Manyetik alanda sıçratma yöntemi ile kaplanmış VN filmlerin yapısal, mekanik ve tribolojik özelliklerinin araştırılması
The investigation of structural, mechanical and tribological properties of V-N coatings deposited by magnetron sputtring
- Tez No: 352188
- Danışmanlar: PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Manyetik alanda sıçratma, Pulse DC, Vanadyum, Triboloji, Aşınma, Magnetron sputtering, Pulse DC, Vanadium, Tribology, Wear
- Yıl: 2014
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 64
Özet
Vanadyum nitrür (VN) kaplamalar çeşitli endüstriyel uygulamalarda kendinden yağlayıcı, yüksek sertlik ve aşınma direnci, yüksek ergime noktası, tokluk, iyi korozyon ve yüksek sıcaklıklarda iyi termodinamik kararlılık gibi mükemmel özelliklere sahiptirler. Son yıllarda kendinden yağlayıcı kaplamalar daha fazla önem ve uygulama alanı elde etmektedirler. VN ince filmler kolaylıkla yüzey üzerinde bir vanadyum oksit tabaka oluşturur ve kendinden yağlayıcı ince film olarak kullanılabilir. Vanadyum nitrür ince filmler yüksek saflığa sahip vanadyum hedef malzemeden manyetik alanda sıçratma yöntemi kullanılarak 52100 ve M2 çelik taban malzemeler üzerine kaplanmıştır. Kaplama sırasında sabit bir Ar/N2 gaz karışımı kullanılırken frekans değerleri değiştirilmiştir. Bu çalışmada, VN ince filmlerin, mekanik ve tribolojik özellikleri kıyaslanarak incelenmiştir. VN filmlerin mikro yapısı ve elementel kompozisyonu analiz etmek için XRD ve SEM, tribolojik özeliklerinin araştırılması için ise Pin-on-disk test sistemi kullanılmıştır. Sonuç olarak, en iyi özelliklere sahip olan film R2 kaplama şartlarında 52100 üzerine büyütülen VN filmlerde görünmüştür. Söz konusu filmler yoğun ve düzgün bir yapı sergilemiştir. (111), (200) ve (311) yansımalarına sahip bu sert (15GPa) filmler mükemmel aşınma direnci göstermiştir.
Özet (Çeviri)
Vanadium nitride (VN) coatings have excellent properties such as excellent self-lubricant, high hardness, high melting point, high toughness, good corrosion and good thermodynamic stability at high temperatures for various industrial applications. In recent years self-lubricant coatings are getting more importance and application area. VN thin films forms vanadium oxide layer on the surface easily and can be used as a self-lubricant. Vanadium nitride thin films deposited on 52100 and M2 steel substrates via magnetron sputtering systems from high purity vanadium target. During coating process, while Ar/N2 gas mixture is keep constant, frequency values is changed. In this work, we were investigated microstructural, mechanical and tribological properties of VN thin films comparatively. X-ray diffraction and scanning electron microscopy were used to analyze the microstructure and elemental composition of the films. Pin-on-disc test system was used for analysis tribological properties. As a result, VN films coated at the R2 coating parameters exhibited dense and a smooth structure. These hard (15GPa) films having (111), (200) and (311) planes demonstrated excellent wear resistance.
Benzer Tezler
- TiN/TiCN/TiC ince film sentezlenmesi ve yapısal –mekanik ve biyouyumluluk özelliklerinin araştırılması
Synthesis of TiN/TiCN/TiC thin film and investigation of structural-mechanical and biocompability properties
ABBAS RAZMI
Doktora
Türkçe
2019
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiKonstrüksiyon ve İmalat Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ RUHİ YEŞİLDAL
- Metalik damar stentlerinde restenoz riskini azaltıcı ve doğal endotelizasyon hızlandırıcı yenilikçi kaplamalar
Innovative coatings for bare metallic vascular stents for reduction of restenosis and acceleration of natural endothelization
ÇAĞATAY YELKARASI
Doktora
Türkçe
2022
Biyomühendislikİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
- Cfubms tekniği ile kaplanmış TiAlN/TiCrN çok tabakalı filmlerin yapısal, mekanik ve tribolojik özelliklerinin incelenmesi
The investigation of structural, mechanical and tribological properties of TiAlN/TiCrN multilayer films deposited by cfubms technique
ÇİNAR LALOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Inconel üzerine kaplanmış Cryaln ve CrYN kaplamaların yüksek sıcaklık oksidasyon direncinin araştırılması
Investigation of high temperature oxidation resistance of Cryaln and CrYN coatings covered on inconel
FATİH SERT
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Manyetik alanda sıçratma yöntemiyle polimer malzemelerin SiC ile kaplanması
Coating of polymer materials with SiC by magnetron sputtering technique
DUYGU BAYRAKTAROĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2007
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF.DR. HÜSNÜ ATAKÜL