Geri Dön

Gate uzunluğunun GaN HEMT aygıtlarda güç performansına etkisi

Effect of gate length on power performance of GaN HEMT devi̇ces

  1. Tez No: 372773
  2. Yazar: AHMET TOPRAK
  3. Danışmanlar: PROF. DR. M. RECAİ ELLİALTIOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Bilim ve Teknoloji, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Science and Technology, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2014
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 80

Özet

Bu çalışma, GaN temelli yüksek hareketli elektron taşıyıcı transistörlerin (HEMT) geliştirilmesi amacıyla yapılan epitaksiyel büyütme, fabrikasyon ve karakterizasyon işlemlerini kapsamaktadır. GaN HEMT epitaksiyel örnekler, metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) yöntemiyle büyütülmüştür. Büyütülen bu örneklerin yapısal incelemeleri için Fotolüminesans (PL) Ölçüm Sistemi, Optik Geçirgenlik Ölçüm Sistemi, Yüksek Çözünürlüklü X-Işını Kırınımı (HR-XRD), Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) ve Hall Etkisi Ölçüm Sistemi kullanılmıştır. Kapı (gate) uzunluğunun (Lg) HEMT aygıtlarda güç performansına etkisini görmek için 12x12 mm2 boyutundaki 4 ayrı epitaksiyel örnek için kapı (gate) uzunluğu (Lg); 300 nm, 600 nm, 800 nm ve 1000 nm olacak şekilde değiştirilerek HEMT aygıt fabrikasyonu yapılmıştır. Fabrike edilen örneklerin karakterizasyonu için iletim hattı modeli (Transmission Line Model, TLM) ölçümü, DC ölçümü, RF Ölçümü ve RF güç ölçümü alınmıştır. Lg değişiminin HEMT aygıtlarda güç performansını etkilediği ve Lg arttıkça aygıtların güç performansını arttırdığı görülmüştür.

Özet (Çeviri)

This work has combined epitaxial growth, fabrication and characterization efforts to develop a GaN based high electron mobility transistors (HEMT). GaN HEMT epitaxial samples have been grown by using metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) technique. Photolüminesans (PL), optical transmission, high resolution XRD (HR-XRD), Atomic Force Microscopy (AFM) and Hall Effect measurement systems were used for structural analysis of the grown epitaxial samples. In order to see the effect of the gate length (Lg) on RF power performance of HEMT devices with four different gate lengths (Lg) were fabricated on four different samples that have the dimension of 12x12 mm2. The gate length (Lg) of HEMT devices on four different samples is chosen as 300 nm, 600 nm, 800 nm and 1000 nm respectively. Transmission Line Model (TLM), DC, RF and Power measurements were carried out for DC and RF characterization of the fabricated samples. It was observed that changing of Lg affect the power performance of the HEMT devices, as Lg increases, the RF output power performance of the HEMT devices also increases with acceptable decrease in small signal gain.

Benzer Tezler

  1. Yüksek güç elektroniği uygulamaları için GaN tabanlı FinFET yapısının optimizasyonu

    Optimization of GaN-based FinFET structure for high power electronics applications

    DOĞAN YILMAZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Bilim ve TeknolojiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ŞEMSETTİN ALTINDAL

  2. Fabrikasyon adımları için GaN tabanlı mikroşerit HEMT'lerin DC karakterizasyonu

    DC characterization of GaN-based microstrip HEMT for fabrication steps

    ELİF ALAGÖZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErzurum Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ ÇAĞLAR DUMAN

  3. Fabrication of AlN/GaN MIS-HEMT with SiN as gate dielectric and performance enhancement with ALD deposited Alumina

    SiN katmanının kapı dielektriği olarak kullanıldığı AlN/GaN MIS-HEMT yapılarının üretimi ve ALD ile kaplanan Alumina ile performansının artırılması

    SAĞNAK SAĞKAL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2016

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. TALİP SERKAN KASIRGA

    DR. NECMİ BIYIKLI

  4. High-power and low-loss SPDT switch design using gate-optimized GaN on SiC hemts for s-band 5g T/R modules

    S-bant 5g T/R modülleri için yüksek güçlü ve düşük kayıplı SPDT anahtarının SiC üzerine GaN kullanarak tasarımı

    VOLKAN ERTÜRK

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2022

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. EKMEL ÖZBAY

  5. Batmış hidrolik sıçramada geri dönüş bölgesi uzunluğunun yapay zekâ yöntemleriyle tahmini

    Estimation of the roller length of submerged hydraulic jumps using artificial intelligence methods

    İBRAHİM MAHMUT YOLUK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    İnşaat MühendisliğiHarran Üniversitesi

    İnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. VEYSEL GÜMÜŞ