Magnetron püskürtme yöntemiyle SrTiO3 ince tabakaların üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of SrTiO3 thin films by magnetron sputtering
- Tez No: 342845
- Danışmanlar: PROF. DR. TOFİG MEMMEDLİ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2013
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 81
Özet
Bu tez çalışmasında, SrTiO3 ince tabakaların üretimi ve karakterizasyonları araştırıldı. Yöntem olarak ise (RF) Püskürtme yöntemi kullanıldı. Alttaş olarak n-tipi silisyum (Si) üzerine SrTiO3 ince tabaka büyütülerek, elektriksel karakterizasyonu araştırıldı. SrTiO3/n?Si yapıların, frekansa ve sıcaklığa bağlı kapasitans-voltaj (C-V) ve iletkenlik-voltaj (G/w-V) karakteristikleri seri direnç (Rs) ve arayüzey durumlarının (Nss) etkisi dikkate alınarak 80-300 K sıcaklık aralığında ve 10 kHz-1MHz frekans, (-5 V)-(+5 V) aralığında incelendi. Yapının deneysel C-V-f ve G/w-V-f karakteristiklerinin frekansa ve sıcaklığa bağlı olduğu gözlendi. Frekansa ve voltaja bağlı Rs ve Nss incelendi. Buna ilaveten ara yüzey durumlarının dağılım profili (Nss), etkin bariyer yüksekliği (?e) göz önüne alınıp enerjinin (Ec-Ess) bir fonksiyonu olarak doğru ön gerilim I-V ölçümlerinden elde edildi. Arayüzey durumlarının ortalama değeri 1014 eV-1cm-2 civarında bulundu. C-V eğrilerindeki pikler Nss ve Rs?nin varlığına atfedildi. Rs?nin C-V ve G/?-V karakteristiklerine etkisi yüksek frekanslarda daha fazladır çünkü C ve G/? değerleri artan frekansla azaldığı görüldü. Nss?nin varlığı bu tür yapıların C-V ve G/?-V eğrilerinin ideal durumdan sapmasına yol açtığı görüldü. Ara yüzey durumları özellikle düşük frekanslarda a.c. sinyalini kolayca takip edebilir ve ömürlerine bağlı olarak kapasitansa katkıda bulunurlar. Aynı zamanda C-V ve G/w-V eğrilerinde görülen pik değerlerinin voltaj ekseninde kaymasına neden olurlar.
Özet (Çeviri)
In this study, we investigated the production and characterization of SrTiO3 thin films. (RF) Magnetron sputtering method was used. The n- type silicon substrate (Si) on the Radio frequency (RF) electrical characterization of SrTiO3 thin films deposited on n type Si substrate. SrTiO3/n?Si structures, Frequency dependent capacitance-voltage (C?V) and conductance-voltage (G/??V) characteristics have been investigated by considering the effect of series resistance (Rs) and interface states (Nss) in the frequency range of 10 kHz ? 1 MHz and between 80-300 K temperature. The experimental C?V?f and G/??V?f characteristics of these structures show fairly large frequency dispersion, especially at low frequencies. The frequency and voltage dependent distribution profile of Rs and Nss were obtained by using admittance spectroscopy and Hill-Coleman methods, respectively. In addition, the energy density of Nss distribution profiles as a function Ec-Ess was extracted from the forward bias I-V characteristics by taking into account the bias dependence of the effective barrier height (?e). The average value of interface states was found about 1014 eV-1cm-2. The C?V plots exhibit anomalous peaks due to the Nss and Rs effect. Also, the effect of Rs on the C-V and G/?-V characteristics is found appreciable at higher frequencies due to decreasing values of C and G/? with increasing frequency. Because of the presence of Nss, the device behavior is different from the ideal case of C-V and G/?-V characteristics. These Nss can easily follow the a.c. signal especially at low frequencies and yield an excess capacitance, which depends on their relaxation time and cause a bias shift of the C-V and G/?-V curves.
Benzer Tezler
- Püskürtüm sistemi yapılması ve yüksek sıcaklık üstüniletken ince filmlerin hazırlanması
Construction of sputtering system and preparation of high temperature superconducting thin films
ERDAL KAYNAK
Doktora
Türkçe
2000
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FIRAT TEZER
- Püskürtme yöntemiyle AISI 202 ve AISI 304 östenitik paslanmaz çelik kaynaklardan esnek alt tabakalar üzerinde büyütülen FeCrMn ve FeCrNi martensitik ince filmlerin yapısal ve manyetik karakterizasyonları
Structural and magnetic characterisations of FeCrMn and FeCrNi martensitic thin films deposited on flexible substrates from the sources of AISI 202 and AISI 304 austenitic stainless steel using sputtering method
NADİR KAPLAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiBalıkesir ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAKAN KÖÇKAR
DOÇ. DR. ALİ KARPUZ
- Farklı püskürtme güçleri altında üretilen n-ZnO/AlN/p-GaN yakın UV mavi ışık yayan diyotların (LED) elektriksel, optik, yapısal ve morfolojik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of electrical, optical, structural and morphological properties of n-ZnO/AlN/p-GaN near UV-blue light emitting diodes (LED) fabricated under different sputtering
DERYA ÜNAL
Doktora
Türkçe
2021
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZİYA MERDAN
DOÇ. DR. SONGÜL FİAT VAROL
- Structural and optical characterization of cadmium zinc tellerium thin films used in cadmium zinc tellerium radiation detectors
Kadmiyum çinko telleryum radyasyon dedektörlerinde kullanılan kadmiyum çinko telleryum ince filmlerin yapısal ve optik karakterizasyonu
HASAN MALKAŞ
Doktora
İngilizce
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiAbant İzzet Baysal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERCAN YILMAZ
- Optimization of zinc oxide based metal - semiconductor junction interface properties and applications for optoelectronic devices
Çinko oksit tabanlı metal – yarı iletken kavşak ara yüzey özelliklerinin eniyilenmesi ve optoelektronik aygıt uygulamaları
ABDURRAHMAN HALİS GÜZELAYDIN
Doktora
İngilizce
2024
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ ENVER TARHAN