Hot filament assisted chemical vapor deposition of diamont coatings
Sıcak filaman yardımlı kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle elmas kaplama
- Tez No: 35710
- Danışmanlar: PROF. DR. A. MACİT ÖZENBAŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Silicon (111) substrate, Diamond thin films, Hot-filament assisted chemical vapor deposition, cubo-octahedral form of diamond, diamond-like carbon (DLC)
- Yıl: 1994
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 145
Özet
öz SICAK FÎLAMAN YARDIMLI KİMYASAL BUHAR BİRİKTİRME YÖNTEMİYLE ELMAS KAPLAMA AKBAŞ, Aykan Yüksek Lisans Tezi, Metalürji Mühendisliği Anabilim Dalı Tez Yöneticisi: Prof. Dr. A. Macit ÖZENBAŞ Ağustos 1994, 123 sayfa Bu çalışmada, Silisyum (111) yüzeyi üzerinde elmas filmin büyüme özellikleri incelenmiştir. İnce elmas film oluşumu değişik parametreler için araştırılmıştır. Kolaylığı ve uygunluğu nedeniyle, sıcak filament yardımıyla buhar biriktirme tekniği seçilmiştir. Gerekli olarak, tungsten filament sıcaklığı ve vakum çalışma basıncı deneyler esnasında sabit alınmış, diğer parametreler örneğin, altlık sıcaklığı, gaz geçiş hızı değiştirilmiştir. Kaplanacak yüzeyin elmas pasta ile çizilmesi ile elmas kristallerinin o yüzeyde çekirdeklenmesinin daha kolay olacağı düşünülmüştür. Ayrıca etil alkol konsantrasyonu arttırıldığında, yuvarlak, elmas benzeri karbon yapılar oluşmuş, fakat alkol konsantrasyonu belli değerler altında tutulduğunda, elmas kristalleri çekirdeklenmiş ve büyümüşlerdir. Aynı şekilde, yüksek altlık sıcaklığında, altlık yüzeyi grafit ile kaplanmıştır. Kısa buharlaştırma zamanlarında çekirdeklenme yoğunluğunun düştüğü görülmüştür. Fakat altlık sıcaklığı belli değerlereindirildiğinde cubo-octahedral çekirdeklenme gözlenmiş ve buharlaştırma sûresinin uzun tutulmasıyla da çekirdeklenme yoğunluğunun arttığı tesbit edilmiştir. Anahtar Kelimeler : Silisyum (1 1 1) yüzeyi, Elmas filmler, Sıcak filaman yardımıyla kimyasal biriktirme yöntemi, Cubo-octahedral elmas yapısı. Bilim Dalı Sayısal Kodu : 604.02.07 vı
Özet (Çeviri)
ABSTRACT HOT FILAMENT ASSISTED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF DIAMOND COATINGS AKBAŞ, Aykan M.S, in Metallurgical Engineering Supervisor: Prof. Dr. A. Macit ÖZENBAŞ August, 1994, 123 pages In this study, the growth characteristics of diamond films on Silicon (111) substrates were examined. Diamond thin films for various modes of parameters were studied. Due to its ease and convenience, hot filament assisted chemical vapor deposition technique was chosen. Essentially, tungsten filament temperature and vacuum operating pressure were taken as a constant during experimentation, other parameters, such as; substrate temperature, gas flow rate and deposition time were changed. ît was thought that scratching the substrate with diamond paste has potential for the nucleation of diamond crystals. In addition, when the ethyl alcohol concentration was increased to higher values, ball-shaped, diamond-like carbons (DLC) formed, but when it was kept in the critical range, then, diamond crystals nucleated and grew. Similarly, at higher substrate temperatures, the substrate surface was coated with graphite. At shorter processing times, nucleation density was very low or insufficient; but when the temperature of the substrate holder was decreased, mcertain amounts of cubo-octahedral form of diamond nucleation could be seen, and also as the evaporation time increased, nucleation density also increased.
Benzer Tezler
- Improvement of polyethylene fibers wettability and mechanical properties through an environmentally sustainable spinning process
Sürdürülebilir çevreci bir üretim yaklaşımı ile polietilen elyafın ıslanabilirlik davranışı ve mekanik özelliklerinin geliştirilmesi
AYBENİZ SEYHAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ALİ KILIÇ
DOÇ. DR. HÜSEYİN AVCI
- Yuvarlama sarma yöntemi ile üretilen karbon fiber borularda fiber yönünün dayanıma etkisi
The effect of fibre direction of on the strength of the carbon fibre pipes manufactured via roll wrapping method
AKİF KABAKÇI
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Makine MühendisliğiDüzce ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MERT KILINÇEL
- Araçlar için kafes çekirdekli çok hafif sandviç kompozit malzemelerin 3B yazıcı sistemi ile geliştirilmesi
Development of lattice core ultra-light sandwich composite materials for vehicles by using 3D composite printing
TOLGAHAN BAYRAM
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Mühendislik BilimleriBursa Uludağ ÜniversitesiOtomotiv Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MURAT YAZICI
- Yüksek safiyette molibden tozunun spark plazma sinterleme yöntemi ile şekillendirme şartlarının belirlenmesi ve karakterizasyonu
Determination of sintering conditions and characterization of high purity molybdenum powder by spark plasma sintering
FATİH DENİZALP
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜLTEKİN GÖLLER
- Sıcak filament destekli kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile karbon nanotüp yüzey modifikasyonu
Surface modification of carbon nanotubes by hot filament chemical vapor deposition
DEMET ÖZYURT
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Kimya MühendisliğiSelçuk ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. MUSTAFA KARAMAN