezler

  1. Design and implementation of an enhanced framework for complex mechatronic systems software development

    Karmaşık mekatronik sistemler için yazılım oluşturulmasına yönelik geliştirilmiş bir çerçeve tasarımı ve uygulanması

    AHMET ÖZCAN NERGİZ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Mekatronik MühendisliğiSabancı Üniversitesi

    Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ASIF SABANOVIC

    PROF. DR. ERKAY SAVAŞ

    DOÇ. DR. ALİ KOŞAR

  2. Ark PVD yöntemiyle tin kaplanmış kesici takımların karakterizasyonu ve performanslarının incelenmesi

    Başlık çevirisi yok

    M.CENK TÜRKÜZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1997

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. E. SABRİ KAYALI

  3. Femtosecond laser assisted synthesis of silicate-1 zeolite

    Sılıcalıte-1 zeolitinin femtosaniye lazer destekli sentezi

    MEHDI HAGVERDIYEV

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2022

    Bilim ve Teknolojiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ SERİM KAYACAN İLDAY

    DR. SEZİN GALİOĞLU ÖZALTUĞ

  4. Lazerli doğrudan metal parça imalatı sisteminin geliştirilmesi, üretilen parça özelliklerinin incelenmesi ve sistemin optimizasyonu

    Development of laser assisted direct metal part fabricatiıon system, investigatiıon of fabricated part properties, optimization of the system

    MEHMET ERMURAT

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2009

    Makine MühendisliğiKocaeli Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. İBRAHİM UZMAN

  5. Stent imalatina yönelik lazer torna tezgahı tasarımı ve üretimi

    The design and manufacturing of laser assisted lathe for stent manufacturing

    OSMAN TUNA GÖKGÖZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Mekatronik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Endüstriyel Tasarım Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. HÜSEYİN KÜRŞAD SEZER